URN:NBN:SI:DOC-CEMDZGOS2013Kouzani, AbbasMafinejad, YasserMafinezhad, Khalildocuments/doc/C/URN_NBN_SI_doc-CEMDZGOS_001.pdfdocuments/doc/C/URN_NBN_SI_doc-CEMDZGOS_001.txt243articlestr. 85-960352-904510551636URN:NBN:SI:doc-CEMDZGOSengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCcarbon alloyskarbonske zlitinekovinske zlitinelow actuation voltagemetallic alloysnizka napetost vzbujanjaRF MEMS stikalaRF MEMS switchRF parametersRF parametriPregled RF MEMS elektrostatičnih stikal z nizko napetostjo vzbujanja na osnovi kovinskih in karbonskih zlitinReview of low actuation voltage RF MEMS electrostatic switches based on metallic and carbon alloys