Karakteristike magnetronske celice v področju UVV
Characteristics of a magnetron cell in the ultra-high vacuum region

slovenski

2002

letnik 36, številka 5

magnetronska celica   električne lastnosti   visoki vakuum

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

Merili smo karakteristike magnetronske celice v tlačnem območju med 5.10na-9 in 1.10na-6 mbar. Celica je bila narejena iz ohišja iz nerjavnega jekla, v katerem je bila vgrajena titanaova katodna palica debeline 6 mm. Dolžina celice je bila 35 mm, premer pa 25 mm. Ionski tok v celici smo merili sistematično pri različnih napetostih in jakostih magnetnega polja. Ugotovili smo, da tok v celici v splošnem narašča z naraščajočo napetostjo, doseže maksimum, nato pa pade z nadaljnjim naraščanjem napetosti. Pri tlaku 1.10na-8 mbar smo dosegli maksimalni tok okoli 0,05 miA pri napetosti 4,7 kV in magnetnem polju 0,13 T. Napetost, pri kateri tok doseže maksimum, je odvisna od jakosti magnetnega polja in tlaka. Pri majhnih magnetnih poljih doseže tok maksimum pri razmeroma nizki napetosti. Podobno velja tudi za tlak. Vsekakor je bila razelektritev stabilna v širokem območju tlakov med 5.10na-9 in 1.10na-6 mbar, napetosti med 1 in 8 kV in jakosti maganetnega polja med 0,1 in 0,2 T.

16.09.2009