Digitalna knjižnica Slovenije
Narodna in univerzitetna knjižnica
Splošne knjižnice
Celjsko območje
Vse knjižnice območja
Osrednja knjižnica Celje
Knjižnica Laško
Osrednja knjižnica Mozirje
Knjižnica Šentjur
Knjižnica Šmarje
Knjižnica Velenje
Medobčinska splošna knjižnica Žalec
Dolenjsko območje
Knjižnica Mirana Jarca Novo mesto
Knjižnica Brežice
Knjižnica Kočevje
Valvasorjeva knjižnica Krško
Knjižnica Miklova hiša, Ribnica
Gorenjsko območje
Mestna knjižnica Kranj
Občinska knjižnica Jesenice
Knjižnica A. T. Linharta, Radovljica
Knjižnica Ivana Tavčarja, Škofja Loka
Knjižnica dr. Toneta Pretnarja, Tržič
Goriško območje
Vse knjižnice območja
Goriška knjižnica Franceta Bevka Nova Gorica
Lavričeva knjižnica, Ajdovščina
Mestna knjižnica in čitalnica Idrija
Knjižnica Cirila Kosmača Tolmin
Koroško območje
Koroška osrednja knjižnica dr. Franca Sušnika Ravne na Koroškem
Knjižnica Radlje ob Dravi
Knjižnica Ksaverja Meška, Slovenj Gradec
Obalno-kraško območje
Osrednja knjižnica Srečka Vilharja Koper
Knjižnica Makse Samsa, Ilirska Bistrica
Mestna knjižnica Izola - Biblioteca civica di Isola->Matična knjižnica Izola
Mestna knjižnica Piran
Kosovelova knjižnica Sežana
Osrednjeslovensko območje
Mestna knjižnica Ljubljana
Knjižnica Jožeta Udoviča, Cerknica
Knjižnica Domžale
Knjižnica Grosuplje
Knjižnica Franceta Balantiča Kamnik
Knjižnica Litija
Knjižnica Logatec
Knjižnica Medvode
Cankarjeva knjižnica Vrhnika
Pomursko območje
Pokrajinska in študijska knjižnica Murska Sobota
Javni zavod Knjižnica Gornja Radgona
Splošna knjižnica Ljutomer
Spodnjedravsko območje
Knjižnica Ivana Potrča Ptuj
Knjižnica Franca Ksavra Meška Ormož
Štajersko območje
Mariborska knjižnica
Knjižnica Lenart
Knjižnica Josipa Vošnjaka Slovenska Bistrica
Druge knjižnice
Bayerische StaatsBibliotek
Centralna pravosodna knjižnica
Centralna tehniška knjižnica Univerze v Ljubljani
Knjižnica Dušana Černeta Trst
Kraljeva knjižnica, Danska nacionalna knjižnica in univerzitetna knjižnica v Kopenhagnu
Narodna in študijska knjižnica
Österreichische Nationalbibliothek
Semeniška knjižnica
Slovenska študijska knjižnica Celovec
Škrabčeva knjižnica
Univerzitetna knjižnica Maribor
Arhivi in muzeji
Arhiv Republike Slovenije
Goriški muzej
Loški muzej Škofja Loka
Muzej in galerije mesta Ljubljana
Muzej Miklova hiša
Muzej novejše zgodovine Celje
Narodni muzej Slovenije
Pokrajinski arhiv Maribor
Pokrajinski muzej Kočevje
Prirodoslovni muzej Slovenije
Slovenian Museum and Archives - Slovenski muzej in arhiv
Slovenski etnografski muzej
Slovenski šolski muzej
Škofijski arhiv Koper
Meni
SLO
|
ENG
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
avtor
celotno besedilo
ključne besede
leto
naslov
vir
založnik
zbirka
IN
ALI
NE
NAPREDNO ISKANJE
O nas
Sodelovanje
Pogoji uporabe
dLib statistike
Seznam partnerjev
Novice
Virtualne razstave
Pišite nam
Moj dLib.si
Epošta
:
Geslo:
Prijava
Registriraj se!
Pozabljeno geslo
domov
poizvedba
URN:NBN:SI:DOC-PHHQJFX5
Zapri
<script>(function (d, script) { script = d.createElement('script'); script.type = 'text/javascript'; script.async = true; script.onload = function () { iFrameResize({ log: true, checkOrigin: false }) }; script.src = 'https://cdnjs.cloudflare.com/ajax/libs/iframe-resizer/3.5.11/iframeResizer.min.js'; d.getElementsByTagName('head')[0].appendChild(script); }(document));</script><iframe frameborder="0" width="100%" height="482px;" src="http://www.dlib.si/card/URN:NBN:SI:DOC-PHHQJFX5"></iframe>
Zapri
Mikroobdelava silicija
1. PDF datoteka (3900 kB)
1. TXT datoteka (36 kB)
Izvoz v EndNote (RIS format)
Avtor(ji)
Resnik, Drago (avtor)
Aljančič, Uroš (avtor)
Vrtačnik, Danilo (avtor)
Cvar, Matjaž (avtor)
Amon, Slavko (avtor)
Jezik
slovenski
Vir
Vakuumist
Leto
1998
Številčenje
letnik 18,
številka 1
Vsebina
silicij
mikroobdelava
jedkanje
bondiranje
Založnik
Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
Izvor
Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
Opis
V nadaljevanju članka podajamo pregled različnih tehnoloških načinov, principov in orodij, ki se danes največ uporabljajo pri mikroobdelavi silicijevih mikrostruktur. Fizikalni mehanizem jedkanja silicija v kalijevem lugu (KOH), kot najpogosteje uporabljenega jedkala, je opisan podrobneje. Poleg elektrokemijskega jedkanja je obravnavan tudi problem kompenzacije spodjedkavanja konveksnih vogalov.
Pravice
URN
URN:NBN:SI:DOC-PHHQJFX5
COBISSID
984404
Objavljeno
16.09.2009
Metapodatki
Citiranje
APA:
Resnik, Drago, Aljančič, Uroš, Vrtačnik, Danilo, Cvar, Matjaž, Amon, Slavko (1998). Mikroobdelava silicija.
Vakuumist
, letnik 18, številka 1, str. 4-11
.
URN:NBN:SI:DOC-PHHQJFX5
from http://www.dlib.si
MLA:
Resnik, Drago, Aljančič, Uroš, Vrtačnik, Danilo, Cvar, Matjaž, Amon, Slavko. "Mikroobdelava silicija."
Vakuumist
letnik 18. številka 1 (1998) str. 4-11.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-PHHQJFX5>
Vakuumist
1981-
(Zbirni zapis)