KARAKTERIZACIJA PLAZME SO2 IN SO2/O2 Gregor Prime1'2, Rok Zaplotnik1, Alenka Vesel1 'Institut »Jožef Stefan«, Jamova 39, 1000 Ljubljana 2Mednarodna podiplomska šola Jožefa Stefana, Jamova 39, 1000 Ljubljana ZNANSTVENI ČLANEK POVZETEK Dandanes se za obdelavo raznovrstnih materialov v vedno večji meri uporablja šibko ionizirana, visoko disociirana plinska plazma. Plazemsko obdelavo materialov namreč odlikuje izredna kakovost, stabilnost in ekološka neoporečnost. Pri obdelavi materialov je zelo pomembno poznanje gostote plazemskih delcev v okolici obdelovanca, saj sta način in intenziteta obdelave močno odvisni od gostote toka delcev na površino obdelovanca. Plazma SO2 je s tega vidika še dokaj nepoznana in neraziskana. Njeno morebitno aplikacijo pa bi lahko uporabili v raznovrstnih tehnologijah, kot so plazemsko jedkanje, obdelava bioloških vzorcev, funkcionalizacija materialov in modifikacija površin. V prispevku prikazujemo karakterizacijo plazme SO2 s katalitičnimi sondami in optično emisijsko spektroskopijo. Tako plazmo smo uporabili tudi za uspešno funkcionalizacijo polimera polietilen tereftalat (PET), kar je pomembno pri izboljšanju hemokompatibilnosti umetnih žil, ki so izdelane iz tega materiala. Ključne besede: plazma SO2, umetne žile, XPS, polimer, katali-tična sonda Characterisation of SO2 and SO2/O2 plasma ABSTRACT Nowadays, weakly ionized highly dissociated gas plasma is used for the surface treatment of various materials. A very important parameter is the density of neutral atoms in plasma in the vicinity of the treated material, since the process and intensity of the treatment heavily depend on the flux of neutral atoms to the surface. From this point of view, SO2 plasma is quite unknown and there are hardly any data in the literature. SO2 plasma is very promising for surface treatment of various materials and its application could be possible in a variety of technologies, such as plasma etching, functionalization of materials and modification of biological samples. This paper therefore reports the characterization of SO2 plasma by catalytic probes and optical emission spectroscopy. Furthermore, SO2 plasma was used also for the successful functionalization of polyethylene terephthalate (PET) polymer, which is important for improving hemocompatibility of artificial vascular grafts, which are made from PET material. Keywords: SO2 plasma, artificial blood vessel, XPS, polymer, catalytic probe 1 UVOD Plazma se pogosto uporablja za funkcionalizacijo polimernih materialov, pri čemer lahko na njihovo površino vežemo specifične kemijske skupine. Najbolj pogosto se uporablja kisikova (O2) plazma, kjer se na površini tvorijo različne kisikove funkcionalne skupine, kot so hidroksilne (OH), karbonilne (CO) in karboksilne (COOH). Namesto kisikove plazme lahko uporabimo tudi plazmo vodne pare (H2O) ali ogljikovega dioksida (CO2). Dušikova (N2) ali amonijakova plazma (NH3) se pogosto uporabljata v bioloških aplikacijah, saj lahko na površino vežemo amino (NH2) skupine. Vse te plazme naredijo površino hidro-filno. Če želimo hidrofobno površino, lahko upora- bimo plazmo tetrafluorometana (CF4), kjer lahko na površino vežemo različne nepolarne fluorove funkcionalne skupine. Ključno vlogo pri interakciji plazemskih delcev s površino materiala igrajo nevtralni atomi, ki nastanejo pri disociaciji molekul v plazmi. Pri kisikovi (O2) in dušikovi (N2) plazmi je zadeva dokaj enostavna, saj oba plina disociirata bodisi na atome kisika (O2 ^ O + O) ali dušika (N2 ^ N + N). Njihovo gostoto je zelo enostavno izmeriti s katalitičnimi sondami [1, 2]. S temi merimo energijo, ki se sprošča pri ravno obratni reakciji, tj. rekombinaciji atomov na površini sonde v molekule. Pri drugih plinih, kot so CO2, H2O in NH3, je zadeva bolj kompleksna, saj imamo lahko več površinskih reakcij na sondi. Tako lahko imamo pri plazmi CO2, kjer molekula disociira v CO + O, na površini sonde bodisi reakcijo O + O ^ O2 ali pa CO + O ^ CO2. Verjetnost za prvo reakcijo je znana, za drugo pa ne, kar nam onemogoča natančno določitev gostote atomov kisika v plazmi CO2 [3]. Podobno velja tudi za bolj malo poznano plazmo, ustvarjeno v žveplovem dioksidu (SO2). Pri obdelavi polimerov v taki plazmi lahko na površini ustvarimo SO3-skupine, ki bi lahko glede na podatke iz literature imele protitrombogeni značaj, zato bi lahko tovrstno plazmo uporabili za izboljšanje hemokompatibilnosti umetnih žilnih vsadkov [4, 5]. V tem prispevku prikazujemo poskusne meritve koncentracije atomov kisika v čisti plazmi SO2 oziroma njeni mešanici s kisikovo plazmo (SO2/O2). 2 EKSPERIMENTALNI DEL Plazemski sistem je bil sestavljen iz cevi iz stekla pyrex zunanjega premera 4 cm in dolžine približno 80 cm. Sonda je bila nameščena na sredino glavne cevi in potisnjena proti tuljavi, tako daje bila razdalja med konico sonde in prvim ovojem tuljave 13 cm. Vakuumski sistem smo črpali z dvostopenjsko rotacijsko črpalko Edwards s črpalno hitrostjo 80 m3/h. Tlak v sistemu smo merili s kalibriranim kapacitivnim merilnikom MKS Baratron. Plazmo smo vzbujali z radiofrekvenčnim elektromagnetnim poljem, ki izvira iz RF tokovne tuljave. Uporabili smo industrijski radiofrekvenčni generator pri standardni, mednarodno določeni frekvenci 13,56 MHz. Za ustvarjanje električnega polja oziroma razelektritve smo uporabili bakreno tuljavo s šestimi ovoji, ki je bila povezana s komercialnim ujemalnim oziroma sklopitvenim členom. Uporabili smo pet različnih moči RF-generatorja od 50 W do 300 W s korakom po 50 W pri štirih različnih tlakih plina SO2: (20, 50, 80 in 100) Pa ter štirih različnih tlakih mešanice plina SO2/O2. Pri plinski mešanici je bil tlak SO2 konstanten, in sicer 80 Pa, spreminjali pa smo le pritisk vpusta kisika (5 Pa, 10 Pa, 20 Pa in 80 Pa). Plazemski sistem je bil opremljen tudi z optičnim spektrometrom Avan-tes 3648, s katerim smo zajeli optične emisijske spektre (OES) plazme SO2 in SO2/O2. Plazmo smo najprej natančno karakterizirali s katalitično sondo in OES-spektroskopijo. Uporabili smo sondo, katere konica je bila izdelana iz zlata oziroma molibdena. Nato smo v plazmi še poskusno obdelali vzorce polimera PET, da bi ugotovili, ali lahko nanj vežemo SO3-skupine. Kemijske spremembe, ki so nastale na plazemsko obdelanem polimeru PET, smo karakterizirali z metodo rentgenske foto-elektronske spektroskopije (XPS) [6]. 3 REZULTATI Sliki 1 in 2 prikazujeta značilen časovni potek temperature zlate katalitične sonde. Prva slika prikazuje signal sonde v plazmi SO2 pri tlaku 50 Pa, druga pa v plazmi SO2/O2 pri razmerju tlakov 10 Pa/80 Pa. Podobno prikazujeta sliki 3 in 4 časovni potek temperature molibdenove katalitične sonde. Prva slika prikazuje signal molibdenove sonde v plazmi SO2 pri tlaku 20 Pa, druga pa v plazmi SO2/O2 pri razmerju tlakov 5 Pa/80 Pa. S slik 1 in 2 je razvidno, da se zlata sonda v primerjavi z molibde-novo močneje greje in doseže višje temperature, zato ima veliko boljši signal v primerjavi z molibdenovo. Gostoto atomov v plazmi smo izmerili pri štirih različnih tlakih in šestih različnih močeh. Meritve z zlato sondo so omogočale določitev gostote nevtralnih kisikovih atomov preko odvodov, prikazanih na slikah 5 in 6 za plazmo SO2 in SO2/O2, ki smo jih odčitali s slik 1 in 2. Gostota nevtralnih kisikovih atomov, izmerjena z zlato katalitično sondo v plazmi SO2 in SO2/O2, je prikazana na slikah 7 in 8. Podobno prikazujeta sliki 9 in 10 gostoto nevtralnih kisikovih atomov, izmerjeno z molibdenovo katalitično sondo. Opazimo lahko, da je gostota atomov kisika v plazmi večja, če uporabimo mešanico SO2/O2. Pri molibde-novi sondi je razlika v gostoti atomov zanemarljiva, kar je verjetno posledica eksperimentalne napake. Podoben efekt, da je v mešanici po navadi večja gostota atomov, je znan tudi iz mešanice argonske in kisikove plazme, kjer dodatek argona poveča stopnjo disociacije kisikovih molekul v plazmi. Tu velja še omeniti, da pri molibdenovi sondi dobimo tudi nekoliko višje gostote atomov kot pri zlati sondi, kar bomo razložili kasneje. Na slikah 11 in 12 je prikazana stopnja disociacije v plazmi SO2, izmerjena z zlato in molibdenovo sondo. Tudi tukaj smo Slika 2: Temperaturni potek zlate sonde v odvisnosti od časa v plazmi SO2/O2 pri razmerju tlakov 80 Pa/10 Pa Slika 1: Temperaturni potek zlate sonde v odvisnosti od časa v plazmi SO2 pri tlaku 50 Pa Slika 3: Temperaturni potek molibdenove sonde v odvisnosti od časa v plazmi SO2 pri tlaku 20 Pa Slika 4: Temperaturni potek molibdenove sonde v odvisnosti od časa v plazmi SO2/O2 pri tlaku 80 Pa/5 Pa Slika 7: Gostota nevtralnih atomov kisika v plazmi SO2, izmerjena z zlato sondo v odvisnosti od tlaka ter pri različnih močeh Slika 5: Odvodi pri zlati sondi v plazmi SO2 pri tlaku 50 Pa in največji moči 300 W Slika 8: Gostota nevtralnih atomov kisika v plazmi SO2/O2, izmerjena z zlato sondo v odvisnosti od tlačnega razmerja ter pri različnih močeh Slika 6: Odvodi pri zlati sondi v plazmi SO2/O2 pri razmerju tlakov 80 Pa/10 Pa in največji moči 300 W Slika 9: Gostota nevtralnih atomov kisika v plazmi SO2, izmerjena z molibdenovo sondo v odvisnosti od tlaka ter pri različnih močeh °0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 p(02)/p(S02, 80Pa) Slika 10: Gostota nevtralnih atomov kisika v plazmi SO2/O2, izmerjena z molibdenovo sondo v odvisnosti od tlačnega razmerja ter pri različnih močeh -^P = 50 W -a-P = 100 W -&-P{= 150 W ^Pf=200 W v\ -i-P =250 W -e-P{ = 300 W -h 20 40 60 80 100 120 p /Pa Slika 12: Disociacija atomov kisika v plazmi SO2, izmerjena z molibdenovo sondo v odvisnosti od tlaka ter pri različnih močeh opazili nekoliko višjo stopnjo disociacije pri molibde-novi sondi. Sliki 13 in 14 prikazujeta značilni spekter plazme SO2 in SO2/O2. Oba spektra sta si močno podobna. Za plazmo SO2 je značilen SO-kontinuum v območju med 300 nm in 450 nm ter manjši pas med približno 450 nm in 550 nm. V spektru opazimo tudi črte atomov kisika (O) pri 533 nm, 777 nm (3p5P-3s5S) in pri 844 nm (3p3P-3s5S). Pri valovni dolžini 923 nm opazimo črte atomov žvepla (S). Razvidno je, da dodaten vpust kisika zmanjša intenziteto SO-konti-nuuma, prav tako izgine črta atomov žvepla, intenziteta kisikovih črt pa se poveča. Ce uporabimo mešanico SO2/O2 (slika 14), se razmerje intenzitet kisika poveča v primerjavi z intenziteto kontinuuma. 15 10 3 -*-P{= 50 W -B-P{= 100 w -$-P{= 150 W -»-P = 200 W —1—.Pf = 250 W _©_Pf = 300 W - 20 40 60 p /Pa 80 100 120 Slika 11: Disociacija atomov kisika v plazmi SO2, izmerjena z zlato sondo v odvisnosti od tlaka ter pri različnih močeh zanimiva lastnost žveplove plazme je, da ne sveti samo znotraj razelektritvenega dela, temveč lahko opazimo šibko svetlobo tudi v porazelektritvenem delu, česar v čisti kisikovi plazmi ne opazimo. Zveplo-va plazma je torej zelo močan sevalec, sveti pa v izrazito modri barvi. Da bi preverili, ali lahko plazmo SO 2 uspešno uporabimo za funkcionalizacijo polimernih materialov za doseganje protitrombogenih učinkov, smo polimer PET, ki se uporablja za umetne žilne vsadke, izpostavili tej plazmi za 30 s. Sestava površine pred plazemsko obdelavo in po njej, kot je bila ugotovljena z metodo XPS, je prikazana v tabeli 1. Opazimo, da pride na površini tako do povečanja koncentracije kisika kot tudi žvepla. Da bi ugotovili, kakšne Slika 13: Spekter plazme SO2 pri tlaku 100 Pa v območju razelektritve Slika 14: Spekter plazme SO2/O2 pri razmerju tlakov 80 Pa/80 Pa v območju razelektritve Slika 16: Primer visoko ločljivega XPS-spektra žvepla, posnetega na plazemsko obdelanem vzorcu PET funkcionalne skupine so nastale na površini, smo posneli še visoko ločljiva spektra ogljika in žvepla, prikazana na slikah 15 in 16. V spektru ogljika (slika 15) ne opazimo bistvenih sprememb pred obdelavo in po njej. Če bi se kisik iz plazme vezal na atome ogljika, bi morali opaziti močan porast obeh manjših vrhov na levi [7]. Ker tega nismo opazili, lahko sklepamo, da je bil kisik, katerega koncentracija se je po plazemski obdelavi povečala, vezan večinoma v žveplovih funkcionalnih skupinah, kar je razvidno tudi s slike 14. Žveplo se torej nahaja v visoko oksidiranem stanju, zato lahko predpostavimo prisotnost SO3-skupin. Tukaj velja še omeniti, da vezi C-S v samem spektru ogljika nismo opazili. Razlog je v tem, da je vezavna energija vezi c-S blizu vezavni energiji Slika 15: Primerjava visoko ločljivega XPS-spektra ogljika neobdelanega in plazemsko obdelanega vzorca PET vezi c-c (glavni vrh), zato vrha c-S ne moremo jasno razločiti od glavnega vrha ogljika. Tabela 1: Površinska sestava polimera PET (atomski deleži), ugotovljena z metodo XPS pred obdelavo in po njej v plazmi SO2 Vzorec PET C O S neobdelan 73,5 26,5 obdelan v plazmi 60,7 36,2 3,1 4 DISKUSIJA V plazmi SO2 imamo naslednji reakciji za diso-ciacijo molekule SO2 [8]: SO2 + e- ^ SO + O + e- (1) SO + e- ^ S + O + e- (2) Ker smo poleg plazme SO2 uporabljali tudi mešanico SO2 in O2, imamo še nekaj dodatnih možnosti za disociacijo O2 [8]: O2 + e- ^ O + O + e- (3) O2 + e- ^ O+ + O + e- + e- (4) O2 + e- ^ O + O- (5) Energija, potrebna za disociacijo kisikove molekule, je W°2 = 5,12 eV, za ionizacijo W°n2 = 12,2 eV in za ionizacijo kisikovega atoma Wi°n2= 13,6 eV. Za disociacijo molekul SO2 in SO pa potrebujemo energiji WfoO2= 5,7 eV in W*O = 5,4 eV [9-12]. V plazmi, kjer je energija elektronov nekaj elektron-voltov, je najverjetnejši proces torej disociacija. Rekombinacije potekajo skoraj izključno le na stenah plazemskega reaktorja, saj je verjetnost za trk treh delcev v plinu pri tlakih, ki smo jih uporabljali (od 20 Pa do 100 Pa), majhna [13]. Prav zato je reaktorska cev najpogosteje izdelana iz materiala z majhno verjetnostjo za površinsko rekombinacijo atomov (v našem primeru pyrex), saj stremimo k čim manjšim izgubam nevtralnih atomov. S tem dosežemo visoko gostoto nevtralnih atomov ob razmeroma nizki gostoti ionov, saj je namreč verjetnost za nevtralizacijo ionov na površini domala neodvisna od vrste materiala in je blizu 1. Možnosti za rekombinacijo atomov v molekule je več. Naj posebej omenimo tri, za naš eksperiment najpomembnejše [14]: • Na površini sta vezana dva atoma nedaleč drug od drugega. Po površini migrirata drug proti drugemu in se združita v molekulo (Lanhmuir-Hinshel-woodov mehanizem). • Atom, ki prileti na površino, zadene ob atom, ki je vezan na površino. združita se v molekulo, ki pa ne čuti istega privlačnega potenciala, zato zapusti površino (Eley-Ridealov mehanizem). • Na isto mesto na površini priletita dva atoma hkrati in se združita v molekulo. Tretji proces lahko zanemarimo, saj je verjetnost, da bosta na majhen del površine hkrati padla dva atoma, zelo majhna [15]. Na prvi in drugi proces pa močno vplivajo lastnosti površine. Odvisnost rekom-binacije od površinskih lastnosti opišemo z rekom-binacijskim koeficientom y, ki je definiran kot verjetnost, da se atom ob trku s površino rekombinira v molekulo. Katalitična sonda je v osnovi zelo majhen kos kovine [16], ki je potopljen v plazmo. Kovina katalitične sonde deluje kot katalizator za rekombina-cije ter tudi prevzema večji del toplote, ki se sprosti ob rekombinacijah na sami površini sonde. Bolj ko so rekombinacije pogoste, bolj se sonda greje. Posredno lahko z opazovanjem temperature določimo gostoto atomov v plazmi. Moč gretja sonde lahko zapišemo kot: n =- 8 mcp dT dt (8) 1 ^dis P = — nvSv 4 2 (6) kjer je n številska gostota atomov v plazmi, v povprečna velikost hitrosti atomov v plazmi, S površina sonde, y rekombinacijski koeficient sonde in Wdis disociacijska energija, ki se sprosti pri rekombinaciji. Po drugi strani lahko moč segrevanja sonde zapišemo tudi kot: p dT P = mc p — p dt (7) kjer je m masa sonde, cp specifična toplotna kapaciteta sonde, dT/dt maksimum časovnega odvoda temperaturne krivulje tik za tem, ko smo izklopili vzbujanje plazme. S kombinacijo enačb (6) in (7) lahko gostoto atomov izračunamo kot: Za katalitično sondo je zelo pomembna prava izbira katalizatorja. Za kisikovo plazmo se najbolje obnese nikljeva sonda, za dušikovo železna, za vodikovo pa zlata ali platinasta. Pri plazmi SO 2 smo se odločili za zlato in molibdenovo sondo, saj je navadna nikljeva sonda imela preslab signal in je bila neuporabna. Velja še omeniti, da smo pri izračunu gostote po enačbi (8) uporabili naslednje vrednosti konstant za zlato katalitično sondo: m = 1,671 ■ 105 kg; Cp = 128 J/(kg K); v = 630 m/s; W°2= 5,12 eV = 8,129 ■ 10-19 J; y = 0,47; A = 1,9242 ■ 10 5 m2 ter za molibdenovo katalitično sondo: m = 5,137 ■ 105 kg; Cp = 250 J/(kg K); v = 630 m/s; W°2= 5,12 eV = 8,129 ■ 1019 J; y = 0,11; A = 2,5133 ■ 105 m2 Tu je potrebna še opomba, da je bila katalitična ploščica iz molibdena precej debela (0,4 mm), medtem ko je bila zlata standardne debeline 0,04 mm. Zato je bil tudi odziv molibdenove sonde precej počasnejši. Mo- in Au-sonda sta bili najprej aktivirani v kisikovi plazmi. Po tej aktivaciji, s čimer smo sondi očistili nečistoč, smo z njima merili temperaturni signal v plazmi SO2 ali njeni mešanici s kisikom. Pri primerjavi slik 7 in 9 ter 8 in 10 opazimo, da dobimo pri molibdenovi sondi nekoliko večje gostote atomov kot pri zlati sondi. Poleg zgornjega razloga (slabše odzivnosti sonde) je razlog verjetno tudi v rekombinacijskem koeficientu za oba katalitična materiala, ki ni natančno poznan. Na koncu velja še omeniti reakcije, ki potekajo na površini sonde v plazmi SO2. Pri kisikovi plazmi poteka na površini samo reakcija O + O ^ O2. Pri plazmi SO2 pa je zadeva bolj komplicirana, ker imamo na voljo več različnih delcev (SO, O, S) in zato tudi več različnih rekombinacijskih mehanizmov. Tako poleg reakcije O + O ^ O2 predpostavimo vsaj še reakcijo SO + O ^ SO2. Ker bi upoštevanje prispevkov obeh reakcij pri segrevanju sonde otežilo izračun gostote (za reakcijo SO + O ^ SO2 namreč ne poznamo verjetnosti za rekombinacijo), smo v našem primeru predpostavili, da se površina katalitičnega materiala, iz katerega je narejena sonda, zasiti s kisikovimi atomi in da je verjetnost za reakcijo O + O ^ O2 bistveno večja od verjetnosti za reakcijo SO + O ^ SO2. Izračunane gostote nevtralnih atomov kisika v plazmi SO2 so zato zgolj okvirna ocena. Daje prva predpostavka upravičena, smo pokazali tudi z XPS-analizami, saj je površina sond vsebovala zelo veliko kisika (molski delež 30 % oziroma 50 % za Au oziroma Mo) in zelo malo žvepla (okoli 5 %). 5 SKLEPI Dokazali smo, da sta tako zlata kot molibdenova katalitična sonda primerni za karakterizacijo plazme SO2 in SO2/O2. Izmerjena gostota atomov kisika v plazmi SO2 je bila v območju 1020-1021 m-3. Gostota je naraščala z naraščajočo močjo in v splošnem padala z naraščajočim tlakom. Kot smo že omenili, je gostota v mešanici SO2/O2 večja v primerjavi s čisto plazmo SO2. Na sondi smo pri izračunu gostote predpostavili samo reakcijo O + O ^ O2, medtem ko smo reakcijo SO + O ^ SO2 zanemarili. To smo opravičili z veliko adsorpcijo kisika na površino sonde in z nastankom kovinskih oksidov, medtem ko je bila količina žvepla, ki smo jo našli na sondi, zelo majhna. Plazmo SO2 smo med drugim uporabili tudi za uspešno funkciona-lizacijo polimera PET s SO3-skupinami. 6 LITERATURA [1] M. Mozetič, A. Vesel, U. Cvelbar, A. Ricard, Plasma Chem. Plasma P., 26 (2006), 103-117 [2] M. Mozetič, U. Cvelbar, A. Vesel, A. Ricard, D. Babič, I. Poberaj, J. Appl. Phys., 97 (2005), 103308-1-103308-7 [3] A. Vesel, M. Mozetič, A. Drenik, M. Balat - Pichelin, Chem. Phys., 382 (2011), 127-131 [4] Y. H. Sun, L. X. Feng, X. X. Zheng, J. Appl. Polym. Sci., 74 (1999), 2826-2831 [5] D. Klee, H. Hocker, Biomedical Applications, 149 (1999), 1-57 [6] J. Kovač, A. Zalar, Vakuumist, 25 (2005) 3, 19-24 [7] A. Vesel, I. Junkar, U. Cvelbar, J. Kovač, M. Mozetič, Surf. Interface Anal., 40 (2008), 1444-1453 [8] W. Xinliang, L. Tingting, W. Dongxiang, W. Yanli, G. Fan, Plasma Sci. Technol., 6 (2008), 710-716 [9] T. L. Cottrell, The Strengths of Chemical Bonds, 2nd ed., Butterworth, London, 1958 [10] B. de B. Darwent, National Standard Reference Data Series, National Bureau of Standards (1970), 31, Washington [11] S. W. Benson, J. Chem. Educ., 42 (1965), 502 [12] J. A. Kerr, Chem. Rev., 66 (1966), 465 [13] A. Drenik, Disertacija: Verjetnost za heterogeno rekombinacijo vodikovih in kisikovih atomov na površinah fuzijsko relevantnih materialov, Mednarodna podiplomska šola Jožefa Stefana, Ljubljana, 2009 [14] M. Mozetič, Disertacija, Univerza v Mariboru, Fakulteta za elektrotehniko, računalništvo in informatiko, 1997 [15] A. Drenik, U. Cvelbar, A. Vesel, M. Mozetič, Inform. Midem, 35 (2005), 85-91 [16] I. Poberaj, M. Mozetič, D. Babič, J. Vac. Sci. Technol. A, 20 (2002), 189-193 OBVESTILO Člane DVTS pozivamo, da poravnajo članarino za leto 2012 v višini 25,00 EUR. Znesek lahko nakažete na naš transakcijski račun SI56 0208 3001 4712 647 preko interneta (klik) ali s plačilnim nalogom, ki ga dobite na banki. V pomoč prilagamo primer izpolnjenega plačilnega naloga.