Karakteristike magnetronske celice s ploščato elektrodo
Characteristics of a magnetron cell with a rectangular electrode

slovenski

2000

letnik 34, številka 1/2

magnetronska celica   električne lastnosti   visoki vakuum   vakuumske črpalke

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

Predstavljamo električne karakteristike magnetronske celice v tlačnem območju med ?$10^{-10}$? mbar in ?$10^{-8}$? mbar, ki jo bomo uporabili kot sestavni del nove vakuumske črpalke. Eksperimentalna magnetronska celica je bila sestavljena iz valjaste anode premera 2,7 cm in dolžine 3,6 cm, v kateri se je nahajala ploščata elektrodna palica debeline 1 mm in širine 6 mm. V prečnem elektrilčnem in magnetnem polju v magnetronski celici se je vzpostavila stabilna razelektritev. Molekule plina so se ob neprožnih trkih z elektroni ionizirale in pospešile proti katodi. Merili smo tok ionov na katodo v odvisnosti od anodne napetosti pri različnih tlakih in različnih gostotah homogenega magnetnega polja, ki je bilo usmerjeno vzdolž celice. Ugotovili smo, da je ionski tok skozi celico močno odvisen od anodne napetosti, gostote magnetnega polja in tlaka. V vsakem primeru obstaja dobro definiran maksimum na krivulji I=I(U), ki narašča z naraščajočim magnetnim poljem in tlakom. Maksimalni ionski tok je v omenjenem tlačnem območju približno linearno odvisen od tlaka.

16.09.2009