Preiskave površine katod iz ionske črpalke
Investigation of the surface of an ion pump cathode

slovenski

1999

letnik 33, številka 1/2

vakuumske črpalke   ionske črpalke   površine

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije

Črpanje vodika v naprševalni ionski črpalki poteka predvsem po disociativni adsorpciji molekul na čistih površinah titana in difuziji atomov v notranjost katodnih plošč. Površina dela titanovih katod, ki je izpostavljena izdatnemu odprševanju, je vselej čista in je dober ponor za vodik. Večji del površin katod klasičnih ionsko naprševalnih črpalk pa je izpostavljen le šibkemu bombardiranju z ioni, zato se lahko pri nepravilnem ravnanju s črpalko na teh površinah katod formira tanka plast titanovih spojin, ki preprečuje disociacijo molekul vodika in difuzijo v notranjost. Preiskovali smo sestavo površinske plasti na titanovih katodah v triodni črpalki, ki je obratovala pri različnih pogojih. Ugotovili smo, da je na površini katode te črpalke prisotna plast nečistoč debeline okoli 0,5 ?$\mu$?m, ki je sestavljena pretežno iz titana, ogljika, dušika in kisika. Koeficient razprševanja za titanove karbide, nitride in okside je precej nižji kot za čisti titan, zato omenjene plasti ne moremo odstraniti s klasičnim postopkom regeneracije črpalke.
Nadaljuje se kot: Materiali in tehnologije

13.05.2010