323 KB13 KB198520251995Koller, LidijaPraček, BorutRailič, DragoVrhovec, Staneštevilka:1letnik:25str. 33-36ISSN:0352-9045COBISSID:17064709URN:URN:NBN:SI:doc-MOYNFQMAenStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEManalizaElectronikaelektrični kontaktielektronikakontaktne površinerelejiAnalysis of contact layers in miniature electrical relays with Auger electron spectroscopy|The surface composition of miniature electrical relay contacts was investigated with Auger electron spectroscopy. Surprisingly, large amounts of contaminants (carbon, sulphur, oxygen, calcium) were detected in addition to gold, iron, nickel and cobalt, nominally composing the contact alloy. To improve the technology of relay contacts several phases of technological process were examined. Some models of explaining the behaviour of contaminating elements under various experimental conditions such as temperature, sputter-etching process act are givenS spektroskopijo Augerjevih elektronov smo študirali strukturo površine kontaktov miniaturnih električnih relejev. Poleg zlata, železa, niklja in kobalta, ki sestavljajo kontaktno zlitino, smo detektirali presenetljivo velike količine nečistič: ogljika, žvepla, kisika in kalcija. Z namenom, da bi izboljšali tehnologijo relejskih kontaktov, smo raziskovali različne faze tehnološkega postopka. Podajamo nekaj modelov, s katerimi razlagamo obnašanje elementov nečistoč pod različnimi eksperimentalnimi pogoji, kot so temperatura, proces ionskega jedkanja itdTEXTznanstveno časopisjejournalsSlovenian National E-content AggregatorNational and University Library of SloveniaStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale