Characterization of PVD Cr-C, Cr(C,N) and Cr-N hard coatings
Karakterizacija Cr-C, Cr(C,N) in Cr-N trdih prevlek, pripravljenih s PVD postopkom

angleški

1999

letnik 33, številka 6

kovinske prevleke   krom    nitridi   karbidi   vakuumsko nanašanje   mikrotrdota   adhezija   oksidacija 

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije

Raziskave Cr-N trdih prevlek potekajo že več kot 10 let in so se uspešno uveljavile v industriji. Zadnjih nekaj let se raziskuje tudi Cr-C trde prevleke in prišlo je že do prvih industrijskih aplikacij, konkretno za prekrivanje orodij za tlačno litje aluminija. Toda informacij o ternarni Cr(C,N) trdi preavleki je malo. Pripravili smo več Cr(C,N) trdih preavlek z različnim atomskim razmerjem C:N tako, da smo spreminjali pretok ?$N_2$? in ?$C_2H_2$?. Za primerjavo smo pripravili tudi stehiometrične in nestehiometrične Cr-N in Cr-C prevleke. Prevleke smo pripravili z naparevanjem v termionskem sistemu BAI730M (Balzers) za ionsko prekrivanje. Za podlage smo uporabili polirane ploščice iz orodnega jekla, silicijeve rezine in polirano aluminij-oksidno keramiko. Vzorce smo oksidirali tako, da smo jih segrevali pri temperaturah 750-900°C v kisikovi atmosferi in merili prirastek mase in debeline. Globinski profil vzorcev, ki smo jih oksidirali pri različnih temperaturah, smo izmerili z Augerjevim elektronskim spektrometrom (AES). Izmerili smo tudi mikrotrdoto, adhezijo in hrapavost površine. Študirali smo vpliv delnega tlaka ?$N_2$? in ?$C_2H_2$? na zgoraj omenjene fizikalne in kemijske lastnosti. Rezultati lažejo, da so Cr-C prevleke potencialno uporabne v industrijske namene.

16.09.2009