URN:NBN:SI:DOC-TYTQY71P2010Belavič, DarkoMaček, SrečoMožek, MatejSanto-Zarnik, Marinadocuments/doc/T/URN_NBN_SI_doc-TYTQY71P_001.pdfdocuments/doc/T/URN_NBN_SI_doc-TYTQY71P_001.txt140articlestr. 74-810352-904523802151URN:NBN:SI:doc-TYTQY71PengStrokovno društvo za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materialeInformacije MIDEMInCkapacitivni senzorjiLTCC tehnologijasenzor tlakaAn LTCC-based capacitive pressure sensor with a digital outputKapacitivni senzor tlaka z digitalnim izhodom izdelan v LTCC tehnologiji