avgust 1985 GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE 9 VSEBINA - Delovanje DVIS v oodoDju 1932 - 1985 - Oočni zt3or Društva za vakuumsko tennil;adžarskeir.. DVTS je član Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije CJUVAK) in vseskozi sodeluje z DVT Srbije in DVT Hrvatske. Bavno člani DTO Slovenije so odločilno pripomogli, da je ok- tokr.-i leta 1935 JUVAK orßar.izirftl IX. jugoslovanski vakuumski kongres v Zf--i*reb'j. f'lani DVTS so clar.i tako v izvršnem odboru JUVAK, kot v nekaterih organih tsge društva. Žtirje člani DVTS so predstavniki Jugoslavije tudi v sekcijah Mednarodne zveze za vakuumsko znanost, tehniko in aplikacije (lUVSTA). Iz navedenega je razvidno, da DVTS uspešno deluje na vakuumskem področju in zapolnjuje vrzeli, ki nastajajo zaradi togosti nekaterih delovnih organizacij, ki se profesionalno ukvarjajo z vakuumsko tehniko. Uspešnost društva potrjuje tudi priznanje Občinske raziskovalne skupnosti Vič-Rudnik, ki jo je letos podelilo DVTS predvsem za izobraževalno dejavnost na področju vakuumske tehnike v preteklih letih. Naj omeniir še sodelovanje TiVTS z lEVT. Ocenjujem ga kot dobro, v obojestransko zadovoljstvo ir. korist. D'iTS bo letos na lEVT dobilo tudi manjSi prostor za društveno pisarno, kar bo pripomoglo k izboljšanju adir.iniatrativno-orpT-nizacijSKih del in urejenosti arhiva, tako da bo novo izvol.ieni TO DVT.') imel čc Im'je poj^o-je 7.a del"' kot do:!ed.inji. Nekaj besed je potrebne nameniti 5e kadrovski sestavi 10 EVTS. V zadnjih letih se je že vklju-čilo v delo društva več mlajših vakuumistov, ki bodo kaalu morali prevzeti funkcije in obveze pri delu društva. Zaželjeno pa ,ie, da se vključi in aktivira še ve^ mlajjih kolefov, k; nsj bi poživili delo v društvu. Zaželjen? je vsaka pobuda in predlog, ki bi pripomogla k nadaljne-mu razvoju društvenega dela. Seved'' je to povezano z včasih suhoparnim delom in prisostvovan-jem na sejah društva v popoldanskih ali večernih urah, vendar se ravno od mlajših pričaktije atraktivne;?e akcije. 7 tem duhu je sestavljen in izvoljen novi 10 "'.'73 3 predsednico nag. ''c-niko Jenko r.a Čelu. Novemu odboru želim veliko uspehov pri njegovem de]i:, pomembnem za nadaljni razvoj vakuumske stroke pri nas in s tem za celotno našo družbo. m&g. Antor. Zf-.lar lEVT, -jubljana 0BČ!:T ZROH IVTS - 23. maj^ ingc Letošnji o""'ni zbor DruStva zn '"ikuumsko tehniko Slovenije je po treh lotih spet bil lilni. statut ramrei' zahteva, da vsaka leta na rovo izvalirrio '-lane izvr^ne-^a in nadzornega odbon, ter '•ov?'rii'kef;-i nssodič-Č5. Rezultnti letočnjef' izbors so naslednji: Novi I.O. Lindav ,Tanez Iskra CEX), Stegne 7, Lj 2 Žabkar Tone IJS, Janova 59, Lj. 3. Sejjad Salar Iskra Žarnice, Lj. 4. V/eber Marko ITH, *kofja Loka 5. Grahek Karlo Vak. naparevanje, Lj. 6. f^esen Jože Saturnus, Lj. 7. dr. Lah France Cigaletova 8, Lj. a dr. Gasperič Jože- lEVT 9. dr. Kansky Evgen - TEVT lo. mag, Zalar Anton - lETO 11. Žumer Marko lEVT - blagajnik 12. Pregelj Andrej lEVT - tajnik 13. Zavašnik Rasto lEVT - tajnik 14. ''^etina Janez lEVT - podpredsednik 15. mag, Monika Jenko- lEVT - predsednik Nadzorni odbor 1. raag. "urko-Jezovšek Kelita - IEW 2. Hribernilc Ivan - lEVT JanJar Rudi - '^linžka 't, Lj. Tovariš V o razsiodišre dr. Perraan Evn - lEVT Z. Pezdirc Pai/le, Iskr^i SemiS dr. Kof.o.i-Brvai' Alenka, Tskra OSO, T:.-,enovani so bili tudi alrtivni 'lari društva, ki delujejo v odborih za pripravo te^n.iev, ekskurzij, Vakuumist^, itd. Ka občnera aboru Je bilo prisotnih članov druütva, ki so v razpravi po poročilih polep že znanih povedali tudi narsiVatero novo Hisel oz. pobudo. Naj jih na krat-to Se enkrat pregledno zapiSetw: • iz vseh poročil sledi, da .je za obstoj društva pravzaprav najporaembnejci vzc;ojr.o-izo-braževalna dejavnost (stalne ve'e več vaku-umietov na skupno delo, pomeri iflsvnt finančni vir, je družbeno koristr'"-i, itd); torej je nujno da v PVTS še naprej skrbimo za dvig iiaSih tovrstri'i sposobnosti (izboljšava tečajev, vaj, izdajan.ie novih knjig, priprava novih te-ejev, javna predavanja). • prav je, da DVTS n=.dnljuje ?, zbiranjem informacij o star.ju vakiiuniske tehnike v Sloveniji in Jugoslaviji ter o potrebah delovnih organizacij po tovrstri opremi iz uvoza ozirora o r.adomeSčanju uvožene z domačo. Taki podatki so pravzaprav najpomeir.bnejči kazalec Z8 usnerjanje bodočega delovanja društva, hkrati pa so lahko zelo dobrodošli tudi (povratno) našim pombnikom vakuumske tehnike za pridobivanje dodatnih informacij pri reševanju svojih problenov. • zelo pomemono za D'/T3 ,je, da čia preje izide drug-t Vktk knjiga: "Vakuunske tanke plasti'' v bodoče boTo - vs^t,? ob priložnostih - nDiz-ku'ali propagirati aejivnost in ime druStva, ki .ie zdaj poznano lc_ofje:r,u krorru posamez-riko" in organiaac.i.i (prer'vseo tistih, ki sodelujejo z ISTO) izraženo je bilo nnvdu'er,"" rnä lersV.ini o^ledos Vi5k -uTske^^a gi^f.nta I.eybold-IIera-eus--j; slreneti r^oraEO k temu, da društvo postane redni organizator t-iVih in podobnih strokovnih ekskurzi.'. Andrej Preeelj aipl.ing. :E'/T, Ljubljana POIPREVODKISKK LASTNOSTI TANKCPLATKEGA ArORFNFGA STTTCTJA 1. Uvod Dar'^s je v svetu že splošno uveljavljeno mnenje, da je bistveno pocenitev sončnih celic in s tem tudi resnično vsesplošno uporabnost možno deseči le s tankoplastno izdelavo Kljub temu, da se raziskujejo tankoplastni po-likristalni materiali ^kot sta ra primer CuInSe2 in C4Te),ki imajo boljše lastnosti, kot na primer absorpcijski koeficient, energijsko širino ( m stabilnost ^ , pa iraa do sedaj le amorfni silicij potrjeno možnost velikoserijske izdela- (5) ve Vendar je pri teh tankoplastnih tehno- logijah treba nujno opozoriti m ekološke in zdravstvene probleme 2, Fizikalno optične lastnosti Amorfnemu siliciju, nanesererau na stekle sr.o najprej pomerili svetlobno prepustnost T v odvisnosti od va]ovn<» dolžine na rronokromatorju Hilger (slika 1). Kot je razvidno s slike 1 ira tanka plast a-Si:H raininume in maksimume prepustnosti v področju slabe absorptivnosti. Upošteva,ioč te last- T -0,5 0,4 0,3 0.2 «O 600 500 1000 X[nm] Slika 1.: Spektralna optična prepustnost a-Gi:H. (Pri loo % -ni trenapsrer-ci .1e T » 1) (■t SN r.osti ' SHO lahko izračunali lomri koli"- niV v odvisnosti od valovne dolžine (slika ?) 2 era^nami (1) in (2): Slika J.: Fotografija amorfnega silicija na elektronskem mikroskopu JEOL, debelina plasti je l,5^um, povezava 6ooo krat, mir. (Tnd) = m A^ (!) ma* (2nd) = (a + 1/2) (2) kjer je n lomni količnik, m je celo število uklonske^u reda in d je debelina amorfnega Za izračun absorpcijskega koeficienta smo pomerili še refleksijo amorfneca silici.ia v odvisnosti od valovne dolSine, kar ,ie prikazano na sliki 1.8 £[eV] R . 0.3 0.2 0.1 i.00 600 800 1000 Alnm) Slika 1.: Refleksija s-Si:H v odvisnosti od ilovne dolžine . (Pri loo^j-ni refleksiji je: R = 1) Slika 2.: Lomni koliSnik a-Si:H v odvisnosti od valovne dolžine silicija. Debelino smo izmerili neodvisno, z elektronskih r-ikroskopom (slikaj). ApsorpcijsiV i(? Ml prvi'' In p'-'.^i^ntIr^n np Posvetovanju o tankih plasteh v nnrilu If-tos v "(jjnrlnravili os «r- na r"an."ilar Tasev-Bki in sodolavca ".I'avli Hinl.in". i" T.iVsr «Padovan,dinl .Inn. (vsi T^'""-!^ .) VAKIJUKSKA T'rJKNIKA V METALKI Mßtalna v letoanjem letu praznu.ie oetir^estde-setletnico svojega obsto.ja in desetletnico njenega TOZD - Razvojno raziskovnini in"'titut. Skozi vso zgodovino .-je bil cilj delovne organizacije osvajanje vedno nove tehnično in tehnološko bolj zahtevne opreme. V ri7.vojno-razis-kovalnera in2titutu(RRI) in v nekaterih prodajno projektivnih inženiringih (PPI) tečejo aktivnosti, katerih rezultati so raalična hidro-oprema, pristaniška oprema, preoblikovalni stroji. V zadnjih dveh desetletjih se Metalna podaja v izdelavo raznih procesnih kolon, n.pr.: za pridobivanje ?veplene kisline, v sladkornih rovarnah, itd; prve korake pa smo naredili tudi np področju kriotehnike. kotili smo se osvajanja proizvodnje rezervoarjev in cevovodov za uKapljere atmosferske pli-Tif-. V prvi fazi smo začeli izdelovati vakuursko — perlitre rezervoarje, to so dvostenske cisterne zn skladirfenje ukipljenih plinov, pri '"-■"crih so v vinesnera prostor-i natlačeni perlit-Tii drobci. Volume:: skladiSf^nesa prostora znaša T ir.e i Ic' do lo 1. Voluaen vmesnega prostora pa ^e približno enako velik. Ker so voluxr.i soraz--«vno veliki, so postopki testiranja tesnosti, polnjenja perlita, sur.enja in vakuuniranja so-rvzm«rno dolgotrajni in zahtevni. Posebno veliko težavo predstavlja odplinjanje vseh površin v vaituur.skea medprostoru, kajti tak rezervoar moi-a i®eti v "asu svojega najmanj lo-let:. obratovanja vakuum okrotj lo~^ Tibar. To problematiko smo v Metalni uspešno rešili. Toplotna prevodnost naše izolacije znaša okrog W/rr.K, ker je v primerjavi z penastinii plastičniai n;a-snni, ki iraajo nad 53.1o~' Ä/nK mnogo bolre. Zi manjše rezervoarje (do coa looo 1) pn smo pripravili drugi tip izolacije - Mnogoslojno izolncijo v vakuurau (multi foil, insulation -- superisolation). To je izolacija, pri kateri so v vakuuTTiskem medprostoru z vakuumom, boljšim I kot lo mbar, zaporedoma naložene refleksijs-ke plasti (n.pr. Al-folija) in distančno-izola-cijske plasti. Ta izolacija je še boljša od pe-rlitne. Njena toplotni' prevodnost znaša okrog lo" /.'/mK. (Ta podatek je informativnega znar'a-ja, ker je zaradi plastovitosti bolj primerne podajati gostoto toplotnega toka v odvisr.osti od števila plasti in temperaturne razlike). Ker je končni vakuum, potreben za to izolacijo, sorazr^emo nizek, povrSina vmesnih plasti pa gre v stotine kvadratnih metrov, imano težave prj ohranjanj-.] stalnega vakuuma zaradi vplivov odrlinjanja. Predvidevamo, da bomo uspeli to problematiko ob sodelovanju z T2VT dokončno rešiti še v ten letu. Gajšek Jar.'»z, dipl.ing. METALNA «ARIBOH TOZC RRI PILOTNA PROIZVODNJA VAKUUMSKIH CRPATNTH SIf-TiTCV NA lEVT .. (ioltro^ofnim in načrtnim razvejem posameznih e.esentov nam je na I£VT uspelo izdelati sodobnejše kovinske frpalne sisteme, ki delujejo z - -i-.alno črpalno hitrostjo 15o l/s o?.. 60n ^s in -S kon'^nir. totalnim tlakom okoli l.lo~^ rahar. Vsi elementi teh sistemov ustrezajo med-narodniir standardom in so iznenljivi a elementi drugih proizvajalcev vakuumske opreme. Osrovne enote črpalnega sistema so: predvakuum-skn roticijska črpalka, oljna difuzijska frak-cicnlrn-s tri oz. itiristopenjska oljna črpalka, vakuumski ventili (visokovakuunski, dvopolr.i, ka-.ni vontil za vnust zraka povezovalni ele-m.enti (f itingi, objemke , predvokuumski rece-pienti, nosilni elementi) in vaVuummetri (pi- ^ rp 'ini aist«^". pr'i'lntr^vl,!-'' '^r-n ivc v- kuumsko nmravo, '■''i ima še rftcioier.t, kjer se odvija tehmlo'ä'ri nroca». sistem slu'1 - kot o-'žnjono - z.-j dose^'i'^.l'^ vi.-sok®':-! viilr^n-na ".li z 'rufrini b'»;»'^ 1-ini i:a •/, ihCevne,-'f viikuuiiske t«linoT.fi~ije kovJ"^ in zlitin, in Vlov-nje speci.nlnih elektron'.: itd.); z ustr'?znirii funkoionlniTiii pr'^raztjo-r->il"n uiionbir-io zu Vilcun'-.nko manj zahtevne -^hnolOiTi.ln, ki se odvi.i jo v sr^idnjem in ^rfibem vakuifu (nololrularn 1 lestilacija, liof ilizHCi •'1, iTTr>re=;naci,;--, tal j jnjs kovin, dei-azacija, auöenje, itd . ) . wnsnjeni o-".ncVTii črp'!lni sint?m je lahko tudi temelj za -ro3,>f-Hnje na področje ultra vipokppa vakuuna. 1. PrRd'rpalt-% 2. Ül,ins difuaijska črT-alka Recipient '.'r^^dvfikuuf.ski recipient "). Oibl .ii vri cev 6. lovilnil; povratrih ol.jnih p-ir ?, Varr.csrr.i el. magnetni ventil 8. Dvopolr.i ventil 9. Visoke-akuumski ventil 10. Ventil zs vpust zraka 11. Vak-aunieter Shema povezave eler.er.tov pri v i sokova kii umskem Srpalnera sisterau lEVT. 'Po n!io:-ri."i i r.veiVi-i Ufur. i Srt;ril- k-': iz n ■•)',, J'?>:l-i (l.-ihko buli ,K'e (lifui^i.i'-ki ■•rp'-lki pov.>-rini v ;5')riio) in u':tr '7.ni fi'-u'-i W/ ol nonti, ri.ij.inL rs teko'i.n (h;" il^O" M i.i-^m past, i^i jo vstavimo ne' rtifuzi.jfl^ri črpnlko in recipiant. Pri izlalnvi o?., nro.i Octiranju določiinet^a orpaluGca ninfn;! za ilolotl-jn v-^kuiiniski t3hnolo';lii proces sl-ii:'-i'io zadovol.iiti speci'"ičn''' 'sel,-;'? in T>otTr-'!be naro'^niko-v, orooi^or'iTif) na tu li Vü lr" ^jvinjo in f^ervisi-i'anj'? vsk\Juns':-> n-ni-ftpif;. Vne ts ilsj^vnssti fo r fzvi ;r- na nü.'ü-ici ini'-tiitutu. I'oleg že omer.ienih Isistnosti n;i ".-.n osncvrepa vakuuir.sksca ■^rpalrepn sijtec-i r-:,; i.-'veceT.o še tiitro ir. e:.ostavno Cf^st-Jvliii-'ost oa. razstav-l.iivost. Vsi elementi so ve^iron.t? is-ioJani iz domer'ih. -naterialov. '.'se to preiist-.-'-.'l.Ja pomemben prispevek irVT pri nadomeščanju 'Jvo-ene opre~e 2 dorca'o. Naš razvo.-' r,i tem oodrof.iu gre v freri avtomat-sVepa kriril.nen.in. ?o bo OT-oco^^ilo zanes- ljivost in erostavne^jo kontrolo deV.vnih procesov v vak'jurru. Igor - odbr«»-,!!!'^ dipl. ing. IfVT, LJuDlj^na OD MAJHNE STEKLOPIHALNICE IN LEKARNE V SVETOVNI VRH Letos mineva sedannajst let od podpisa zastopniške pogodbe med firmo Leybold Heraeus in lEVT. Gotovo je med nami še nekaj predvsem mlajših vakuumistov, ki le malo ali nič ne vedo, kdo se apJ.oh sJcriva za nazivOTi LeyboId-Heraeus. Najbolje je, da pričnemo kar na začetku. Leta 1850 v Kölnu ustanovljeni trgovski družbi se je leto kasneje pridružil kot delni lastnik Ernst Leybold. 2e v kratkem času je postal njen lastnik v celoti. Kmalu je razSiril prodajni program še na farmacevtske, fizikalne in kemijske aparate. Leta 1859 je napravice začel izdelovati v svojih delav- nicah, tako da je njegov katalog leta 1871 obsegal že 584 različnih aparatov. Leta 1906, to je leto dni pred smrtjo, je začel sodelovati s prof. dr. Wolfgangom Gaedejem. To povezavo štejejo tudi kot vstop Leybolda v vakuumsko tehniko, saj je pripeljala že leta 1911 do prve konstrukcije zračne molekularne črpalke in 1913. leta do izdelave prve difuzijske črpalke. V tridesetih letih je doživela vakuumska tehnika veliko ekspanzijo in prestopila iz laboratorijskih okvirov v industrijo in proizvodne procese. K temu je precej pripomogel tudi izum "gasbalasta" (prof. Ga- ede, 1935). K razširitvi proizvodnje vakuumskih naprav, va)cuuin-skih komponent In prlrodno-znanstvenlh tehničnih prlpcmo5kov je pripomogla tudi finančna pcmoč De-gus3e in Metalne družbe leta 1952. Podobno pot kot družba Leybold je skoraj Istočasno, vendar na drugem področju, doživljala firma z imenom Heraeus. V letu 1851 je Wilhelm Carl Heraeus prevzel lekarno "Einhorn" v Hanauu. V pripadajočem laboratoriju so eistlli platinaste odpadke hanauskih zlatarjev. Platinasto peno so pošiljali v London ali Pariz kjer so jo predelovali v pravo metalno platino. Tanü zamudnemu postopku je napravil Heraeus konec leta 1954 z IzumCTO taljenja platine z gorllcem na pokalni plin. Dr. R. Küchu se je leta 1890 posrečilo pridelati fizikalno čisto platino. To mu je omogočila izdelava natančnega pirometra do 1600®C. Tehnologije, uporabljene pri izdelavi platine in pozneje tudi zlata, so kasneje prenesli še na druge kovine in delovna področja. Npr.: Hammerjav postopek varjenja so uporabili tudi za Al in z gorilnikom na pokalni plin BO izdelali tudi prvo kremenčevo steklo iz pri-rodnega kristala (kamene strele). Krenenčevo steklo je pomenilo z gorilnikom Iz krer.enčevega stekla, izdelanlin leta 1904 - tudi prvi stik z vakuumsko tehniko. Sledili so uspehis izdelava visokega sonca "original Hanau", uporovno grete cevne peči in platinasti uporovni termometer za -200 do +700®C. Med prvo svetovno vojno izvedeno uspešno taljenje Cr-Ni legur pod vodstvom dr. Wilhelma Rohna pa je ponenilo vstop Heraeusa v vakuumsko metalurgijo. Naslednji uspešen korak je pomenila združitev raziskovanj na področjih plemenitih kovin in optike. V začetku tridesetih let so naparili prve visoko reflek; ne in trde plasti v vakuumu. Po drugi svetovni vojni sta obe firmi 2e precej sodelovali in leta 1953 sta sklenili svojo dejavnost na področju vakuuma načrtno in skupno usmerjati v naparjevalne tehnike in v vakuumsko metalurgijo. Nekajletni tesni stiki med Leybolds Nachfolgen {tako se je imenovala firma Leybold po smrti E. Leybolda) in Heraeus Hochvakuum Gmb so pripeljali leta 1967. do integracije, in tako je nastal Leybold-Heraeus. Od leta 1968 pa so družabniki LH z enakim delan tudi Degussa Ag, WC Heraeus GmbH in Metallgesellschaft Ag. Tako je postal Leybold Heraeus po združitvi - in tudi prav zaradi nje - vodilna firma v svetu na področju vakuumskih tehnologij in izdelave vakuumskih kcsnponent. O tem pa v naslednji številki. Rajko Kalan HVT, Ljubljana 7. OGKJB!^ in STEKLOM 'Jreir,i";tvo n'iSega lista Se ve" Vot eno leto ro.'i ?.el,io po prispevku, ki bi hralcen pre-i-sta-zil de,javnost steklopihnike delavnice na , ter n.jen oooen pri razvoju v-akuuTiske tehnike. Ker so ^a?t^nek delnvnici?, nper r-'?.-"O.i in uspehi oziromn sposobnosti nelo'l.iivo pove;'.nni s tovnri.'fm Brunom Tav-nriem, stf'klo-piha-e-n, mo.jstrora, tehnoloROT., raxial^ov.Tl fem in (iolf^olctnirr nli bolje "vReskozilf>trim" sodelavcem TE'.T, so ni naraip-nili, raj za r.'!ze;o-vor pri.iohiir prav r.iega. Bruro se .je prirel ukvarjati s stehlo-:; in po-tO!r. n.iesa tuiji z vakuumora Se v niadosti, Vo nu je l-ilo koralo 17 let; potem .ie bil m svoj?"r strokovnem po'trofiju z njim povezan vse 1o iipo-ko,-'it"e. Tudi zdo.i, ko .^e že akor.-s, leto .Ini v "beneficiranem" penzionu, se re more upre- ti stroki in potrebam na.irazli^ner^ih n.-irc'r.i-l'ov po r,ie(?ovem ^nan.iu. Prea kratkih mi tako živo razlagal, s kakčrimi rovirri tehnoloSkirii problemi se ukvarja, da sen nehote pomislil, da mu ponieni steklo del Sivljen.i^ tudi r.e se-■la.i. Ko sva raztrovor nadal.-'evnl3, se 'e pre'i aano razkrila ve^ kot tri'l'-sftletra zrodovina r3z-. o,}" tehnologije stek] a ?.-> potrebe vn''u-j-c-ke tehrike tako na TSVT, kot tudi v Cloveriii, JunoGlaviji ir v svetu ort 3eta l"fo naprej. Hrastrilka steklarna ,ie Erura sicer izu^i".-za steklopiha"a, vendar ,ie r.cr.il zr-ir.ia 1--fcoratorijske izdelke iskati dr^jF.^e. Odlo'ilro vi0^0 pri ter:; so ir.ele ino7.emske prr.kse ir. nekateri zur.an.'i specialisti, pa tudi last-.o is-knnje, poizkuran.je, Studir^irje in tuhtanje. Eroino privi, 'Ii .ie zr.nl rajpre,') r^reiiti"vci-no pumpo" (vodno ejektorsko črpalko), a kmalu mu je uspela Sivosrelrna difu7.i.isV;a "rpslkn, pg dewnr posoda za teko*i dušik, vakuuiisl?e pipe, itd. Kmalu aatem ^e že utal^jeval pr-.-e kovinske prevodnice v steklo. Vse priprave oz. delovne pripomočke si je moral izdelati sata, ali pa so mu jih po njegovih na'rtih izdelali v delavnicah. Za^anost ir veselje do ustvarjanja takratnih vakuumistov: od znanstvenega vodja prof. dr. Dušama Lasit's, ing. Viktorja Bradača, dr. Laha pa do zadnjega ''lana vakuumskega oddelka je pripomoftls, da je vakuumska tehnika pri nas že v zgodnjih šestdesetih letih dosegla nivo razvitejSih držav. lEVT Je takrat soaeloval pri postavitvi tova.-ne žarnic (sedaj je to Iskrina tovarna v Stegnah), pri zadetkih tovarne elektronk v fliSu (sedaj EI-Kiš). Odgovornost za učenje lovih sodelavcev je prav tako padla na Bruna. Za tista leta bi lahko trdiJi, da je bila to doba steklenih visoko in ultravisokovakuumskih sistemov, steklenih vnkuunskih merilnih sond (lirani merilniki, ionizacijski merilniki s tetrodo, Bayard-Alpert triode). Preselitev v novo, sedanjo stavbo (1. je pomenila za :eVT večji razmah vakuumske tehnihke in novih tehnologij. Ijf.li ir. povezovali, ustanavljali stroVovr.o družtvo (seirij rvTS in JÜ'.'AK) , hodi'.i r.n vakuumske konp-rese ir rnzat'ive, se iifili in po-uf.evali drure. To tej "zlati" dobi pa je začela naSa družba zapuščati inštitute. Da bi preživeli, smo se morali ukvarjati s proizvodnjo, saj so sredstva, ki jih je dajala družba plahnela iz leta v leto. Stekleni izdelki (Hg stik'iln, vakuumske pipe, steklene ''rpal-ke, neonskp cevi, itd) so nosili težo "preživetja" vakuumskega oddelka lEVT. Knogi perspektivni sodelavci, ki so odšli,so se dobro afirmirali v novem delovnem okolju saj je bila doba izkuSenj pridobljenih tudi v steklarskem laboratoriju - bogata. Bruno ontaja, S svojim učencem Feliksom Hriberrikom obdelujeta zahtevno kreraenovo steklo, z visokofrekven-čnir. e^ereratorjem spajata kovino ir. steklo, re5ujet<3 steklarske probleme ir marsikatere zadrepe (steklo se tudi rado razbi,->!) drugih raziskovalcev in zunar;jih naročnikov ir. vsepovsod . Kot da rio re hi zpodilo nič usodr.eca, prihaja Bruno ob^nsro v svojo nekdanjo delavnico pcc.T-■'•;t pn reševanju steklarsko tehnoloških nalog novih generacij raziskovalcev. Zninost in znanje ^esta dalje, treba jima je slediti. V pof^ovoru se nisva mogla izogniti tistih "zlatih" časov, ko smo vztrajno gradili, raziskovali, objavljali, se mednarodno uveljav- dr. Jože Gasperič lEVT, Ljubljana X. mednaroT.i vakuumski kor.gres (IVC-lo) in 71. mednarodna konferenca o -)Ovr'inah trdnih snovi (TCo5;-6) istočasno z simpozijem AmeriSkepra vakuumoket^fl drurtva Datum: P''. - 51. oktober lORfi Krnj: '=ni.t\niorp, Yaryland, 7.IIA Pokrovitelj: TUVGTA Organ i zato": Amerirko vakiius-.sko drurtvo (AVS) crogrsin skupnega IVC-ICSS-AVS kongrer.a bo obsegal področja, ki jih obravnavajo pos^amsKne tehnične komisije lUVSTA in AVG po svojih strokah: znanost o povrSinah, raaterinli za elektroniko in njih proizvodnja, tehnologija fuzije, tanke plasti, vakuumska metali'.rgija in vakuumska znanost. Dodatno bodo ors;anizi- rare tudi konference, katerih teTatika sege v razli"r.a nodro^^ja. Znfinost o povrčinah IC.jD-6 bo osredotočena na eksperir.ertalno in teoreti'ne po?;led9 nastrukturo, na elektronske lastnosti ir dinamiko površin (kovine, izola- tor.ii, r>o3prevslr)iki), ter- ri :iOB;T,-r!r .ia rn : ovr'irnh. Vkl 'n^^ne bo io t'jii wetoi«? ir -ipo-rnbc T'Ovr;";) r.it i!i -in-nl i zn oleKtroniko Tfi predavHn.TT hodo obravnavala fizikalne in kerairne lastnosti povrSin in sti'nih (mejnih) ploskev polprevodnikov, optoelektroriko, VI,SI--podraikronske naprave, tehnolof^i.io ] itORrafi.ie, suho ,jedkanje, silicide, vmesne povezave in pakiranje . Tehnologi.ia fu2i.-;e To področje vključuje celo vrsto problemov v zvezi 2 ustvarjanjem pobojev zt potek kontrolirane fuzije ; med njial Je trobd omeniti: seprevanje plazme, kontrola ne'üstoc, poso.ii nfi stenah, razvoj vakuumskih materialov, vzdrževanje velikih fuzijskih n^priv, produkcija in meritve vakuuma v fuzijskih napravah, izdelava mikro tar* in aktiviranje le-teh. Tnnke plasti Prof^am bo obsegal nove proizvodne tehnolot^i-je kot n.pr.: s fotoni, elektroni ali ioni po-.-^a^nno depo7.icijo in tovrstne proizvodnje, nadzorovanje in karakterizacija procesov ter dogajanja na mejnih ploskvah tankih plasti. Predvidena so tudi predavanja v po;Tzavi z drugimi področji: triboJoSka prekrit,ia, materiali za elektroniko (VI.ST) ter plazeir.Bl.i procesi v fu-zijcki tehnolofriji Vaifim-ska rr- T i ,:0 oredvl -ia-'i ; -ir i f -Tr , ■ ■ t ; "i: VT'/n^iTrkr r al je vir.lo in coro Inr ♦ c .ri , xetoliir'kn prekritja v r.vezi s tribo!-.'- ' - čljni: Madžarska: P. 8. Sama L. Filstös G. Peto F. Soiymosi Avstrija; Jugoslavija; A. Preiainger M. Kurepa A. Wagendriatei J. Gasperič P. Varea A. Zaiar K. Rendulic E. Kansky Namen konference je podati pregled razvoja in znanstvenih aktivnosti na področju vakuuaske fizike, tehnike in uporabe kot tudi vzpodbuditi stike in sodelovanje med udeleženci. Konferenca bo •■ Te' '-':-•!, ladžarska, v stavbi Debrecenslte seV:ii,;e • -"'rnl-.e fikademiie zrano3-ti in £3icer 7., R. in ol;tobra 1985. Znanstveni progrnm Vonferenee vltl.ju^uje predavanja vabljenih predavateljev in prispevke, katere bedo reprezentirali avtor.ji kot posterje. Celoten ?as, predviden za predstavitev in diskusijo poa"a:nezneEa predavanja bo 4o min. Jezik na konferenci bo angleški. Spisek valsljenih predavanj: VAKUUMSKE HETODE, SMERI IN RAZVOJ W.J. V/an Oöij, /Irnhem (NL) "Contributions of vacuum methods to tt-e evolution of lorg-ranRe R and D in industrj" £. Kansky, Ljubljana (Yu) "Vacuurc tif^htness of materials and phase boundaries" W. Bachler, KJ51n (FBG) "Gryopumps in research and production" K. Kurep^, Belgrade (Yu) "The influence of development of hiph ar.d ultra high vacuum to the high resolution electron spectroscopy" FIZIKA IN KEMIJA POVRSIN T. E. Mdddv, üäitnei'SDurg, Maryland (ZDA) MECHANISMS AND APPLICATIONS OF ELECTRON STIMULATED DESORPTION IN SURFACE SCIENCE N.S. Mcintvre, London (Kanada) APPLICATIONS OF HIGH RESOLUTION ESCA TO SURFACE OXIDATION STUDIES D.A. King, Lii/erpool (Velika Britanija) CLEAN AND ADSORBATE INDUCED PHASE TRANSITIONS AT METAL SURFACES IONSKI CURKI, FUZIJA J.S. Coliigon, Salford (Velika Britanija) RECENT TRENDS IN SURFACE TREATMENT USING ION BEAM PROCESSES M. Kaminskv, Ar?onne, Illinois CZDA) ENERGETIC CAS PARTICLE TRAPPING IN SOLIDS C. Mezey, Budapest IMatižarska) EVOLUTION OF SURFACE DEFORMATIONS DUE TO THE -IGH FLÜENCE OF HELIUM IMPLANTATION H.P. WINTER, Wien (Avstrija) NEW DEVELOPMENTS IN TOKAMAK PLASMA EDGE DIAGNOSTICS D. Berenyi, Debrecen (Madžarska) PERSPECTIVES AND APPLICATIONS OF ION-ATOM COLLISION RESEARCH MATERIALI ZA ELEKTRONIKO, VAKUUMSKA TEHNOLOGIJA M. Croset. Orsay Cedex (Francija) SOI MATERIALS AND TECHNOLOGIES TOWARDS THREE DIMENSIONAL INTEGRATION S. LuDy, öratiaiava (Češkoslovaška) METALLIZATION FILMS ÄND SYSTEMS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES AND CIRCUITS: SOME PROBLEMS AND TRENDS S.E. Kdrisson. Linköping (Švedska) HARD COATINGS TANKE PLASTI P. Rö(3hammer, Reutte/Tirol (Avstrija) PVD TECHNIQUES L.N. Aleksandrov, Novoaioirsk (ZSSfl) PULSE ANNEALING PROCESS IN THIN FILMS M. Cillet, Marseille (Francija) STRUCTURE AND CHEMICAL PROPERTIES OF SMALL CRYSTALS D.M.Kronn, Halle (2HS) FUNDAMENTALS AND PRESENT STATE OF DECORATION TECHNIQUES Pripi'avd poster prispevkov Za vsak poster bo na razpolago 1.5 površine na poseonl plošči. Razstavljeni posterji üorajo vse-oovdti avtorjev priiniek, ime, naziv in pripadnost. Poster mora biti čitljiv z razdalje 1,5 metra. Tiskanje referatov Abstrakti prispevkov (ki jin bo prejel organizacijski odDor ao 15. julijd 1935) Dodo oDjavljeoi v konferenčni knjižnici, ki Jo bodo udeleženci prejeli oo prinodj. Zbornik, ki Do vseooval popolna predavanja in abstrakte vsen prispevkov konference, oo izšel kot redna številka revije Vacuurr. TAIP (Velika dri ta nija). Navodila za avtorje: - za vabljena predavanja: 7000 oeseu; za vsak diagrarr do 250 besed (torej npr.: 6000 besed in « diagrami) - za nor-Ddlne prispevke: 3000 oesed; za vsak diagram do 250 oesed ' Rokopise je treba poslati predsedniku organizacijskega odbora do 1. novembra 1985. Manjša razstava bo odprta v posebni soJ)i konferenčne zgradbe; prikazovala bo novejše sestavne deie za vakuumsko tehniKo in instrumente za analizo površin. Dodatni program Udeleženci konference so vabljeni, aa se udeleže tudi 51. seje izvršnega odbora lUVSTA, ko oo predsednik odborov lUVSTA podal svoje poročilo - v kon- f3 ferenčni z^raOi Oftoreoen, Soiyai street 27-31J v nedeljo, 9. uktcora I9Ö5. oo 11.30 ara. Ostala vsebina tretjega ozirona zadnjega uradnega obvestila se nanaša na način prijave udeležencev, na namestitve v hotelin, opisuje, kaj so organizatorji pripravili za družaDna srečanja, kako je možno potovati po Madžarski, kako Je s prometom v De-brecenu in zveze z Budimpešto oz. z letališči. Naslov za dopisovanje: Third Joint Vacuum Conference Organizing Conmittee institute of Hjciear Researon Bern ter 18/c H-«001 Debrecen Pf. 51 HUNGARY Konferenčna pristojbina (1700 madžarskih forintov oz. 35 $) vključuje prijavnino, konferenčno knjižico z abstrakti in program,kot tudi dovoljenje za prisotnost na vseh predavanjih in razstavi. Plačljiva Je tUdI v šilingih, dinarjih, DM itd. Dodatne informacije dobite tudi na DVTS (dr. Gaspe-rič, nag. Zalar). SIMPOZIJ SD-8S V LJUBLJANI Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele, mi-kroelektroniko in materiale (SSESD) pri Jugoslovanskem združenju za ETAN in Elektrotehniška zveza Slovenije prirejata oD razstavi SODOBNA ELEKTRONIKA 85 na Gospodarskem razstavišču v Ljubljani 7. xn 8. ok-toora 1985 XXI. Jugoslovanski simpozij o elektronskih sestavnih delih in materialih SD-85. Letošnji simpozij bo imel poudarek na obravnavi problematike: - površinska montaža elementov - uporaba diskretnih elementov in senzorjev. Zato posebej vabimo strokovnjake s tega področja k sodelovanju. Prav tako se bo na simpoziju obravnavala problematika ostalih elektronskih sestavnih delov m materialov: aktivni in pasivni sestavni deli, integri- rana vezja. elektromehanski deli, pretvorniki fizikalnih veličin v električne, instrumenti, kabli m žice ter materiali, ki se uporabljajo pri pro-izvoanjl elektronskih sestavnih delov. Organizator si pridržuje pravico organizacije poster sekcije. Referate Je treoa poslati najkasneje do 31- avgusta 1985. Le tako oo mogoče natisniti Zbornik referatov še pred simpozijem. Prosiso. da prijavo za udeležbo z vplačano kotizacijo pošljete najkasneje do 15. septenbra tega leta, ker vam sicer ne Doreoo zagotoviti prejem Zbornika referatov. Vse naaaljnje informacije daje: Elektrotehniška zveza Slovenije, 61000 LJuDljana, Titova 50, tel.: (061) 3't6-.886. KOLEDAR POMEMBNIH VAKUUMSKIH PRIREDITEV • 12. - 16. avgust 85 Konferenca o tehnikah doseganje nizkih temperatur (kriogenija), Csmbridge, Massachusetts, 2DA 2.-5. september 85 6. konferenca o elektronski mikroskopiji in analizah (EWAG '85); Univerza Newcastle upon Tyne, Anglija 26. - 26. avgust 85 1. mednarodni seminar o nuklearni robotiki Bruselj - Belgija 2.-6. september 85 Tečaj: Adhezija in adhezivni spoji Lufthansa Training Center, Frankfurt -,2RN 2. - 6. septemoer Ö5 Dva tečaja: - Pol|. i >-'vof3r:iški materiali in procesne tetincioi;! je - Plasti in prekritje za tehnologijo Davos - Svica september - 4. oktooer 85 a. iredr.arcdr.a kor.fererca o vaVrj-.-j :• r-alurgi-ji: "Poeebr.a pretaljevalna čišJenja in metalurško prekrivanje v vakuumu ali v kontrolirani atxosferi; I.ins, Avstrija 2. - 6. september 85 Tanke plasti in prekritja v tehnologiji. Pol-prevodniški materiali in njih proizvodnja, Keteriali in procesne tehnologije; informacije! dr. Birgit, Jacobson, LinköpirK, University of Teschnology (Sweden); Tl'jvos, 7.-8. oktober 85 Simpozij SB; Elektrotehniška zveza Sloveni.ie in GSE3I1 v sklopu razstave Godobrrj elektronika 1986, na GR v Ljubljani 7. - 9. oktober 85 5. vakuumski kongres Madžarska-Avstrija-Jugo-«lavija; Debrecen, Madžarska 2. - 6. september 85 12. Evropska konferenca o kontrolir'ini fuziji in fiziki plazme, Budimpešta, Mad7.ars-•,^;,JlJ-,a^;o f^-.i-Ko Srbije l^.A.«^'", .le lil -v.il >n nov -'lanski izvrjni odor in •ov-i 1 arnhn odbora za samoupravno kontrol; te" za narodno obrambo in družbeno ss^ozsä^'ito. Novi predsednik Iruätva je dr. Tomislav Kenado-vič, sekretar pa Mirjana KitVov, dipl.ing. - oba z Instituta "Boris Kidri?" v Vinci. Društvo za vakuumsko tehniko Hrvatske pripravlja za ^esen 1985 tri predavanja s področja vakuumske tehnike oziroma tehnologije ir za konec leta,če bo vse po srefii,še vakuumski tečaj, ki ga bodo pripravili na Inštitutu B. Boškovič ACHEMA - 85 Od 9. do 15. junija 1985 je bil v Prankfurtu mednarodni sejen kemične industrije in tehnologije ACHEMA 85- Razstavni prostor so od zadnje razstave pred tremi leti močno povečali. Predstavilo se je 27oo razstavijalcev iz 5o držav. Največ jih je bilo s področja analiznih aparatov in opreme, laboratorijske tehnike, merilnih instrumentov, materialov, ter regulirne in avtomati-zaoijske tehnike. Predstavljena področja so bile naslednja: 1. Literatura, učni pripomočki, delovna področja univerz 2. Termični postopki (destilacija, sušenje, bioreektorji, toplotne črpslke, čisti prostori, itd) 5. Hazvoj, planiranje in izvecbe kompletne produkcijske opreme za vsa pt.dročja kemijske tehnike 't. Mehanski postopki (mešanje, mletje, filtriranje, itd) 5. Laboratori;}ska in analizna tehnika: oprema, merilni instrumenti, kemikalije, spektralna analiza, masna spektroskopija, laserji, kro-matografija, površinska analitika, itd. 6. Materiali (kovine, nekovino, keramika, plastične mase, itd) 7. Preiskave materialov: fizikalne (mehanske in termične), kemijske (korozija), struktura površin (metalografija, fizikalne meritve površin, difrakcijake analize) itd 8. Merjenje, reguliranje in vodenje procesov, obdelava podatkov, procesn:. računalniki 9. Črpalke, kompresorji, armature itd. lo. Pakiranje M. - J.M. - Komisija ze vzgojo pri JUVAK si je po zadnjem jugoslovanskem vak, konpresu v Zagrebu (jeseni 1985) zadala nalogo izdati knjigo: Vakuumska tehnika. Od več pričakovanih ste do sedtj prispela le dva predloga in zato so na zadnji seji JUVAK - junija v Zagrebu pomislili tudi ie na to, da bi se šlo v prevod kf,ke dobre tuje knjige. tJa koncn so odločili, da se pripravi originalna ju-Roslovanaka izdaja. Skupni predlog vsebine knjige bodo uskladili in pripravili: dr. Ku-repa, dr. Gasperič in Sternberg do naslednje seje I.O. JUVAK. - DruStvo za vakuumsko tehniko Sloveri.ie je za svoje aktivno delovanje v preteklem obdobju prejelo aprila 1985 priznanje občinske raziskovalne skupnosti (občina Lj. Vič--Rudnik, k,:er je sedel. DVTS) in sicer plaketo, ter lo.ooo din. - 1^. junija 85 se je s predstavnikom našega društva map-. Zalarjem pogovarjala o DVTS tov. Svetira Metka s Pedagoškega inštituta. Le-ta pripravlja študijo o neformalnih načinih izobraževanja in a tega stališča se jim 2di zanimivo naše vzgojnoizobraževalno delo. Kot vemo,se znanja o vakuumski tehniki in tur.i še o mnogih drugih strokah-ne da pridobiti v šolah, ker pač takih ni. V ZDA 9o ^ ljudi izpopolnjuje svoje znanje le po formrlnem šolanju. - DVTS je 2. julija priredil v knjiSnlci TF:\'T strokovno predavanje z naslovom:Merltve vakuuma in vakuumetrl.Zanimiv prikaz omenjenega področja z diapozitivi,ki jih js za razširjanje znanja o vakuumski tehniki Izdala lUVSTA, pripravil ma^.Bojan Povh.Škoda,da se nisiro preveč potrudili ori obveščanju in je bilo no-sluSalcev bolj malo. xiii. jugoslovansko posvetovanje o mikfioelektroniki MIKI, 8 S Ko lif t^jIo pre'1 'ivH.l-'-te*. iTri It ti v l.jubijani [''"vo posvetovanje na temo niikrueJ.ektronike - če seveda takratno elektronsko tennoio^ijo sploh lahko poimenujemo s pojmom, ki ga ima danea - se prav gotovo nihče od prirediteljev ni nadejal, da aodo postala posvetovanja o mlkroelektronlkl redna praksa Jugoslovanskih strokovnjakov s področja elektronike. Posvetovanje, ki ga izmenoma organizirajo vsi večji centri elektronike v Jugoslaviji, Je bilo v dvajsetin letih letos od 8. do 10. maja že tretjič v Ljubljani. Organizirala sta ga: Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele, mlkroelektroniko In materiale pri Jugoslovanski zvezi za EtAN in ISKRA-DO-Mikroelektronika; pri organizaciji spremljajoče razstave opreme In naprav za mlkroelektronlko pa Je sodelovalo tudi Gospodarsko razstavišče iz Ljubljane. Pokrovitelji MIEL 85 so bili poleg Iskre DO Mlkroelektronlke še: Iskra lEZE-TOZD Hipot, Šentjernej, Iskra-IEZE-TOZD TPT, Troovlje ter Fakulteta za elektrotehniko iz Ljubljane. Za posvetovanje Je bilo pripravljenih enainpetdeset tujih in osemintrideset domačin referatov, ki so predstavili najnovejše dosežke na področju načrtovanja In tehnologije Integriranih vezij. da lahko soclašano z ocenani nekaterih ocenjevalcev, da Je bilo posvetovanje MIKI. 85 rlosL«»J najkvalitetnejše sieOrtnje Mtj'okoviij.ikov s poflročja mlkroelektronike v Ju»;os la v 1JI, ki bo ireelo pr^v gotovo odmev tudi v mednarodni mikroelektronski raziskovalni areni. a. k. LASER 85 OPTO-BLERTROmK V času od 1. do 5. Julija 1985 Je bila v Munchenu organizirana 7. razstava laserjev in optoelektro-nike. Na prvi pogled s tem obvestilom ne najdemo Povezave z vakuumsko tehniko. Vendar pa optoelek-tronika povezuje obe področji, saj meritve karakteristik optoelektronsklh Izdelkov, ki so izdelani s poir.očjo vakuumske tehnike, zahtevajo elemente in naprave, razstavljene na tem sejmu. Veliko Je bilo (za nas, ki smo bili na sejmu prvič) novih razstav-IJalcev. V prihodnje pa bi bilo dobrodošlo (naslednji sejem bo poleti 1987), da bi se sejma udeležili v malo večjem številu. Izredno veiiko število tujih referatov kaze na vse večje zanimanje tujin strokovnjakov za posvetovanja MIEL. Prevladovali so referati iz sosednjih držav. Na splošno lahko ugotovimo, da so podali tuji referenti bolj izvirne in aktualne rešitve kot pa domači raziskovalci. Ravno tu pa Je dalo posvetovanje MIEL 85 veliko priložnosti tistim, ki so želeli obogatiti svoje izkušnje z znanjem svojih kolegov Iz domovine in tujine. Organizatorji so pripravili prav v ta namen dva spoznavna večera: v Vlnoteki na Gospodarskem razstavišču in v hotelu Beilevue, za nameček pa še obisk Postojnske jame. Medtem ko je posvetovanje saoo po strokovni in organizacijski plati zelo lepo uspelo, se ne moremo pohvaliti s spremljajočo razstavo. Tudi obisk strokovne publike bi bil lahko večji. RAZPIS TECAJA DVTS pripravlja ponovitev tečaja: Osnove vakuumske tehnike in sicer 5., 6. in 7. novembra 1985. Vsebina tečaja bo standardna kot na vseh dosedanjih, le da bodo vaje verjetno Se razširjene in zato tudi delno dopolnjen urnik. Tečaj je namenjen vsem, ki se ukvarjajo z vakuumskimi postopki, m napravami oziroma z uvajanjem le-teh v svoje tehnološke procese. Za informacije pišite na naslov: Društvo za vakuumsko tenniko Slovenije, Teslova 30, 61000 Ljubljana, kamor pošljete tudi prijave. Hitre informacije po telefonu 263-t6l (061) daje organizacijski odbor: Peter Pavli, Vinko Nemanlč, Rasto Zavašnik. VAKDOHIST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30, 6111 Ljubljana, Telefon ZöS-iJöl. Ureja uredniški odbor: Andrej Pregelj, Monika Jenko, Peter Pavli, Borut Praček, Ludvik Pipan, Milan Tasevski, Zlata Boš, Janez Setina, Anton Zalar, Marko Žumer