TY - NEWS TI - Tankoplastni silicijevi oksidi ID - 1916698 IS - 2 VL - 20 PB - Strokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale LA - slovenski JO - Informacije MIDEM DA - 1990 A1 - Klanjšek Gunde, Marta KW - tanke plasti KW - silicijevi oksidi ER -