februar 1985
GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
8
v s K p T \
1. R«s''-«»rska tunelska -iii^ros4copi,is - nova metoda za opazovanje atomske zRTS<ibe površin trrtnih snovi
Eksneri'neTitalr>8 nmrsva 7,t Studi.i ov-sidani.ie teVo^ee?« indi.ia Vikinim na •nnBVT»>atsVi na^^in 'i. Vtisi s '^este medranodnp konferenr® o tsnkih nlasteh - StorkbolT 15. - 17.8. ■=1. VflViiuinoki koneres treh dr?av 6. Delovan.ie mednarodne 'ini.ie
Ohisk tovarne zamejskih Slovencev v Krrainu 8.	"Osnove vak^iiimske tehnike" v ."ianuarju IQfi'j
P. Posvetov8n,-ie"Tanke olasti in orevleke" - aprila letos v BeofTadu
10.	ProKraw dels"Dni3tva zu vakuumsko tehniko Sloveni.ie" za leto 1Q85
11.	Raznis štinendi.ie in naarrade
12.	Koledar -Domembnih vakuumskih nrireditev Kratke novioe in obvestila
RASTEESIC\ TTJIffiLSKA MUCROSXOFIJA -
NOVA METODA ZA CPA20VANJE ATöf^oKE ZGRADBE POVRŠIN TR3NIH SliOVI
Doslej smo imeli na volje ? netO''e 2q opazovanje razmestitve posai.ieznih ctocov na površini kristala, ki Jih osnaSuJeno z rriaaicai kraticami:
1.	FIM - mikroskopija na poljuKO emisijo ionov (Field Ion Microscopj-)
2.	TEK in STEM - trauswisiJska in rasterska trausmisijska elektronska miViroskopija
(ScasnirG -rausaicsion 31ectro:j "iorosco-
py)
3.	- uklon počas-^ih elektrojiov (Lov:
iiier^y —loctron Sirfraction).
Od teh posrocVdjcta noposredne slike ni>i e.tonov le prva čva načina. LEUD oraocoča ugotoviti ornerjerit porazdelitve atoicov vrl^Jije plsGti nonokrlctala po-r-edno, s ponočjo zpiüOt taD^ga račui."jfcoc-3 postopka. Sečaj sno dobili še četrto noSßost, os.iovano na otipavea^ju pcvraiae s poročjo tuneliranja cle'^tronov.
(Scaa2ii]5 Turmeliiig r'Iicroccoi;y) ali po naše rusterska tunelska cikroskopija je po-polr.o-!a nova oetoda, ki Jo je lota 1932 razvila skupina atrokovri jakov Baziskovalaeca la-oorstorija IBM iz Züriclia. Izredno ostro kovinsko konico vodiT^o v razdalji 0,5 do 1 nn, torej vsega le nekaj atenskih premerov, nad preiskovano površino tako, da lahko elektroni saradi tunelskega efekta prehajajo skozi vakuuE od konice na površino. Pri ten razmaku povzroča delovna napetost 0,01 V električni tok približno 1 aA (slej sliko 1!). IConica, l:i jo pritrjena na križni suport s treni pie-
ko površine Cclej sU-<e J, t), -cslej so do.'^öE&Ti lateralr.o ločljivort vzdoll horizontalnih koordinat 0,5 ru. 2,-. 5c r.c ÜopuySa Jasno ca razločanja posase^nih atoriov ru)\T7Č3ne, sa kar je potrebna ločljivost vriaj O,? n:c. V vertikalni anjori je ločljivost bistveno holj-ša: 0,01 nc in nnr. oDogoča saslodovanjo jlo-horne ctopnicc ali hrapavosti površine.
Q konico
U« 0.01 V □Ii
E=-10^ V/mm
Ci. 1
p7-in?ip	V troh naereh precizic premična
kcvincka konica Je Lako hlisu povrž.iic vzorca, d?, lahko elektroni iz nje odtekajo zaradi tuneliranja pri napetosti 0,01 V.
soelektrični^i pottiki oBO£oča njeno izredno precizno vodenje v treh pravokotnih aaeroh. Krmiljenje pozicije konice ne oiriejujejf piezoelektrični pomiki temveč termični drift in reehanske vibracije.
Tusel:;ki tok ja rkrsjno občutljiv za ra!nak ried konico in preiskovano površino; rprev.er-ba za le 0,1 nra povzroči že cprenerabo elek-tronckesa toka ca ccl velikostni razred. Hod vodenje-ü konice v ravni sraori preko po-.TŠino krnili elektroncki tok n po\'ratnin s?clopon njeno razdaljo tako, öa ostaja elektronski tok konstanten. Zapis resdalje ko S funkcijo po-ika predstavlja obris (Vtonturo) površine v eni vzdolžni sir^eri. Hastriranje v številnih vzporednih črtah z odaiiki po 0,2 ns daje oii-
ol. 2
STM poc;.erck povr"i:;e roro'ri'fatala l.ii (110). Terrr.ična obdelava je pjvzročila "o'-orntrukc."-jo površine tipa 2 :: 1 in ? x ■■ , ki se kaSc v vzporednih, vendar dokaj neureje:.i'-, brazdah in erebe/äh v mori (110). "i-cr;;j5 rliena kaže atomski riodel prr.''"0k3trera prero-u površr.ne, potekajočega aV.ozi točki A in E (?).
SI. 5
"epravil.-^o obliko-\-ani otočki ocljik--», s katerimi je onesnaSena urejena in rnhlo nabr.Tzda-n.-i površina .^u (110) po rekons-^r-jkciji tipa
1 X 5. (?-).
IJa^večji protlcm pri rai^voju STI1 go konice. Dobra korica'rora biti tako octr-j,<'.a soc':c!V-Ija Kjcn vrh le nekaj atonov, Otčutl;;iva je za sleherni mehanski,dotik,električno prei')b-ronenitev in kontacinacijo.Ker pravih poda'v-kov o morfologiji konice rineino, se pocreči i7,<lo!l;il,i doli'^o konico ■/r.a preveč porcOko-n:u 'Po r.avirn ohriirnoj'^c oki'pcri ncn tnljic px-o-isk?ve. "ep 0:5 na vanje njene točno ^conetrijc preprečuje tudi izdalavo kvantilntivne '-»iori-je tuaeliranja, ki je nujna za popolno rasu--co\'3nje STM.
Ocenimo vrednost STM na osnovi nekaterih slik! Površino Konokristala Au z orientacijo 110 prikazuje slika 2. Vsled termične obdelave se je površina rekonstruirala (preuredila): pojavili so se vzporedni žlebovi isirona rebra, ki tečejo diogosalso od desnegr; spodnjega proti levemu s^^ornjemu kotu. Globina žlebov jo 2 do 5 atomiike premere, raznak aed njini
vraine: prostorcko lokacijo teh stanj in njihovo energijo.
5 do 6. Sliko površine obli'tuje 59 vzporednih kostumih prog. 31ika ? kaže rahlo valovito plock-j površino 100 kristala Au, ki jo konta-r^irirans z ogljikon. Slednji se jc izločil kot poiiSKCcr.i nepravilro obliko^-aui otočki.
Ka sliki A vidiao površino 111 ^onDkristalne-Z'>- si''icija. Pri JOD C jc nastala tako i::eno-vana rekonstrukcija 7 x	poprej gladki
po\T?5ini so se pojavili la:pčki, združeni v periodične Ornamente z obliko romba. iTa desni poleg slike oTH je prikazan model rekonstruirane površine.
Perspektive S-1??! so ?.elo obct3\'ne. Tuneliranje je noroče kadar konica zadira v področje orbital (valovnih funkcij elektronov) površinskih atorov. Zato nam bo ob zboljSani late-ralni ločljivosti do 0,2 n3 lahko nudila najpopolnejše podatke o elektronskih stanjih po-
31. 4
STM posnetek površine 3i (lil) po rekonstrukciji 7x7 pri 300° C. Ctlikcvoli so ce cna-koaerni kupčki, zloSeni v pravilne rombeste orneracnte. Decno je nodel s 49 (7 x 7) povr-šinnlci-ii atoni Si v rorbu (4).
ira Ectodo STM so postali pozorni raziskovalci površin po vseK cvetu. V Sürichu hitijo z eksperir-entiranjen, drugod se pripravljajo, v3 bi z njin začeli. Teaatika je tako aktualna, da ji je bilo predlani na vakuumskem kon-rresu v i'adridii odnerjcno eno od vJiJjiOjših uvodnih predavanj.
Viri:
1.	G. Binning in sod., Physics 109 in 110 B, 2075 (1982), .-.ppl. Phyc. Lett. 40,178(82)
2.	G, Bii-,nin2, H. ?ohrcr, Proc. 9, Int. Vacuum. Congr. fkidrid, 77 (1983)
3.	A. Earatoff, 0. Binnirig, H. Kohrer, J.Vac. Sci.Technol., iS 705 (1985)
S.Y. Tong, Physics ^Poday, vol. 58, ß, 50 (1984)
dr E. Kansky
KKSPERIMENTALNA MAPRAVA 7A i'-TUOIJ OKSIDACTJE TEKOČEGA INDIJA
Onis nroblenia jn naprave
Vakuumsko raehV:o spa.iVan.ie brez uoorabe talil se v svetu " nnvRpšen; ^asu vs" bolp ir'eliavl.^a " Plektroriki. ■rikroel ektrc^i in v kovinsko pr^delovalri industriji. Kq Tnštifituiza sleV-troniko in v'^uui'sko tehniko '"azvli«iro in uno-
rahl.iarao vakun^sko nehkn spajkane spo.ie. Ti moralo biti 7anesl,iivi in vakuumsko t^sri. preto^ nreskusneca olina skozi morebitno netesnoat mora biti man.iši od l.lo'^"^ mbar	Na površini spa.ike se naberejo v obliki tankera filma nečistoSe, ki preprečijo stik raztaljene spaj-ke s covršino kovine. Zato je ključni tehnološ-
ki problem preprečiti on s sna Sen,i e sna.ike. Da bi bol.iše rs7uraeli Droc(='se pri rasta.-ian.iu in od-stran,ievar.i>i films rečistoč ra tekofiš soa.iki. smo te po.iave zat'.eli sistematično preiskovati v visokem in ultravisoVero vakuumu. Za spa.iko smo izbrali indifl čistoče 6 N, ker ima nisek parni tlak, nizko tališče ir .ie duktilen.
Poskuse smo opravili v spektrometru na Auprer.je-ve elektrone, ki srao r:a priredili tako, da smo lahko študirali površinske reakci.ie z raznimi plini na trdnem in raztal.ienem indi.iu.
Preiskave površin tekočih kovin s spektroskopijo Auper.ievih elektronov so novo nodročje; srečujemo se z novimi po.iavi,ki ,iih pri standardnem de]u s trdnimi vzorci ni. V prirejenem spektrometru AuKer,levih e3ektronov so hkrati potekale reakci.ie tipa kondenzirana faza - plin pri tlakih p lo~^ nibar in identifikacija nastajajočih reakcijskih produktov. Preiskovali smo oksidacijo indija s kisiköm, s plinsko zmesjo Hg-HgO, redukcijo In^O;^ z vodikom in termični razkroj In-,0^.
ekstroktor&ki merilnil<-vaKuuniQ
KvodrupolA masni spektromerer
Ionsko puško
mompulofor
Al- Hi Oj H,O i-L^i
ploSčni ventil turpomolekuiarno črpolka
dvostopenjsko rotacijsko črpalko
Slika 1. UVV naprava za preiskave tankoplast-nih reakcij na površini tekočee-a indija
üksperiraentalna naprava, ki je prikazana na sliki 1, je ultra visoko vakuumski kovinski sistem. Komora je kroglaste oblike, premera
Z^o mm. V napravo so vccrajeni cilindrični analizator spektrometra Aueerjevih elektronov, ionska puSka za jedkanje vzorca, kvadrupolni masni spektroraeter za določanje sestave resi-duelne atmosfere, ionizacijski merilnik vakuuma, manipulator za nameščanje vzorca, mikro-!5kopin posode z ir, H^, Og in H^O, opremljene z dozirnimi ventili. Recepient je priključen na črpalni sistem, ki je sestavljen iz:
- dvostopenjske rotacijske črpalke LH trivac D 16 A s črpalno hitrostjo 2o ra'/h, dosefta vakuuma P,S.lo rabar in služi za ustvarjanje predvakuuma, ki je potreben za turbomole-kularno črpalko
- piranijeveea vakuumetra PPV-^o TEVT, uporabnega za meritve (?roheH;a vakuuma, merilno območje je od lo""' do To mbar. Kurilni (^lava PPV-^fi je vRrajeia v sistem me"^ rota^-ijoko ir> turbn-^oi e>iilaT^o črnalko
-	turhoraolekularne črpalki» T.H Turbovac 22o: deluje v molekulTnen' Področju. Po Dodatkih proj zva ■'a'" ra dosfitra vakiiu" do lo"^"^ mbnr
-	ploščr-ecra ventila	V M Torr Vacuum Products Inc.. ki služi za ""očitev komore in titanove sublimanijske črnalke od turbomole-kularne in dvostopenjske rotacijske črpalke
-	titanove subliipacijske črpalke LH-V ISo, ki .se uporablja za črpanje aktivnih olinov Hg, Oj in vodnp oari». Titanove pare >cindenzirajo na hladnih površinah črpalke, kjer tvorijo tanek film, ti deluje kot visoko aktivni steter in kemično veže aktivne pline. Črpalka je vodno hlajera. Hlajenje zmanjšuje desorb-c ijo adsorbiranih plinov.
Ekstraktorski ionizacijski vakuurometer smo udo-rabili za meritve visokee-a in ultravisokeea vakuuma. Merilno območje je lo"'' do lo'^^mbar. Merilnik lonivac 51o leybold Heraeua je tovarniško umerjen in kalibriran na dušik. Za vse ostale Pline moramo odčitane vrednosti tlaka množiti s korekcijskim faktorjem.
Kvalitativno in kvantitativno kemijsko analizp Plinske mešanice residualne atmosfere smo opravili 7, masno spektrometrijo. Uporabili smo masni spektrometer Leisk looo M z merilnim območ-jerr 1,5^ x	do ] x	mbar. Spektro-
meter ima vf^rajen ojačevalnik (BM), ki omogoča meritve parcialnih tlakov plirov do 1,?? x lo'^^ mbar. S kvadruoolnim masnin spektrometrom lahko merimo totalni tlak; uporabimo ea lahko kot leak detektor za ut'otavl jan je vakuumske tesnocs sti eksnerimentalne nanrave.
Merilnik je bil že tovarniško umerjen na dušik. Za vse ostale Plin»» moramo odčitane vrednosti
naroiPilnih tlakov deliti 7. relativno občiitl.ii-vost.in.
CrPBP.ip
Površine trririh snovi karakterihiramo z noder-nimi analitslcimi metodaini w iiltravisoVßrn vakuumu	mbar, Potrpba pn tako visokem vakuumu .ie utemel .ieria z de.ietvoni. da olinske molekule iz residualne atmosfere nadeva,io oh površino trdne snovi in se na n,ie,1 adsorbira.io. V eni sekundi nri tlaku 1 lo"*^ mbar (to .ie oribliž-
^ C	2
no lo atomov cm ) nastane ena raononlast, kadar rp. koefi'^ient lenl.ien.ia 1 . Ponavadi .ie koeficient leni nfin.ia nrece.i manjši, posebno v priffler", ko .-ie orva rronool.ast 5.« adsorbirana. Pri tlaku lo" rabar ,ie že dovol.i Saša, da dobimo vse podatke predno se oovršina znatno spremeni, pri tlaku lo"^" robar T)a .ie notrebno približno ? uri, da se na površini adsorbira ena mononlast.
V opipanem ^rnalnem sistenu smo doseeli ultra-visoki vakuum 1 *	mbar. Pri skrbno zates-
n.ieni napravi prisneva frlavni delež residualne atmosfere desorbci.ie plinov in oar. Rarplin.ie-van.ie z rotran.iih površin pospeSu.ie nrecrevan-■ie eksT^erirnentalne narirave. Vso napravo .ie potrebno rireco-evati hkrati, siner se desorbirani
jrii 'Donovno adsorbirs.io ns hladne.iših mestib. PrefTevamo pt-i K na.iman.l 8 iir; turbomole-kularna črpalka soroti odčrrava desorbirane pline. Po vsakem presrevan.iu kontroliramo tes-nost kovinskih spo.iev.
p/m bor
10'
10
10"
10'
o	10	10
črponje /ure
Slika 2.: Potek ?rpan,ia eksperimentalne naprave do zahtevnen;a vakuuma 1 x	mbar
Potek črnan.ia eksperimentalne naprave do zahtp neea vakuuma 1 x	nbar .ie prikazan na sli
ki ?. Krivulja 1 kaže prvo črpan.ie, krivulja ? oa ^roan.ie po vsakokratnem ooaeRU v ultravisok vakuum (raep.iava vzorcev, namestitev dozirrih ventilov, merilnikov, itd.) .
V vakuumsko komoro efesperimentalre naprave vpu: ^amo Ar ali ali plinsko mešanico Hg-HgO ali Hg preko ustreznih ultravisoko vakuumskih dozi" nih ventilov.
Držalo in vzorec
Izdelali smo drsalo, ki orao.^^oča sefrrevanje in taljen.ie kovire, mer,ien;e temperature in ozeni-l.iitev vzorca.
Držalo vzorca .ip bilo potrebno prilagoditi ma-nipulator.iu, ki omocroča latieralne in aksialne nomike. V "seb treh pravokotnih smereh .^e možen odmik od skupne to?ke - 5 mm; rotaci;ia vzorca ni možna,
V prirobrico ranipu"" ator.ia ,ie zavar.ienih šest vakuumsko tesnih provodov. Maksimalna tokovna ob-emenitev provoda iz kovar.ja (Fe-Ni-Co), brez nevarnosti porušitve za spoö steklo-kovi-na ,ie 8 A.
fgrmočlen fiüüIL
tenlohtna iica
kerOfflUca »zortc
Slika 3.: Držalo vzorca
Vzorec ,ie nameščen v koritftstem keramičnem držalu AlpO^. Grelec .ie iz W žice, ki .ie preko ponikl.ianih Cu žic povezan s kovarskima provo-doma. Termoelement ,ie par Pe - konstantan. Držalo je s kovinskim trakom iz ner,javnega .iekla C^o^^ L) nritr.ieno na manipulator.
Vzorec mora biti izoliran od vakuumske" komore, ker mora biti med mer.ien.iem primarnega toka Ip na določenem potencialu. Vzorec indi.ia smo ozera-l,iili s tanko W žico.
I'er.ienrifi temoeratiire
UVV komofo
Fe-NKo Fe konstQrrlan A
kcrQmiCno držalo
-fe-konstanfan
CC
<D
Cu iico do meril nha
Tpmperitiiro vr.orcs irdira sno merili s tovar-nižko urnnir.-ienim termoel emartoii Fi» - konstantan Dr<?nera o,i mm - D-icussa. Preko 'KOvprsVih iiro-vodov sir.o orioel.iali žice terirsoeleTrerta iz vakuumske komore oreko ničelne točke do merilnika t«»rmonaDetosti slike 27. Uporabili smo digitalni voltmeter Keithlev K 17"4 A. Temperaturo smo oflf^itavali v tabelah DIN 710.
V eksperimentalno napravo .1e vpxa.ien A3S analizator PHI Kodel I0-I55. Vzorce lahko preizku,jemo s tof^kovno analizo. V napravo ,ie ionska puška PHI Kodel 04-191 vgra,1ena tako, da le(?e vzorca Ded .iedkan.jem ni potrebno SDrsrninnati. ','ožna ,ie analiza z Aureer.ievirai elektroni ob istočasnem ionskem .iedkan.iu.
Slika 4.: Shema mer.ien.iH temnerature vzorca
rapir, Monika Jenko lEVT, Ljubljana
VAKUIW NA PNBWATSKI NAČIN
Kot vsi vemo {vendar te^a v nar.em listu skoran ne oiren.iamo), se uporablja vakuum tudi kot nod-tlak za ustvar.iar.ie sile oziroma pritiska. Primer za tako unorabo so vakuumske pri.iemalke za nrestavl .isn.-i«» l«hkih in v prlavnera drobnih ored-metov (obdelovancev) na na.^razlii^ne.lsih avtomatiziranih strojih in napravah. Za pripravo vakuuma v takem okol.iu, k.ier .1e običa.ino v bližini na razpolago stisn.ien zrak. na.idemo v kata-1 OKih Tiroizvg.-ial cev pnevmatske onreme nosebne elemente - zna»^e r>o(i imeri sesalne "ohe 07,. egnairi^. friave.
Sesalca Hava
V '^beh nrin^rih s<> ur-tvar.-fa "akiium 00 e.-i^ktor-skem nrirrinu ra «ože^^em me«tu nr^to^'a ^raVa CVenturi). Na uri^l .-uf'ek V nritrdino nrei^o cevke obdelovancu primeren-sesek. Pri sesalni šobi se orekine sesan.ie z izklopom nr»toka stis-nrieneca 7.raka: pri aps»lri fla"! ra se oh iz-klonii vhodneea tlaka (P) imoulzro iznrazni še v r-f»» 01-v II a—I» ki I «shr-qjv-sori Ftipni^»^ 7T"iK ir odri-po nrini^sari nr^dni^t r^tran od ses^^-i. "-•^kini", ki ga "nprf'ici lioseSeta pri "nop-orskem" tlaku
o b^r^ .ie oVroo- ^00 mher.r.iuna vel ikoat(cer>a) pa IP v nrlmer.iavi 7 iistrezno vsV.^rnalVo nre-r.f* man.iša.
P - priH.-iu^ek stis, 7.raka B - izpuh
V - vakiiuBski nrikijncek
RazijTliivo, da .ie možno nripemati le predmete z sladkimi in neporoznimi stenami.
A. Preftel.i TEVT, L.iubljana
iTici s Š2CT?: r:sDT:AE0TO3 KOiTsnsTic::: o t;l:;kik - CTOCKHOL:-: ij. - 17. 2. igs't
Poloti je bila V Stookhclnn organi zircr.a ned-i:c:ifsreECo ICT^-S, 5est,i v vrsti ':ori-fcrcnc so"koije aa tcn":o plosti rjVöTA. Proti rjo so Icor.foroTice "bilo v Boctonii 1969> v Ba-netltah 197-'^, v 3-iQinpe2ti 1975, v Lou^hborou-ghu 19?S in v nerzlio-on-sca 19S1. Letošnjo Jc uspela predstaviti celotno podroS^'e tankih va>:uynslcib placti. SploSne teče so bile: toh-niku nanašanja tankih plasti, rast, stabilnost iii procesi degradacije, karalcteri-Tacija in os30-,-ne lasstnooti tankih plasti in uporaba toiskih plasti. Posebne terao so bile prs.v tako porszSeljcne na štiri skupine in to; fizika selo tankih plasti, tanko plastni vslovodi, tehnologija tankoplastnih elektronskih materialov in zelo trde plasti. Ilesto potekanja konference Je bila Kraljevska visoka tehniške šola CK?!I) v Stocldiolnu. V n.^sih ra.-^cierah bi to iaonovali vseučilišče, saj jo na velikcs področju raeneččeaih več zavoiov in institutov, ki 50 \if/c>,rjajo z vzgojo in rar-ickovnnji (os-no'TTiini in rr>:ivoJni::i) z vseh področij naravoslovja in tehnike. Čas potekaiija konforoace, sredina a^'i^unta,predstavlja razceroma suhi del ■'eta;"razKeror;a" ssradi tega, ker 3too!J;clM leži na okrog AO otočkih - torej na vodi -- in Je atr:OEfera nasioeaa vla£0. "a soncu Je lahko tudi precej vroče, sicer pa je klima prijetna.
Osrednja osebnost - gostitelj konference - je bil 3. Jacobson, v svetu tai:kih plasti zr.an po svojih delih s področja optičnih last:)03ti nehOEOgeaih tankih plasti, üedaj čela v firmi AGA, ki slovi po svoj en lil prograiau. Poleg njega Je vsekakor treba onieniti še nekatere po-Eionb;ie nioše: ibeles, P. Saraa, J. Bennet, Pul-kcr, Kinoshita, Cliopra, Klein, Keavens.Ilattox, Itžanov, V/oiccaantel ID dru"^, ki so s a'ojo i-ricotnosbjo, deli in diskusijo napravili konferenco zelo zasicivo.
Delo konforence ce jc odvijalo e predfivonji in s posterji. Prciaviinja so potel;ala istočasno na Štirih lokacijah, kar je imelo sa poslsdico selitve udeležeucev v kratkih pav-zah r:ed dveca reforatoca. Pestri so bili razstavljeni pralrtičao ves dan (od 9 do 18 ure), razgovore z cvzorji pa se jo dalo opraviti le ob določene:: času. 2a konferenco so sprejeli 460 del, ki so vsi uspešno preutali posto-
pek ocenjevanja "abstrakta", nekaj del (pretesno posterjev) pa je bilo tudi zavrnjenih.
"troko'.-ni del je potekal oh vr-sti povabljenih predavateljev v zelo prijetnem ozračju, z za-m'~iviai diskijsijari, Tloraa povdariti, da sen opazil posebno velik interes za naslednje teče: fizika zelo tankih plasti, CVT (Chcnical Vapour Sep0:,iti0E) in aclo tar.ke plasti; vendar tudi ostale niso bile slabo obiskane. IIa splošno je konfercr;ca irela v prvi vrsti znanstveni karakter s povdarkosi na fundanentalnih raziskavah toda - sodeč po zanimanju udeležencev na poster sekciji - najatraktivnejša ao bila dela, iz katerih je bilo možno naravnost prečivati uporabo. Imel ser! tudi vtis, da so bile ZDA preslabo predstavljene (če se izvza-ae finančne pomoč ecoriške vojske organizator-jon kongresa).
'Conferenco Jo vos čas sprenljala razstava znanih proizvajalcev, kot no Balzors, Leybold-Ho-r?cus, Merck, r-erkin-I^lRcr, Slonn, Vorioi: itd,
Ii-:išc država jc bila dobro predstavljena. Skupno S ude]o^encev in 9 referatov kaže lep napredek r.spran istovrstni konferenci v Loughbor-; ughu 197S, kjer stso sodelovali štirje z dvema referatoma.
Sa približno 5^0 udeležencev niso izostali običajni dr'Labni dogoflki, kot ao kcktajl dobrodošlice, cprejec; v nestr.i zbornici ir. kongresna večerja. Posebno prijetno in zsniaivo Jo potekal tprejen v irestni zbornici. Vzporedne s cercnonijolon in govoren enega aestnil: očetov so z neverjetno brzino izginjala topla
in hladna

or pijaoe s dolgih rdz.
Kongresna večerja, ki je potck^-ilc pri trdnjavi V.'arrholn v tarkajčnji giiwr-stioni dvorani s papirrntf-i krožniki ter plastičnimi kozarci in jcdilnin priboron, je bila vseeno malo pod pri čukov an it: (beri plcčanitn) iivedckim standardOT'. licrCa so to seno zapašanja nekega Jugoslovana razvajenega od naŠih k".ilir:oričnih ekchibicij, vendar, ker to .-^i roje pr-.-o srečanje te vrste, nislin da je vtis vseeno ob-jelrtiven.
ITa koncu se zahvsljujen; kologo-j iz	sa
objavo tega prispevka svojem listu.
Dr. Hrvo;^o 3orc Ins. Rudjer Eo^kovič GO'J?. Lx'.IR, Zagreb
VAXUDT-TCTn: irOlTGHEC THZH DRŽAV
V	3zo=a';bel"a sa l'8džar£>e- jo bila 5,11.1984 ce.;'a	orGc^isscijckeca oätora, ki pri-provl-Ja vatoranski kongres Madžarske, Jy^os^-a-vije in Avstrije, ki "bo od 7« t^o 9- oktobra 1955 v Tobrececu na Hadčarskern. Pred "ten kon-gresoo 30 iceli že leta 1979 v Gyoru in 1931 v Brunr; an GebirEc sadjarski in avstrijski volnjucicti sirupaa koncresa, sedaj pa se jio pridružujsBO še slovanski vakuum ist i, ki sao sdru2eai v Svesi društev za vakuuTisko tehniko Jugoslavije - JUV/.E. Seje so so udeležili trije prGdst£-.-niki Ifedaarske, dva iz Avstrije ia dva iz Jusoslavije (nas. A. Zalar
ij; J. ŠcSina). Predstavniki lokalnega organi-zaoijskesa odbora so bili: dr, I. Berecz, dr. ?. Barna in dr. G. Isaiscr, avstrijske vakuurai-ste pa sta zastopala prof. dr. A, ■.'a:;sr-dri3fcel ia dr. P. Varßa. Ceja je potekala po naclod-r.jem dnevnea redu:
1.	Imenovanje članov orcanizacijskega komiteja kongresa
2.	Froliminarna izbira tem in predavateljev uvodiii]] predavanj
5- Publiciranje referatov A. Kotizacija za udoležencc kongresa
5.	KoSnosti hotelske nastanitve v Pebrecenu
6.	Kaslcdnjs seja ožjega organizacijskega odbora
V	organizacijski konitc kongresa v Debrecenu so bili, na predlog nacionalnih vcloiuraskih društev inenovarii is vsake države po štirje predsta^miki. Is Jugoslavije so v ten odboru: dr. J. Gasperič, dr. E. Kansky, prof. dr. M. Kurepa in icag. A. Zalar.
Dogovorili sao se, da bo večina predavateljev, ki bodo ineli uvodra predavanja, iz vrst članov Mednarodne zvezo za vakuuesko znanost, tohniko in aplikacije (lUVSTA), ki bo imel v času kongresa v Debreccnu svojo redno sejo. Po trije uvodni predavatelji (uvodrs predavanja botlo po AO Tsiniit) pa bo'1n z Mad?.arsko, iz Jugoslavije in Avstrijo. Predvidc'^i smo tudi udclorso po	specialista s vabjui^sitega področja ir. Indijo, Brazilije in ICitajrke, katerih udeležbo t,o tem konrrosu bo finančno
podprl? üodnyrodna org^nicacij-»
Predvideli smo, da bodo referati objavljeni v oni od znanstveno strokovnih revij, po vsej verjetnosti v ansl®ški reviji Vaouuia,
Kotizacija za udeležbo na kongresu bo I.5OO forintov (l forint = 3-- din), oziror.a okroglo SOO r,oh ali odgovarjajoča '/rednost v dinarjih, Za udeležbo Študentov na ten kongresi; je predvidena kotizacijo v višini 300 forintov. Študent je oseba, ki študira in za svoje delo ne prcje!;;a rednih r;ese5nih osebnih dohodkov.
Cone bivanja v hotelih v Debrecenu se gibljejo od 5CO forintov na osebo v dvoposteljni do 90G forintov v enoposteljni sobi.
Kaslednja soja ožjega organi::aGijskega komiteja je pr^odvidcna korec Raja 1935, na njej pe bo potrebno tudi kritično pregledati poslane abstrakte in ocio razporediti v oralno tekoijo in na posterje.
Predvidevamo, da boso ±z Jugoslavijo prispevali okrog dvajset roforatov, od zc^c. tri uvodna predavanja; Jlačžari prcdvidsvajo približno trikrat več svojih referatov. Dolgoletna želja, da se tesneje povcžero z issdžar-akimi in avstrijskimi strokovnjaki na vakuun-skera področju, so torej uresničuje. HaSa naloga je, Os nažo s'.rokovno dejavnost ra ten kongresu či^ bolje predstavino tako po voebin-cko-strDkovni pl?.ti kot tehnični, kar pa ae bo prav -ahko glode na roSnosti, ki jih inano, Poaenbni d-atuni:
3C. november 198^ Preliaiiisras prijava za
udeležbo na kongresu Februar 1925 Hrugo obvestilo
strakta
naj 1935
51. julij 1935 TTončna prijava in rezervacija hotela 7. oktober 1985 Odprtje korgresa 9. oktober 1935 Zaključek kongresa
A.Z.
rrr,ovAiT.iE	m:iJE C^'9,sfcjn itr/sTA)
Cq 10. do 12. av^jüta 84 so bile v kraju Tä-jy blisu Gtockholüia roje iz^T'-neg-^ odbora in
soji dveh komitejev mednarodne vakuumske unijo Hr/gTA. "ajprej o sklepih kanitejev.
I.etoc 2poalf!'Ii Js bil uctr-novljor. i;ovi komite, "jTaterero dolžnost spredcati isvo^ar.je pVtjepcv isvršnCGfi odborr.. Sorcij-lc re jo nsn-roč, d?, sc po senjavi "^sneracij" olanov isvroneja oöbora, l:i je navadno votha tri leta, carsiteaj poza-oiio oz, se ni rc&liziralo. Kooitc öe sato zadolžen, da registrira ic preverja izvajanje voeh okSopov, ki jih spre-jcEata 10 in skupščina IUVÖTA (2a člana te^a koniteja sea "bil Jia predlog predsednika lUVETA prof. AntaT-a izvoljen tudi jaz - pisec teh vrstic - vodi pa 3a prof. ''..'eiC3Qar2tel). .\a ceji SCO se Socovorili, da boso if.aajkrajšen času pregledoli vse sklepe zadnjih desetih let in o tec poročali. Prav tako boao pred zacedaajen Ecjvišjih organov liT/CTE pregledali rradivo in izločili vse tiste predloge, ki niso v skladu z že cprejetiai stališči oa. statu in pravilniki te mednarodne orcanizacije. Sprejeli SRO tudi cklcp, da bi iz deSel v raavo- . ju, ki 3e ninajo ustanovljenih nacionalnih valrau-skih korailejcv, vključili poccrroi-nike v delo IlT/STi; oz. jih informirali o na'icn delu. S tem bi pospeSili in utrdili mednarodnost unije, kajti aasa sk-apina okcpertov, "bi lahko prav toa dezelara dala največ strokovne pomoči .
Za sejo koniteja -o vzgojo sea pripravil poročilo o aktivnosti na tea področju v Jugoslaviji in o nekaterih težavah, ki jih iirauo pri tera. I-Icd drugiD se:^ onenil, da iaano 2e neurejeno strokovno israsoslovje, predvsec zato,, ker inarao več jezikovnih clcupin in da so uba-daao z idejo o vabjuuskeai besednjaku. Trancos-
ki kblesi^šo predlagali, da bi najprej reno-virali £;"^ari besednjak (an^.-ncrSko-fraj^cos-ki), ki "bi bil podloga t,a prevajanje v druge jezike, ned njini tudi jugoslovanske. Koiaite jo če pripravil novi učni pripoinoček, knjigo in diapozitive iz detekcijo vakuumskih netes-nosti, kar je bilo dano v korekcijo neniškorsu vakuunskesu združenju.
"adnji dan, 1?. avgusta 19S'*, jo bila celo-dnc.ua seja izvršnega odbora lUVSTA. Poročanje o njej bi bilo za bralce Vakuunista preveč utrudljivo, ker je bilo prccej "proceduralnega" gradiva (poročila sekcij, finančna poročila, statutarne zadeve itd.). Kot zaninivost morda le to, do sno sprejeli predlog dr. K. Kaninske^a (ZDA), da bi v bodoče predsedniki strokovnih sekcij za vsako zasedanje izvršnega odbora pripravili kratko poročilo o najnovejših svetovnih dosežkih in smereh razvoja na posaiaesnih področjih. To bi kasneje objavili ludi v glacilu Nev;s Bulletin (uradno gl; :iilo IirVoTA), kar bo selo koristilo pred-vEora deželaa v razvoju pri usmerjanju njihove raziskovalne oz. proizvodne politike.
Švedski gostitelji so sestanek dobro pripravili, vendar stio čutili, da so zelo obremenjeni z zadnjimi pripravami za izvedbo ICTF-5, Tiednarodna konferenca o tankih plasteh, ki je bila od 15. do 17. avgusta 1984 v Stockholmi.
Dr. J. Gasperič
OBTSK TOVdRNE ZAWKJSKIH SLOVENCEV V KRMTNT)
Iiari ie ooteklo lo let odVar- -ie lE'^ začel nlodno sode! ovftti s skupino zame.isVih ptrokov-n.iakov s nodro^.ia elektronike. PloH te»a so'ie-"Invar.is je darßs perapektivpa tovarna MIPOT v Krrainu. prtbližro 15 km zahodno od Stsrf» Sori-ce. Tovarni n« <i<)l irie raa.ihen, pa zslo uoors-ben elektronski element, imer>ov»ir raikro-noten-
iometeT-, osnovno tehno"! opri.io zar? na smo v krminsko tovarno oreresli 2 nafeffs instituta. Sodelovanje no traja; sedanji direk-or tovarne MIPCT ing. R. Stare nas je prijazno povabil na obisk.
7 soboto 6. o^itobra 193^ sf.o sc sodelavci IHTO vabilu odzvali tor si ogledali njfhovo tovarno.
Tovarna IÜPOT 2teje okrog 60 zaposlenih in se ukvsrja z razvojen; in proizvodnjo elenentov za elektroniko in nikroelektroniko. Obvladajo tankoplastno in debeloplastno tehnologijo, izdelavo hibvidnih vezij itd. Lotevajo se predvsec specialnih caloserijskih izdelkov, ki za •velike proizvajalce niso zanimivi. So dobra strokovna skapina, ki jih polen ekonomsko uspeascga sodelovanja 2očro dodatno povečuje tudi aavest, ca co Slovenci in delo na področju ohranjevanja slovens';va prsnekatera -••odobna ali celo rjočnejša grupaoija je nac-reč razpadla prav zaradi r.cei^otnosti v svoji sredi. Glavni sedanji proizvod ICPOTA je novi raali potencioffieter, ki je plod njihovega last-
r.esa raxvojo in ga :ioäa3 izdelujejo popclnona avtoca-bisiriRO. Zav.i:r:iva sa nas Je bila opre--ra, ki jo stalo	jujojo in Se saci raJ;-
vijajo po tudi čistoča v "belih" oobab, ki sno jih Ishho občudovali Ig ckosi steklene cvonc. KlJ-ab tenni čo amc va'rjur.icti ia veno, da je sterilna čistost v isilcoclektrorjiki eden od osrsovrjiV- pogojev, nan to le še si po^-sea
prišlo v kri.
0-".0'i je bi"' vsekakor 7.a vso 'P3S zelo nariiaiv, še toliki bolj pa 3o':.o, kor priror	rpex
kr.iSe, kako so vskra-iskc te!:;:iolof;ije veflr.o bo3j ^""ieotrc in ekonomsko '-cpešne.
Lidija Koller, dipl.ing. I2VT, Ljubljana
TEČAJ "OSNOVE VAKITUt-ISKR TEHNIKE"
V dnf^h l'i. Ift. in 17. .isr.uarria iPtos .ifl not«?-Val v Vr.ii^rioi lEVT	"Osnovp vaVunmsVo
tf»hnik<>'J U'1eleži1o s» f"» .iP teča-inikov in sicpr iz na si'»■in .i i b »^plovnih orp-anisi,ao.i,i:
ISKRA- WiVroPlftktroniV-a . T jwbl .isns .......<4-
LEK . T-iiihl parp!? ........................... 5
lEVT. L.iubl.-inna ..........................6
TSKRA-Žsirnic». Ii.-iublrsna ................. ^
ISKRA-Konder?;ator.-it. Sprni? ............... P
OOLOR. Kedvode ........................... ?
•RNEROOTKVEST-Varnost, Zafor.ie ............ ?
VTOZT) fi7. kpmi.ia, ] .'uhl .iana ............. 1
SI;EKTRa-;OTOR JI, So. Idr i .i a ...............1
ISKT<A-Cii». L.iubl.iana ..................... 1
Tsča.i -io notei^al no že ker ustai riereir, umiku, nrva dva dni doDoldne od ft'^do in -Dopoldnft od do Ir'^, ter tr<»t.ii dan le donoldn«>. Udeležer.ci so tokrat orpjeli 9.e pr"e izvodf druffeea nonntiss kn,''if'«"Osnove".
V zvizi fi tem noro'^ilow .if» zanimiv« še infor-•naci.-ia, ki smo jo dobili ob izdela-i statisti-'
nera prerteda te^a.iev v orejanizatii.ii DVTS. Sedeta tpofi.ipv. ki ST.o .üb orrftrizira] i od leta 1^80 naprti ip obifikalo skupno slušatel.iev (tore.i v oovorer.iu vsakič r.ca 'lo) in. sicer iz 71 delovnih orpranizari,-. Po številu teča.inikov si d<»lovnB oTffaniz'103,1» «lede takole:
TEVT, I.iubl.iars ................................................?1
IRKRA-Vonden?.ator.n. Senid« ..........................IP
LEK. Ljuhlrsra ..................................................17
TSKHfi-'?arnicp . I .-Ste-^ne ..........................lo
i^.KTEZARKI.Josenioo ..........................................lo
SATTIRt;iW. Tiubl.-iana ........................................6
TRI'RH-Kjbernetikfi. l iubl.iana ......................6
"■CTAlNft. fnribor .....................................5
ISKRA-riVroelektronika, I .iubl-i-ins ............5
TrORENJE TGO, T. '/eiei> ................................'4-
Ii;ntft-Tp]enatika, u.iubljana ........................'i-
TSKRA-Sner.ial . eleirenti, L.iubljaia.....
Tovarna dušika, Ru5e ......................................4-
ISKRA-I'Dori, P-ent.-^erne.i ................
ISKRA-CEO, L.iubl.-iana ................... 4
Slede še druee delovne orpranir.ani.^e s po 3,2 in enim udeležencem.
DVTS, Ljubljana
POSVETOVANJE "TANKE PLASTI IN PREVLEKE"
Društvo M vakuumsko tehniko Srbi.ip in I.ahora-tori.-i ^a atornsi'0 fiziko Inštitut B. Kidri* v Viri^i organizirata posvetovan.ie 7, zgornjim naslovom v nasu od JT^ do aprila letos v iieo-p;radu in vabita vse strokovnjake iz oroi7.vodnih orzanizaci.-i, fakultet in inštitutov, ki se ukvar.'^a.io s Droblematikn nanosa, karakteriza-
oije in unorabe tankih plasti oz. orevlek,da bi aktivno sodelovali kot udeleženci.
Tanke nlosti različnih debelin v sodobni elektroniki Cv mikroelektroniki, ontoelektroniki, ter nri hibridnih in VF napravah) nanašamo z naiüenoir dobiti odporne površine, kontakte, kon-
denzator.ie ir za izdelavo delov nat>rav. Pri tem nn.inon-oste.in uporabimo fi7,ikalpe in kemi.i-ake metode rnrašar.la v vakuumu.
NanBr.an.ie prevlek ima ramen izbol.išati delovno funkci.-io osriovnefra materiala, zamen,lati eno vrsto materiala z druRlm in zmar.lšati stroške izdelave. Polep nanašan.ia materiala v vakuumu, dosežemo izboljšan.ie lastnosti površine tudi z drweimi n«vakuumskimi postopki.
-	prevlekp zs izbol .-išrar.ie mehanskih lastnosti materia]«
-	orevleke za odstrar.ievan.ie elektrostatio-nefta nabo.ia
C. Prevleke za spremembo optičnih lastnosti površin
-	optični in laserski filtri
-	polpropustna ogledala
-	dekorativne plasti
dekorativne plasti ima.io več funkci.i. Pole? po-lepšan.ia izprlede predmeta izbol.lšu.ie.io toplotne lastnosti in ono(?očajo zamen,javo ene vrste materiala z drufim, ki lahko bol.i ustreza kon-strukci.iskim zahtevam.
Iz vseea povedanega lahko zakl.iui^imo, da nanos tankih plasti oz. prevlek, n.iihova karakteri-zaci.ia in upornba predstavi na.io novo in zanimivo področ.ie elektronsko industri.io, stro-.1ee:radn,io, elektrostro.iegrradn.io, zakl.iučpo obdelavo materiala, industri.io precizne mehanike kemi.isko, avtomobilsko, prehrambeno in drufre ve.ie modernih industri,?.
Okvjmi prorram posvet o van pa ho nasledn.ii:
A.	Tanke plasti v mi'Kroelektroniki
-	fizikalni oror-esi v tankih plasteh
-	senzor .i i in pretvoniiki
-	epitaksi.iske in polikristalne tanke plasti
-	tanke plasti za solarno energetiko
B.	Zaščitne prevleke
-	temperaturno stabilne prevleke
D. Materiali
Uvodna predavan.ia bodo imeli najbol,1 znani ,iu-ffoslovanski pa tudi tu.ii znanstveni in strokov-ni delavci. Vsa sprejeta dela bodo ob.iavljena v biltenu JUVAK za leto 1985.
V okviru posvetovan.ia bo organizirana razstava elementov in sistemov za pridobivanje plasti in prevlek in proizvodov s tea:a področ,1a. Zainteresirane orranizflci.le lahko primerne svo-.•ie proizvode reklamirano na prireditvi sami in tudi v biltenu.
Cil.i posvetovan.ia ,-je snidenje strokovnjakov iz gospodarstva, znanstveno-razsikovalnih inštitutov in fakultet, ki se zanimajo za uporabo tankih plasti in nrevlek nanešenih v vakuumu in z dnip-ini "lei-odami, k"t fidi izmenjava izkušenj, ki mora Hopririesti k širši in popolnejši uDorahi tankih plasti oz. prevlek na '"azličnih področjih znaropti in KOSPOdarstva raše dr^.avf.
Prepis iz 1. obvestila
PROGRAK DEI.A "DKUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO" SLOVENIJE V LETU ina^
Tečaj "Osnove vakuumske tehnike", (januar) Drupa popravljena izdaja zbornika predavanj "Osnove vakuumske tehnike", (januar) Priprava in izdaja 3 številk društvenega Rlasila "Vakuumist" 6 rednih sej 10 društva Ob'^ni zbor društva
Priprava zbornika predavanj "Tanke vakuumske plasti"
Tečaj "Tanke vakuumske plasti"
Priprava tečaja za vzdrževalce vakuumske
opreme
Dve predavanji z diapozitivi OrKanizacija strokovne ekskurzije
Sodelovanje s srbskim in hrvaškim društvom za vakuumsko tehniko (JUVAK) Sodelovanje z Madžarskim fizikalnim društvom Roland Eötvös
Soorganizacija in udeležba na vakuumskem kongresu v Debrecenu (Madžarska, Jugoslavija in Avstrija)
Pridobitev in ureditev prostora za pisarno društva
Urejanje in dopolnjevanje laboratorija za vakuumsko tehniko
10 DVTS
iZ
^TirrirnjTj.'. ■;z:jC!i-:::"vT:Gi SKLADA igae
Čl i-fcndija Je aaaciic'cr:'? nlaoio, ©"botavnin znsn-stver.i/TOK, se Selijo icpopolniti v posnavac-j« vakuiinir'''-"'^©, v-":rrj":c'ci> tohn:.^: in njihove upombe.
Koltinje tr-.-j^o Ic^o dni, sačonš?! s 1. septora-brom 1985 oa, ir^erora tri üiesece 'kasneje. Yi-šir.o štipeiiai.^e snaSa približno 10.0DQ f>, iz-plcic'Jje pa se v trc-h obrokih: prvi obrok 5.000 J? ua začetku, druci ^.JOO S po šestih TsesGCih dela in zartn^i, 500 S po predaji konč-aesa poročila.
Kniiüidat si lahko sam isbere laboratorij,kjer "bo delal, zašelJeno pa je, da je le-ta v tujini. Potrebna je aajsanj visoka izobrazba, prednost inajo doktorji znanosti.
Obrazec za prijavo riobite pri IIT/STA ValCH PCU1TDAC?I0II ADrillilSm^ITS OFFICE: Eivicion of ITlectrioal Znsineerinc Küün 162, Sulding K-50 "otionol Hcsearch Council Ottav;a, C.UTADA K l.V OH 6
Prijavo z ustrcsnini x^rilo^arai poSljite na ta naclov najkasneje do 15. aprila 1935»
Podrobnejše infornsolje v DVTS (dr. Gacpcrič, telefon 265-^61).
RAZPIS ■-■AX AÜwÄRTER-.ieve NAGRABE ZA LrTTO 1985
] . Max Auwärter-.'ieva nstarova pri firmi Balaers (FL) podeljuje - na?elona enkrat letno -- Max Auwärter-jevo nasrrado štucientoni in inla.lšim sodelavceir univerz in visokih šol, ki so kot edini autor.li ob.iavili Domernbne.i-še znanstveno delo s podro'^.ia fizike in ke-iri.ie površin ter faznih nie.^ ori anorecanskih ali ors^anskih tankih plasteh.
?. K.A nagrada za leto 1985 znaša ^o.ooo 0.3. Lahko se jo razdeli med več prosilcev. Če ni prijavljeno nobeno dovolj pomembno delo, se je ne podeli.
Kdor se želi potegovati za nagrado,,na,i do marca 1'585, Pošlje delo, ki pa prijavlja in kratek življenjepis (oboje v štirih izvodih) na naslov:
O- Univ. Prof. Dr. Michael J. Hiftatsbertter Institut fUr Experimentalphysik der Univer-sitSt Wien
A-IOPO Wien, Boltzmann^asse 5 Z zaznambo: Wax AuwHrter Preis 1^85
Podrobnejše podatke dobite v DVTS.
KOLEDAR POfEMBNIH VAKUUMSKIH PRIREDITEV
?1-1j. - ?.?.B5
Sinno^ii o znanosti površin, Obertraun, Ober-osterreich. Avstri
- 7.5.85
F-esto vrhunsko sre-'anie o tehnološki"ii nridobi-vanja fuzi.Hske .iedrsk« enerei.ie; San Francisco, Kaliforni.ia. ZDA
n. - IB.^.85
Teča.i "Osnove vakuumske tehnike" Društvo za vakuumsko tehniko Srbi.le. Beostrad
1 5. - DQ.it.RS
12. mednarodna konferenca o metalurških orekrit^ •iih; T.os An(Tr»les, Kal lfor»^1-ia, ZD«
T7. - 10.
Posvcitovan.-ie: "Tanke nlasti in Prevleke (nanos. karaVterizaci.ia in mnraba'). Društvo za vakuum-
sko tehniko Srbi.ie in Institut za pukleame nauke Boris Kidrič, Vinča. BeoeT^ad
-	lfi.5.85
Kerinarodna konferenca o tehnikah z ioni in s Plazmo; München, ZBK
-	.5.85
mednarodni siwpozi.i o curkih elektronov, ionov in fotonov. Portland, Oreeon. ZDA
lo. - 14-.6.85
Mednarodna konferenca o forniiran.iu atirnih ob-moči.i med tankimi plastmi ori nrtlprevodnikih; Mar sei] 1 e, Pranci.ia
1?. - IS.6.85
Tretja mednarodna konferenca o trdnih senzor-.iih in pretvornikih, Philadelphia, ZDA
1 2. -
r'tii'" ('Vri. i^-ni-bri-li^«!. Yss^^a^^nsptfts. ''.DA
vi^uurapki icoKSTes _ Karf^pTsgi^a, Avstri.ia, .Tii^ocl «v^ -iq . pptrecpr , l'^fl'i 'arske
S. medrqrofina tconfpTOPca o masri soeVt-rometTi.li 8 selrunrtaTYiirai ioni; Washirrton. ZDA
a. mednarodra konferenca o vakiriTski metalurrrj-,ii: "Pos»bTiq nretal .leva] na	In metalur-
ško prekTivan.-ie v vakuumu ali v kontrolirani atmosferi; Lin7. 'ivstri,ia
1 o. "akiniTsk' kon"-'-'»'', TIVTS Srbi.ie
- .10.86
X. mednarodni vakuumski kongres (TVC lo) in VJ. mednarodna konferenca o novršinah trdnih snov: (ICSS-A). ki bo potekal istočasno s
siiTOOZi.iein Araeriškepra vakuum s kep;a društva; "Baltimore. [-'arvland, ZDA

?ra2i^t:^:o vclr/.u-ffko druSivo je v času od 16. r.o IG. julija ir.elo svoj 5. r.acior.alni ':oa^cs in sicer no (3rža"/iii univern;i UiTI-CAI'ir v Coo Paolo. Glavne teme, ki so bile obravnavane ia ki ro hkrtiti prikaz delovao-ja taakajŠEjih vslcuuaiclov in tozadevne brasiisko inäüstrije ter c53V0jn0 raziskovalnih institucij, so bilo: tanke plasti, cateriali za elokuroniko (tudi sa sončne celice), vakuumske tehnologije, znanost o površinah in raaiskave plazme. Brazilsko vakuuisko društvo 2teje okrog 250 c?.a:iov -od tega se jih je okrog 70 udeležilo kon^p^o-sa.
iiin-osl n^'anslfi simnozi .i o »I ektrcnsVib sestavnih delih in materialih 1, in oVtobra ,ie notekal v LniiM iani na Gosnodarsken ra^.stavi-šču(v ri».«!!] riKfitave forterria eli^ktronika) zp-o-ra.i o-^eniAni fsirnno^n.i. Zanimivi rpfemti.
štovilii"! BO obravnnvaT i ra7.i nknve in dopa-.■<nn."ia rn 'Po'''^"irah t-'driib pnovi , na^vo.-io raznih tehroloFÜ oziroma elementov In nodobno. natjfieni so v zborniku, ki sta Ta i7.da]q or-»•ani^ator.ia si mnojii.ia: Str>r>k. sekJ'ipn 7a ei e''t-ronske sestavi"? dele, mikroelftktro"iko in materiale (SSF-SrO nri ^v^zi BTAN in Elektrotehniška	SI o'"»ni re.
Srbsko vakrjunsto društvo jo po daljšoa času - konccn j-jnija 1964 - organisiralo v Eeosraovi vaku'.irski tečaj. Pričakovali so okrog 15 udeležencev, javilo pa se jih je 27. To jiiii je vneslo ncknj teSav pri izvedbi vaj, katere so norali ponoviti, vcadar smatrajo, da je tečaj kov celota	Ve-
lešenoi so bili v ^lavaea diplotsirani inženirji različnih s^rok iz Srbijo, Hrvaške, Sili in Vojvodine.• Organizatorji - wed katerimi naj posebej oeenino priznana vc.laiuKska rtroko\~!jaka prof. Dr. Brar.o Perovič in prof. dr. Kilana Kurepo so so potrudili, da bi cl'ašateljeT3 Čin več pokazalij slušateljeia zc	delali na cnognh labora-
torijskih in vskuurskih napravah - Ic-teh pa na IjTCtiinitu za fjr.iko v Beogradu ai oalo.
V urah nredevan.i so bi]e predstavljene nas-ledr.ie tPme:
1. Sološni no.imi, enote
?. Tehniški in deformeci?ski manometri
Idealni in realni oliri 4-. Kompresi.iske vak'jumske črpalke 5. Pretok nlinov skozi cevi f^. Vakuumski sistemi za Krobi in sredn.ii vakuum
7. Tesnen.ie vak. sistemov za Rrobi in sredn.ii vakuun
R. Molekularni oo.iavi v plinih I in 11

10.	'irre črpalke in vaV, sistemi z mo2eW\n arpimi ^mnlkami
11.	Tfazne sT)reraembe ir Vrio čmalv-i»
12.	Difu7.i,isl^e i^malVe
V<ik. sistemi z (lifuz. •'rnaltcaml
14.	Ioni78Ci,1fl. stOTT.ov ir molekul ter ioniza-ci.iski vatnjurametri
15.	Merilniki parcialnih tlakov olinov in
16.	Tesnen.ie vak. sistema v področ.iu visoke-cta in ul travi so>eEa vakuuma
Vsak ter.a.inik .ie onravil tudi 12 va.i in sioer:
1.	Uetvar.lan.^e in mer.ien.ie f^obesa vakuuma (So - ] 00 inbar)
2.	Ustvar.-ian.ie in mer.ienie sredn.ieffs vakuuma (}o° -	mbar)
Ker.ien.ie hitrosti ?rpan.ia mehanske Sroalke s T)on!o?,1o 'asa iz'^rpnvan.ia ii. Mer.ien.ie hitrosti ^rnan.la mehanske črpalke s nomo^.no r>r«!toka nlina
5.	Kalibriranie Pirani merilnika z vaVustatom
6.	Dstvarjan.ie in mer.jen.ie visokesra vakuuma (lo"^ - lo"^ mbar"»
7.	Ultravisokovakijumeki i'rnalrii stistem s soroci.isVo in inrako prettersko firnalko
8.	Določevanje mesta netesnoti z uoorabo halo-eenske^a leak-detektor.ia
Določevan.^e mesta netesnosti s helijevim masnim spektrometrom
10.	Meritve parnialrih tlakov plinov v vak. sistemu z uporabo kvndnipolnena masnega filtra
11.	Ultravisokovakuumski r.roalni sistem s tnr-bomo]ekularno črpalko
1?. Naparevan.ie tankih plasti z naprševan.iem v vakuumu
Srbsko društvo je tudi že objavilo razpis za ponovitveni tečaj "Osnove vakuumske tehnike" v letošnjem letu in sicer od 11 do 16. marca v Beogradu. Skrajšana vsebina razpisa je naslednja: .
Teča.H rie namen,ien strokovn.lakom i.? •delovnih or-tranizaci.i, ki se ukvar.ia.io z montažo in z vzdr-ževan.iem vakuumske onwme ter ostalim, ki pri svo.iem delu uporablria^o vakuumske naprave. Težišče nroErama prft'istavl .ia.io nraktične va.ie za vk] apl ian.ie, črpan.ie, meritve ir zs vzdrževan-■ie vakuumskih sistemov. Predavan.ia priznanih strokovn.iakov pa bodo teča.inikom osvetlila nasledn.io te'natiko:
-	fizikalne osnove vakuumske tehnike
-	vakuumske ''rpalke
-	vakuumski ■nerilniki
-	tesnen.ie vakuumskih sistemov
-	posebne vakuumske tehnolori.ie
Kotizaoi.ia zd tečai ,ie l'i.ooo din: v to ceno .ie vračunan tudi učbenik iz vakuumske tehnike ter tehnike in navodil za va.ie.
EI.EC?rROriCA B'1-
V času od - 17. novembra 108^ ie bila v Künchenu orEanizirana že 11 razstava elektronike. V res ogromnem kompleksu razstavnih hal ,1e bilo postavljenih l^oo razstavnih mest na katerih so razstavi,iali proizva.ialci elementov in naprav (v elavnem instrumentalne opreme) aa elektroniko.
Obsep; razstave vsekakor vzbuja SPoštovan.ie, še mnOKO bol.i pa to, da - če vzamemo v obzir nekaj zsdn.iih "Klectropic" - na vsaki naslednji razstavi najdemo nove ir zmogljivejše elemente; skoraj za vsakim od le-teh pa se skrivajo nove in bolj vrhunske tehnologije od dosedanjih. Med njimi zelo očitno zavzema vakuumska tehnika ?:elo oomembno mesto; brez nje si sodobne elektronike ne moreno več predstavljati. Če s stališča te ugotovitve tcledamo na omenjeno sioer nevskuuraistično razstavo, se nam dvora o smotrnosti pričujočeKa obvestila v Vakuumis-tu kaj hitro razblini.
Ipror Belič
lEVT, Ljubljana
KIEL - RS
MTEL-8S, XIII slovansko posvetovanje o mik-roplektroniki z med ni arodno udeležbo, predstavlja tradicionalni sestanek strokovnjakov s področja mikroelektronike iz cele Juaoslavije. Kot vedno sra tudi letos orprarizira SSESD (Strokovna sekcija za elektronske sestavne dele, mik-roelektroniko in materijale ori .i ueo si o van ski zvezi za ETAN) in sioer med 8. in lo. majem na Gospodarskem razstavišču v Ljubljani. Posvetovanie bo za.iemalo naslednja tematska področja:
-	delovanje nolorevodniških elementov ori nizkih temperaturah
-	tehnolos^ija povezav in kontaktov v inte^ira-nih vezjih
-	Droerramska oprema za simulacijo procesa izdelave intestriranih vezij
-	nizkotemperaturni nrooesni koraki v tehnologiji MOS LSI/VI,RI
-	nanredki v tehnolosi.ii CMOS
-	karakterizac.ija polnrevodniških materialov in Površin
-	nanredki v procesiranju integriranih vezij Poduiikronskih dimenzij
-	načrtovanje in tehnologije hibridnih vezij
-	Dolprevodniški elementi in senzorji
Za udeležbo na nosvetovanju je obvezno naročilo Zbornika referatov, ki bo izšel nred posve-

tovar.iem. Cera zbornik« oz, Votiz^jc.i.ia .ie 'i.000 ^in.
Fosvetovsnip bo	.isls ra7atava proizvodov
in iTor«™» s oodroS.^a tnlkrof>l pktroniVfi.
Pri.lave došI nite na naslov:
EletrotehnišVa zveza Sloveni.ie 61000 IJubl-.-iana, Titova ^o ?iro ra^un: ^olol-678-487it-&
Podrobne.-iše infortnaci.ie dobite nri sekretar.iih D o svetovan.i <5:
Pavle TEPTNA, tel. o61 316-886
Elelctrotehniška zveza Sloveni.ie
i.n
dr. Franc ROTOVC, tel. o61 TSKT<A - Mikroplektroniks 61000 L.iubl.iarn. Stetme I'jd
prepis iz 1. obvestila
člasarika
Člane društva prosimo, da vplačajo članarino za 1. 1985, ki znaša enako kot lar.i 2oo,- din. Članarino nakažite na žiro račun pri SDK Ljubljana 5olol-678-5224o oziroma osebno v DVTS na Inštitutu za elelctroniko in vak. tehniko, Teslova 3o, Ljubljana (mgr. Monika Jenko).
I.O. DVTS
PO.NATTS KN.TIGK "OSNOVB VAKllUMSKK TOTNIKE"
DVTn .-ie v ianu^riu	izdalo dru^o l?.t>onol-
n.iBro Izfiaifi Vn.iip-» z ^vnrn.iim T>aalovoir. ?rvfl iada.ia, Vi ie iz.qla letst 108] v naklidi Soo izvodov,,!« v Drvi oolo"ici 1. Wi nošla - neka' m nrodaro " kn.-^iparnah, rpkari üreko društvi, riPks.i oa kot u*rii riripomo^ek ter-a.inikom, ki s«" 'idp] (»7u,"i®.io istoimenskih te'^a.iev v orn-anizaci-.ii našet^a 'Iriištva. V skci.io 78 oonovrii tisk smo "Ä11 v za'^etku lanslf^a nolet.ia; rta nam je v dobre nol leta usnelo nriur^stvlti Dosodcbl.-le-no in l'inonoln.ieno izdalo - snet v "ioo lzvodi> - rre zahvala dobri vol.ii ^lanov DVTS, predvsem Da dr. Gasneriču, ki se .ie na.-ibolj angažiral in vsa uredni.ška. lektorska in druKa opravila i7.pel.ial tako, da smo nove kn.üKe vsi veseli in ran.io Donnsni .
/.«^eblni ri-riiere izd.i.le -c razdel.iena na 15 do-cflavi,i,v Vit«?rlh so obravnavane fizikalne oslove, vse vrste vakuiim^iki b ^roalk, vaki7UKSki c^icteivi. vqifiiunTnetri. rokateri vakuumski materiali in delo z n.ilmi , odkrivanie nf'tesnih "•Ast. nekatera vakuumske tehrolofri i«. aializ-Tie metorte , itd .
Kr.iifa .ie bro.^irana in ima 175 .«trani strokov-nppg tekstn. diasrramov ir risb. Cena :ie P.oco,-djn; 7,a rii.-^ake in Študente veT .ia 5o oopu.-st, Mop-ore .io .ie dobiti naro^^iti nri Društvu za vakuuraf5ko tehniko Slovenlrie, filooo Ii.iubl.ia-i"a , Teslova
VAKUUKIST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Sloverije, Teslova 5o, 61111 Ljubljana, Telefon: 263-461. Ureja uredniški odbor: Andrej Pregelj, Monika Jenko, Peter Pavli, Vinko Nenanič, Borut Praček, Igor Belič, Ludvik Pipan, Kilan Tasevski, Roš Zlata, Šetina Janez