URN:NBN:SI:DOC-JWM7V5AC1993Aljančič, UrošAmon, SlavkoResnik, DragoVrtačnik, Danilodocuments/doc/J/URN_NBN_SI_doc-JWM7V5AC_001.pdfdocuments/doc/J/URN_NBN_SI_doc-JWM7V5AC_001.txt123articlestr. 10-160352-9045602964URN:NBN:SI:doc-JWM7V5ACengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCmembranemikroelektronikapovršinesenzorji tlakasilicijSurface smoothness of anisotropically etched (100) silicon