TY - NEWS TI - Infrared spectroscopy as analysing tool for materials used in microelectronics ID - 743194 IS - 1 VL - 27 PB - Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale LA - angleški JO - Informacije MIDEM DA - 1997 A1 - Klanjšek Gunde, Marta KW - materiali KW - analizna kemija KW - nečistoče KW - mikroelektronika KW - infrardeča spektroskopija KW - polprevodniki ER -