The proper operation of the high vacuum pumping system
Pravilno delovanje visokovakuumskega črpalnega sistema

angleški

1997

letnik 31, številka 6

črpalke    difuzijske črpalke   rotacijske črpalke   delovanje   nizki tlak

Narodna in univerzitetna knjižnica

Pravilno upravljanje in delovanje visokovakuumskega črpalnega sistema z oljno difuzijsko črpalko in rotacijsko predčrpalko je zelo pomembno, kajti v nasprotnem primeru pride do močno povečanega povratnega toka oljnih par iz difuzijske črpalke v vakuumsko komoro in s tem do njene kontaminacije. Izguba olja v difuzijski črpalki in njegova pospešena oksidacija sta spremljajoča pojava. Pri ročnem ali avtomatiziranem upravljanju črpalnega sistema je zelo pmemben trenutek oz. točka preklopa, ko prenehamo črpati s predčrpalko po obtočnem vodu in odpremo visokovakuumski in predvakuumski ventil in začnemo črpati z difuzijsko črpalko. Možna so tri delovna stanja: delovanje obeh črpalk je usklajeno, predčrpalka ima premajhno ali preveliko črpalno hitrost. Usklajeno stanje smo ponazorili na diagramu. Podani so tudi praktični napotki, kako spoznamo, ali je črpalni sistem pravilno upravljan.

22.07.2011