GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE LJUBLJANA, DEC. 89, JAN. 90 ŠT. 19 - 1989/3 ST.20 -1990/1 Sloviti poskus, ki ga je leta 1654 v mestu Magdeburg javno demonstriral Otto von Guericke kaze ogromno silo atmosfere - oziroma takrat še zelo skrivnostne praznine - vakuuma: osem parov konj ne more raztrgati dveh tesno zloženih polobel (magdeburški hemisferi), izmed katerih je izčrpan zrak; imenovani nemški znanstvenik in tehnik je le nekaj let pred tem izdelal tudi prvo vakuumsko črpalko na svetu. ISSN 0351-9716 VSEBINA □ VisokovakuumskI postopki za nanos uporovnih piasti □ Merjenje in kontrola piinskeqa pretoka v vakuumskih sistemih □ Sodobni visokovakuumskI ventili □ V desetih letih 21 tečajev □ Priprave na XI. jugoslovanski vakuumski konqres □ Mednarodni simpozij o napravah za vakuumsko znanost in tehniko □ lUVSTA • aktivnosti □ Članstvo DVTS v letu 1989 □ Koledar □ Kratke novice in obvestila Spoštovani bralci in člani DVTS v uredništvu Vakuumista si stalno prizadevamo, da bi lahko naš list po dostopni ceni posredovali čim širšemu krogu bralcev. Stroški za izdajanje glasila kot so: priprava člankov, tiskanje, papir itd. v povprečju znašajo okrog 700 DEM. Izhajanje lista postaja včasih že skoraj vprašljivo, kajti zanj ne dobivamo nobene subvencije, člani DVTS pa ga prejemamo brezplačno. V prejšnji številki (18) smo vas seznanili z odločitvijo, da bomo v Vakuumistu odslej objavljali oglase in reklame ter poskušali pridobiti sponzoije, a zaenkrat Še ni večjega uspeha. Z omenjeno aktivnostjo bomo v bodoče še nadaljevali, vendar smo se zdaj prisiljeni obrniti tudi na vas člane - bralce, da delno sodelujete pri pokrivanju stroškov glasila. V ta namen smo se odločili povišati članarino na 70,00 dinaijev. Prosimo vas, dajo poravnate do konca marca 1990 - lahko osebno pri Rozman Dariji, dipl. ing, vsobi 306 na lEVTali pa po položnici na račun društva: SDK LJubljana 50101- 678-52240. Hkrati vabimo vse. ki ste tako ali drugače vezani na našo stroko - da sodelujete s pismenimi prispevki v našem glasilu. Uredniški odbor in izvršni odbor DVT Slovenije vam želita srečno in uspešno novo leto 1990. a VAKUUMIST □ Izdaja Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije □ Glavni In odgovorni urednik: Andrej Pregelj □ Uredniški odbor: F, Lah, S. Jerič, E, Perman, M. Jenko, P. Panjan, A. Zaiar, A. Banovec, S. Sejjad, V. Nemanič, M. Drab, B, Slariha, M. Mozellč In 8, Sirnad □ Naslov: Uredništvo Vakuumista, Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30,61000 Ljubljana, telefon (061) 267-341 □ Po mnenju republiškega komiteja za kulturo SRS šl. 4210-149/81 z dne 9/9-1981 je publikacija oproščena plačila davka od prometa proizvodov, □ Oblikovanje besedila, grafična priprava In lisk Biro M, Ljubljana, Albertova 1 □ Naklada 350 Izvodov Visokovakuumski postopki za nanos uporovnih plasti s. Stankovič, M. Hudomalj, Tovarna uporov in opreme, 68310 Šentjernej UVOD Ker ogljiko-plaslni upori niso mogli izpolnjevati vseh zahtev trga, smo v tovarni uporov uvedli proizvodnjo kovinoplastnih uporov, ki jih pripravimo z nanosom v visokem'vakuumu. Uporabljamo naslednje metode nanašanja ; metodas preskakujočim elektronskim snopom (elektronski top), bliskovno naparevanje in magnetron-sko enosmerno (DC) naprševanje. Tem novim tehnologijam nanašanja uporovnih plasti je bilo potrebno prilagoditi tehnologijo priprave podlag in dodelave uporov ter vpeljati merilne in testne metode. Opisani so principi delovanja vakuumskih naprav za nanos tankih plasti. Posebej je predstavljena oprema vgrajena v razvojni napravi BA 510. NANOS UPOROVNIH PLASTI Visoko vakuumska naprava proizvajalca Leybold-Her-aeusa za naparevanje uporovnih plasti s preskakujočim elektronskim snopom je sestavljena iz črpalnega sistema z rotacijsko predčrpalko in difuzijsko črpalko ter iz vodoravno ležečega recipienta, v katerem so nameščeni elektronski top (10 kW), bakren lonček za dva različna naparjevalna materiala in boben iz nerjavne jeklene mreže, postavljen nad izvirom. Naparevanje plasti NiCr poteka z istočasnim naparevanjem dveh kovin iz dveh izvirov s pomočjo nastavljivega preskoka elektronskega curka (slika 1). Vodno hlajen bakren lonček je oblikovan tako, da v srednji ločeni del vložimo Ni, v zunanji del lončka pa Cr. Za ponovljiva naparevanja osnovnih upornosti med 30 in 300 ohmi moramo zagotoviti: - ponovljivo hrapavost in sestavo podlag - ponovljive polnitve bobna - ponovljiv način in hitrost mešanja podlag v bobnu - ponovljive tlake in sestave residualne atmosfere - ponovljivo temperaturo podlag - ponovljivo pripravo izvira naparevanja - konstantno moč elektronskega snopa - ponovljivo fokusiranje elektronskega snopa - konstantno temperaturo Ni in Cr Temperaturni koeficienti upornosti (TKU), ki jih dosežemo v masovni proizvodnji so : (±25, ±50, ±100)-10"®/K. Naprava za bliskovno (flash) naparevanje uporovnih plasti na cilindrične podlage tip BAK 600, proizvajalca Balzers, vsebuje klasičen črpalni sistem, recipient in krmilno omaro. V recipientu je sistem za uporovno ogrevanje ladjic in odgovarjajoč sistem za stresanje materiala za naparevanje (slika 2). V bližini bobna s keramičnimi teleščki je nameščen nosilec za kremenov kristal za merjenje debeline plasti. Krmilna enota z mikroprocesorjem preko kremenove mikrotehtnice uravnava bistvene parametre nanašanja. Naprava ima še sistem za natančno uvajanje O2, ki omogoča reaktivno naparevanje. o '^'^lOo ^ ? o o r v' i / o v - VP o Slika 1 Naparevanje s pomočjo preskakujočega elektronskega snopa Slika 2 Bliskovno naparevanje Zahteve po ponovljivosti so podobne kot pri tehnologiji naparevanja z elektronskim topom. Magnetronsko naprševanje uporovnih plasti s S-puško (S-gun) izvajamo v napravi tipa 3119 R, proizvajalca Varian, ki ima vgrajena dva magnetrona z napajalniki moči 7kW (slika 3). V recipient so nameščeni mikro-tehtnica s kremenovim kristalom in grelci za ogrevanje podlag ter planetarni nosilec podlag. Celoten potek delovanja (črpanje, naprševanje) kontroliramo in vodimo z mikroprocesorjem 5-TI. Napršuje se na ravne podlage. plazma / Slika 3 Magnetronsko naprševanje V izčrpan recipient uvajamo čist argon, ki se med elektrodama ionizira. Ioni argona iz nastale plazme se pospešujejo v močnemelektromagnetnempolju.izbijejo iz katodnega materijaia atome, ki se naložijo na podlage. Zaradi velike energije atomov je adhezija uporovne plasti izredno dobra. Pri tej metodi moramo kontrolirati: - dosežen vakuum pred uvajanjm argona ali reaktivnega plina - moč na tarčah - čistost plinov, ki jih uvajamo v recipient Z opisanimi metodami nanosa NiCr uporovnih plasti izdelujemo kovinoplastne upore na cilindričnih substratih, katerih karakteristike so prikazane v Tabeli 1. Primerjalno so podane še karakteristike ogljenoplastnih uporov. Tabela 1 K0VIN0PLAS1>II UPORI OGUIKOPLASTNI UPORI upor otyro£{e(0) 5.11 -^1M 1 + 100M,10-^1M ioleranca(%) +2,±1,±0.5 ±5, ±2 dimenzi|S (mm) 2-6 + 8 20 2.26 + 8.J30 ra2ivre moči pri 70°C (W) 0.33*1.5 0.33 H. 2 TKU (-lO'^/K) ±25,±50,±100 ±250, -ISOf-SOO, -200 -^-800 el.obfem.pri70°ci000 ufiR/R(%) <0.5 <0.5 lemp. obfem.lOOOurna 155°C4R/R(%) <0.5 <0.5 Visokovakuumski sistem BA 510, proizvajalca Balzers uporabljamo za razvojno delo. Sistem omogoča napare-vanje iz uporovnogretega izvira, btiskovno naparevanje, naparevanje z elektronskim topom, enosmerno (DC) in rad iot rek venčno (RF) naprševanje. Aplikacije so naslednje: - nanos kovinskih, polprevodniških in izolacijskih plasti za izdelavo uporov, tankoplastnih kondenzatorjev, magnetnih plasti, kontaktnih plasti, mask itd. - v optiki za zaščitne plasti, anti-refleksne plasti, zrcala, večplastne plasti za interlerenčne filtre itd. V napravo sta vgrajena dva planarna magnetrona, tip B 315, proizvajalca ION TECH. Nameščena sta v oddaljenosti 120-^-240 mm od osnovne plošče. Permanentni magneti ustvarjajo močno magnetno polje, karzagotavl-ja dobro delovanje magnetronov v področju od 5.10""^ mbardo 6.5.10"^ mbar. Optimalno pa delujejo v področju od 8-10'^ mbar do 1 • 10'^ mbar, Z naprševanjem pri tako nizkih tlakih zmanjšamo prisotnost plinov, plasti so kompaktnejše, zelo čiste in imajo dobro adhezijo. Značilno za naprševanje v DC režimu pri nizkih tlakih v manjših sistemih je, da ni potreben katodni temni prostor, ker je ta dimenzijsko večji kot oddaljenost med negativno elektrodo in ozemijeno kovino. Uporabljamo proste tarče debeline 1.5+3 mm in premera 38 mm. Za ta premer tarč nam sistem omogoča dokaj enakomeren nanos na podlage. Zamenjava tarč je zelo preprosta, saj jo le dvignemo s centralnega obroča. Tarča prenese (odvisno od materiala) moč 100 do 300 W brez pregrevanja. Magnetroni omogočajo velike hitrosti nanašanja, tako je npr. pri delovni oddaljenosti magnetrona od podlag 50 mm hitrost naprševan-ja za baker 800 nm/min, za aluminij pa 350 nm/min. Pri maksimalni delovni moči in delovni oddaljenosti 70 mm "pade" na podlage le 8% moči plazme. Magnetroni so vodno hlajeni. Delovne karakteristike planarnega magnetrona so prikazane na slikah 4A - F. V sistem je vgrajen izvir hitrih atomov (Saddle Field Source), tip FAB 110, proizvajalca ION TECH, ki zagotavlja kontroliran širok direktni curek le-teh (slika 5). Z njim učinkovito očistimo podlage pred depozicijo, ne da bi povzročili nastanek poškodb ali vnesli nečistoče.Ob-streljevanje lahko nadaljujemo tudi med potekom nanašanja. Na ta način izboljšamo adhezijo in optimiramo lastnosti plasti. Maksimalna oddaljenost izvira od podlag je 100 mm. Izvir hitrih atomov nima termičnih katod in je zato imun na večino reaktivnih plinov. Principdelovanja izvira hitrih atomov je sledeč; Izvir sestavlja par anod, ki je obdan s katodo. Elektrostatično polje prisili ujele elektrone, da dolgo stabilno oscilirajo, preden dosežejo površino anode. Oscilirajoči elektroni znotraj omejenega polja ionizirajo plin, ki ga uvajamo v izvir. Najpogosteje uporabljamo argon, lahko pa uporabimo tudi kisik, dušik, vodik. Elektrostatično polje zagotovi tudi energijo za pospeševanje ionov proti katodi. Veliko teh ionov trči s katodo in izbije sekundarne elektrone, ki nevtralizirajo ione, ki se gibljejo v nasprotni smeri. Tako ustvarjeni atomi zadržijo svoj izvirni moment in pridejo skozi luknje v katodi kot curek nevtralnih delcev. lonizacijsko in pospeševalno polje je eno in isto polje. Za pravilno delovanje ne potrebujemo dodatnih zunanjih elektrostatičnih ali magnetnih polj. 6-5-4 -3-2-1- PORAZDELITEV bakrena tarča d:1.5 mn 3 p]a?.emski tok 1=0.7 A o - delovna oddaljenost 50 mm delovna oddal.icnost 70 delovna oddaljenost 100 ntn oddpMrnost od centra (iotI 8-1 7- 6- 5- 4- 3- 2- 1- 0- KOEFICIENT rOh:RITJA bakrena tarča d:1.5 n" plaz<-r.:5l\i tok 1 = 0.7 delovna oddnl.lcnor.t (mm) AO 30 20 10 10 20 30 40 SO 100 150 1 - bakrena tarča drl.5 nm delovna oddaljenost 70 mm E c (0 c: « c fü c Jj n E i.) plazemskl tok (mA) 100 200 300 400 500 600 700 800 3- 2- bakrona tarča d=l.'j m-Ti o delovna oddnljcnoisL 70 mni moč pl?37.me (W) 100 200 300 400 800- 600- «00- 200- O M I] m bakrena tarča A: d=1.5 mm Pi mm -tlak pri- 10"^n;har pJ.-ir.CTTLnka napeto.^t (V) 800 -I 600- 400- 200 - ^ 1 I-1-\-1-;-1 100 200 3C0 400 500 600 700 800 bnkrona tarča drl.'j (üti plar.em.'skl Ink I=ri.7 A Slike 4 A - F: Delovne karakteristike planarnega magnetrona Delovanje izvira hitrih atomov je odvisno le od toka plazme in množine plina. Napajanje je enosmerno s tokovno regulacijo. Hlajenje Je vodno. 2 izvirom hitrih atomov je možno obdelovali prevodne, dielektrične in izolacijske površine. Uporablja se za : - atomsko jedkanje (tudi reaktivno) - nanos plasti na podlage - čiščenje podlag Izvir hitrih atomov deluje pri istih tlakih kot planami magnetroni. ZAKLJUČEK Vakuumski postopki nanašanja plasti.v povezavi s temeljitim čiščenjem podlag (npr. z izvirom hitrih atomov) predstavljajo pot k nanosu stabilne tanke plasti. Kvalitetne uporovne plasti nanešene na tehnološko neoporečno izdelane keramiče podlage, laserska doravna-va upornosti, osnovna zaščita, pritrjevanja kontaktov in končna zaščita nam omogočajo proizvodnjo kakovostnih uporov in drugih tankoplastnih komponent. Pomembni dejavniki za doseganje kakovostne uporovne plasti so čist klimatiziran prostor, visoka stopnja higiene v vakuumskem sistemu in tehnološka disciplina. Sodobna oprema vgrajena v laboratorijsko napravo BA 510 (RF magnetroni, izvir hitrih atomov) skupaj zdrugimi pripomočki omogoča široko razvojno dejavnost in maloserijsko proizvodnjo. položaj 2 tarča Slika 5 Možnosti uporabe izvira hitrih atomov LITERATURA prospekt Leybold-Heraeus, 16 C 6.100 d Balzers Operating Instruction, BB 800 013 BE prospekt VAC 2436B (USA) 10/78 sec. 14 Frederic Turner, Varian, Operational Cliaracterlstics Of High Rate Sources VR-100 Balzers, Operating Instructions, BG 800 089 BE Ion Tech. B 315 2 Inch Low Pressure Planar Magnetron Sourse Ion Tech, Apiication Notes The Saddle Field Source and its Role in Thin Film Processing Merjenje in kontrola plinskega pretoka v vakuumskih sistemih A. Žabkar, Institut Jožef Stefan. 61000 Ljubljana, Jamova 39 UVOD Sodobni tehnološki procesi praviloma zahtevajo zelo natančno določene okoliščine, saj je dobra ponovljivost postopka eden izmed osnovnih pogojev za zanesljivost in ekonomsko uspešnost neke tehnologije. V številnih industrijskih panogah, seveda pa tudi pri raziskavah, se zato vse bolj uveljavljajo postopki, ki so povezani z vakuumom. Le-ta namreč omogoča čistejše okoliščine in bolj natančno določene delovne parametre kot konkurenčni postopki. Ponavadi Je seveda vakuum le osnova, tehnološki postopek pa Je vezan na enega ali več delovnih plinov, ki Jih je treba kontrolirano uvajati v sistem, da vzpostavimo zahtevane okoliščine. Kontrolirano in natančno uvajanje plinov v vakuumske sisteme je precej težavna naloga in zahteva razmeroma drago opremo. Zlasti korozivni in reaktivni plini, ki jih uporabljamo v številnih procesih, so razlog za težave z dolgotrajno stabilnostjo, oz. ponovljivostjo v odmerjanju izbranih količin. Sodobni postopki so navadno zasnovani na dinamičnih delovnih režimih. Zato nas ponavadi poleg skupnega in delnih tlakov zanimajo predvsem pretoki posameznih plinskih komponent. Klasični merilniki pretoka, npr. rotametri imajo številne slabosti. Občutljivi so na temperaturne spremembe in spreminjanje tlaka, saj merijo pravzaprav volumski tok. Kombiniramo jihz ročnim nastavljanjem igelnih ventilov. Takšne nastavitve so praviloma stalne in jih ne moremo avtomatizirano spreminjati. Ponovljivost je slaba in ne moremo jih prilagoditi računalniško vodenim procesom. Termični merilniki masnega pretoka nadomeščajo ro-tametre zaradi večje natančnosti, hitrejšega odziva, boljše ponovljivosti in možnosti povezave z računalnikom. TERMIČNO MERJENJE MASNEGA PRETOKA IN KONTROLA Termični merilniki masnega pretoka ponavadi merijo pretok skozi tanko cevko - tanko v primerjavi z dolžino (l/d > 100), da je zagotovljen laminaren lok plina. Slika 1 prikazuje najenostavnejši primer, ko plin, ki teče po cevki (tipičen premer je 0,2 mm), segrevamo in z uporovnimi lermometri merimo prenos toplote. V primeru, ko ni pretoka, je temperaturni profil simetričen, pretok pa simetrijo "pokvari". Spremembo zaznata uporovna termometra in primerna kalibracija ter ojačenje nam dasta električni signal, s katerim krmilimo kontrolni ventil. V večini pr-aktičniti primerov lahko uporabimo idealiziran račun za laminaren pretok skozi kapilaro. Tedaj velja Poiseuille-Hagenova enačba: Q = konst. PAP 71,r O = konst, kjer je Q masni tok, P povprečje med vstopnim in izstopnim tlakom na kapilari, AP razlika obeh tlakov. T) viskoznost plina in T njegova povprečna temperatura. V konstanti so skriti geometrijski parametri, molekulska masa in plinska konstanta. Veljavnost enačbe je omejena predvsem s turbulencami (Reynoid-sovo število mora tjiti pod 10^ ) in s povprečno prosto potjo, ki naj bo majhna v primeri s premerom kapilare. Minimalni pretoki, ki jih lahko tako merimo, so velikostn-ga reda 10'^ mbar.l/s. Večje pretoke merimo tako, da primerno dimenzioniramo k merilni vzporedno linijo. Na ta način zmoremo meriti pretoke do 10^ mbar.l/s. Glavni problem opisanega sistema je razmeroma počasen odziv ob spremembah, oz. dolg čas (2 do 10 s), ki je potreben za obnavljanje toplotnega ravnovesja. S temperaturno kompenzacijo (trije grelci vzdolž merilne linije) in avtomatičnim obnavljanjem temperaturnega profila je mogoče skrajšati odziv pod 0,5 s . Časi okrog Is so zdaj že kar standardni. Odzivni časi kontrolnih ventilov so precej krajši in niso ovira. Delovanje termičnih merilnikov masnega pretoka je omejeno z vstopnim tlakom (nad približno 50 mbar). Merimo in ustrezno kontroliramo lahko pretoke v območju med 10"^ in 10^ mbar ,1/s, delovni tlaki pa so lahko med 10""^ mbar in 1 bar. Omejena je tudi delovna temperatura teh elementov (pod 50° C). Zaradi kalibracije moramo biti pri izbiri ob nakupu pozorni predvsem na vrsto plina in na delovno območje (pretok), ki ga želimo kontrolirati. MERILNIKI MASNEGA PRETOKA Z MANOMETROM Zaenkrat termični regulatorji pretoka zadoščajo za večino potreb. V posebnih primerih (npr. temperature okrog 150*^ C) pa uporabljajo kontrolne sisteme z diferencialnim merjenjem tlaka v vhodni liniji in temperaturno stabilizacijo posameznih elementov (ventil, manometer). Shematično je tak sistem prikazan na sliki 2. Osnova merilnika oz. kontrolne enote je merjenje tlaka (na vhodu in izhodu elementa z definiranim pretokom) z diferencialnim manometrom. Glede na delovni tlak v sistemu moramo upoštevati različne režime pretoka. Za tlake med 10'*^ in 10"^ mbar, ko imamo molekularen tok, zadostuje natančno merjenje tlačne razlike AP. Pomnožena s prevodnostjo nam da naravnost masni pretok. Pri tlakih med 10'^ in 50 mbar lahko ob pogoju, da je vstopni tlak vsaj dvakrat večji od izstopnega, uporabimo navadno odprtino. Molekule jo namreč tedaj prehajajo z nadzvočno hitrostjo, pretok pa je odvisen le od vstopnega tlaka. V tem primeru je torej dovolj, da natančno merimo tlak s kapacitivnim manometrom. Območje nadzvočnega režima lahko raztegnenx) vse do 1 bar, če zmoremo Slika 1: Shematičen prikaz termičnega merilnika za pretok plinov Plin Slika 2: Kontrolni sistem z manometrom na vstopni strani nadtlak 2 bar. Pogosto pa to ne gre. Z elementom, ki zagotavlja laminaren tok lahko znižamo vstopni tlak na 10 do 20 mbar. Pretok je zdaj sorazmeren produktu tlačne razlike in povprečnega tlaka v elementu, podobno kot pri termičnem merilniku. Odvisnosti od temperature se znebimo z natančno temperaturno kontrolo manometra, elementa za laminaren tok in ventila. Merilniki pretoka z manometrom se posebej odlikujejo po dobri kontroli ničle in dobri ponovljivosti pri kontroli pretoka. SKLEP Nekatere važne vidike merjenja in kontrole masnega pretoka sem že omenil. Hiter odziv je pomemben, ker sistem (npr. Si rezina) reagira tudi v času preden se okoliščine ustalijo; v tem času ponovljiva kontrola ni možna. S tem je povezan prehod iz stanja "zaprto" (ki ga nekatere kontrolne enote ne zmorejo) v položaj z vnaprej določenim pretokom. Važno je, da pri tem pretok čim manj preseže nastavljeno vrednost pa tudi, da merilnik zvesto sledi kontrolnemu ventilu. Nizki vstopni tlaki so pogosti pri tekočinskih izvirih par. Pri le-teh je zelo težko kompenzirati spremembe temperature in vstopnega tlaka. Na ponovljivost regulacije pretoka vplivajo predvsem stabilnost napajalne napetosti, kompenzacija temperaturnih sprememb, kompenzacija ničle in spremembe vstopnega tlaka. Tudi kontaminacija lahko povzroči nezanesljivo delovanje. Razni proizvajalci z različnim uspehom premeščajo opisane težave. Vsi pa so praviloma precej samozavestni, zato je zelo koristno, če smo sposobni sami preveriti karakteristike. Občasno je treba preverjati zlasti kalibra-cijo in njeno linearnost, še posebno če delamo z reaktivnimi plini. Kot primarni standard se uporablja volume-trična tehnika, kerupošteva le osnovne količine (dolžina, masa, temperatura, čas). Kot sekundarni standard lahko porabimo naraščanje tlaka v znanem volumnu ali pa kar eno od zgoraj opisanih metod. Tako lahko ohranjamo natančnost nekaj desetink odstotka. Seveda moramo sekundarne standarde občasno preverjati s primarnimi, da zagotovimo zanesljivost postopka. Sodobni visokovakuumski ventili A. Pregelj, M. Drab, Inštitut za elektroniko in vakumsko tehniko, Teslova 30,61111 Ljubljana Visoki vakuum (VV) obsega področje tlakov od 10"^ do-10" ^ mbar. Prosta pot molekul plina v tem območju je od 1 mm do 10m, tip pretoka plina pa molekularni; puščanje oz. s<čm »klopko /^lava z-nklop vzvoci 7. nkccnt.f'»" v 7. vod PNEUMATSKI: enostransko delujoč cilinder B dvostransko delujoč cilinder B zapiranje vzmetno brez el.toka br^ el. toka impulzno 3 - položajni s pritiskciD odpir*anje z-iprt odprt aktiviranje (pneumatski) VTineti (standard) {na željo) (na zeljo) McrroRNi: elektromagnetni ; © motor na izznenlčni tok koračni motor Slika 2: Možni načini zapiranja vakuumskih ventilov zapiralna vzmet prikli'ucnima prirobnicama pri polno odprtem ventilu; pri cevi premera 2r in dolžine L se prevodnost spreminja z r^/L; 3.) življenjska doba - napoveduje koliko tesnih zapiranj naj vzdrži ventil pri upoštevanju normalnih pogojev delovanja, to je: odsotnost prahu, kemikalij, dima, premočnega zategovanja itd; 4.) pregrevnost - najvišja dovoljena temperatura, pri kateri lahko ventil uporabljamo, ne da bi se pri tem skrajšala življenska doba. Za doseganje višjih vakuumov je zaželeno, da je ta temperatura čim višja, omejuje pa jo obstojnost sestavnih materialov (tesnila, maziva, deli krmilja...). Pri nekaterih izvedbah je možno za čas segrevanja sneli s kovinskega vakuumskega sklopa nepregrevne pogonske enote (plastika, tuljava el. magneta, pnevmatski cilinder...); 5.) materiali - poleg temperaturne vzdržljivosti morajo imeti dobro protikorozijsko obstojnost in nizek parni tlak; materiali ne smejo vsebovati kadmija, magnezija, cinka, žvepla, ter pravilna izbira maziva in tesnil; 6.) konstrukcija oz. izvedba - mora biti taka, daje potrebno čim manj mazanja, čim manj elastomernih tesnil (če že so, naj bodo proti vakuumski črpalni poti čim bolj zasenčena oz. skrita); kovinski materiali naj bodo uporabljeni tako, da večja poroznost v smeri valjanja ne vpliva na vakuumski prostor; čim manj naj bo žepov (zvari znotraj!), slepih lukenj in notranjih kotov, kjer bi se lahko nalagali delci prahu; notranje površine naj bodo čim bolj gladke (polirane); za različne potrebe je prav, da obstaja širok izbor izvedb zapiranja (slika 2). Pogosto je zaželjena možnost blokiranja, za večino sodobnih elektropnevmatskih ventilov pa se zahteva samodejno zapiranje ob izklopu električnega toka ali ob padcu tlaka stisnjenega zraka (vgrajena vzmet); 7.) vakuumski priključki - prednost se daje tistim, ki so standardizirani po ISO; 8.) možnost avtomatizacije - tudi v vakuumski tehniki je vse več avtomatsko vodenih procesov in proizvajalci ventilov ponujajo vse širšo izbiro. Gib zapiralnega dela je možno izvesti pnevmatsko, elektropnevmatsko ali z motorjem (slika 2). Pri prvih dveh sta običajno nx)žna le dva položaja, pri motornem pogonu pa lahko nastavimo poljuben položaj in s tem precizno regulacijo črpalne hitrosti oz. vpuščanja plina. Za avtomatizirano delovanje mora imeti ventil vgrajene detektorje položaja. 9.) cena - čim nižja V nadaljnem tekstu podajamo sheme različnih izvedb VV ventilov ter njihove glavne lastnosti: Ventil "Metulj" - premer odprtine je enak premeru cevovoda - nizka nabavna cena - tesnost zavisi od natančnosti izvedbe ovalnega krožnika - rotacijski prevod tesnjen z O - tesnilom iz vitona Premi ventil z vodoravnim visečim krožnikom J L [1, -WVA/ 1 r - razmeroma cenen - sorazmerno nizek - slaba prevodnost, ker krožnik moti pretok - običajno za večje pretoke nad 100 mm Ploščni ventil s paralelogramskim vozičkom - pomik z navojnim vretenom; rotacijski prevod - pritisk na sedež s stiskom paralelograma - pri popravilih lahko ostane ohišje v vakuumskem sistemu Ventil z nihajnim pomikom J: L... premo gibljiv prevod tesnjen z mehom gib 2 enoročnim vzvodom pritisk na sedež s stiskom paralelograma ohišje lahko pri popravilih ostane v vakuumskem sistemu kratek pogonski gib nÜ" rotacijsko gibijiv prevod tesnjen z vitonsko tesnilko ohišje pravokotno na cevovod pritisk na sedež s kroglami na klinu cenenost zaradi enostavne montaže ohišja pri popravilih je treba kompleten ventil odmontirati iz vakuumskega sistema V zadnjem odstavku dodajamo še nekaj kratkih napotkov za vzdrževanje VV ventilov: - med čiščenjem naj bo ventil vedno v odprtem položaju ter električni in pnevmatski priključki odklopljeni; po potrebi odmontiramo tudi celoten notranji mehanizem in to tako, da odvijemo prirobnico na telesu - če O - tesnila zdrsujejo iz svojih utorov, jih je treba strokovno (z orodjem) učvrstiti nazaj - pri razstavljenem ventilu očistimo vso notranjost in popravimo oziroma zjustiramo mehanizem, kar je še posebej pomembno pri ploščatih ventilih - ne sme se uporabljati običajnih razredčil, topil za olja in pršil (kot npr. WD 40), ker bi z njimi resno poslabšali vakuum in kontaminirali še ostale dele vakuumskega sistema - bate pri pnevmatskih pogonih namažemo enkrat letno in pazimo, da mazivo ne pride v stik z vakuumskimi površinami - če so tesnilni obroči poškodovani (raze, razpoke) jih zamenjamo, sicer pa le tanko namažemo z vakuumsko mastjo - mehove je treba pregledati na razpoke oziroma zareze; pri pomembnih tehnologijah je nujno, da jih imamo nekaj v rezervi - hermetičnost sestavnih delov testiramo najprej posamično, nato pa še celoten ventil s helijevim leak detektorjem; posebno pozornost pri tem preverjanju je treba posvetiti mehu ter tesniloma na krožniku in ob prevodu pogonskega mehanizma Literatura: 1. Wulz, Adam, Walcher Theorie und Praxis der Vakuumlech-nik; F. Vieweg & Sohn Verlag, Braunschweig, 1982 2. Autorkollekllv: Industrielle Vakuumtechnik; VEB Deutscher Verlag für Grund Stoffinduslrie, Lefpzig. 1979 3. M. Kurepa, B. čobič: Fizika i tehnika vakuuma; Naučna knjiga, Beograd, 1988 - 4. C Edelmann: Wissen spe icher Vakuumtechnik; VEB Fachbuchverlag, Leipzig, 1985 - 5. VAT - Vacuumvalves 90 - Katalog ventilov za leto 1990 6. Granville - Phillips Company - How to select UHV • valves (product report No. 267-5) V desetih letih 21 tečajev v celotnem obdobju organiziranega delovanja slovenskih vakumistov - to je od leta 1959 naprej je bilo prav zadnje (tretje) desetletje na področju izobraževanja najplodnejše. Po letu 1979, ko so se v okviru družbenopolitične preobrazbe na novo konstituirala srbsko, hrvaško in slovensko društvo, smo se v Sloveniji odločili za intenzivnejšo vzgojo kadrov. Zbrali smo predavanja z nekaterih prejšnjih tečajev, jih dopolnili, in urejeno gradivo leta 1981 predstavili javnosti kot pn/o domačo knjigo z vakuumskega področja. Zbornik predavanj "Osnove vakuumske tehnike" ki smo ga leta 1984 ponovno dopolnili in ponatisnili, nam je bil in nam je še vedno osnova za izvedbo naših tečajev z istoimenskim naslovom. Tečaj je namenjen tako vzdrževalcem in razvijalcem vakuumskih naprav, kot tudi raziskovalcem, ki pri svojem delu potrebujejo vakuumske pogoje. Poteka vedno na Inštitutu za elektroniko in vakuumsko tehniko in to tri dni, skupno 20 ur. Na tečaju so obravnavana naslednja področja: 1. Pomen in razvoj vakuumske tehnike 2. Fizikalne osnove vakuumske tehnike 3. Črpalke za grobi vakuum (membranske, rotacijske, z vodnim obročem) 4. Črpalke za visoki vakuum (ejektorske, difuzijske in turbo molekularne) 5. Črpalke s površinskim delovanjem ( sorpcijske, ionsko getrske, kriogenske) 6. Vakuumski spoji in tesnilke 7. Vakuumski sistemi 8. Vakuummetri 9. Odkrivanje netesnih mest (leak detekcija) 10. Vakuumski materiali in delo z njimi 11. Vakuumske tankoplastne tehnologije 12. Pomen površin v vakuumski tehniki in njihova karak-terizacija 13. Vakuumska higiena in čisti postopki 14. Doziranje, čiščenje in preiskava plinov 15. šest ur vaj in ogled Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko Prav je da v jubilejnem letu pregledamo in skušamo oceniti našo tečajniško dejavnost ter potrebnost te dejavnosti v našem prostoru. V tabeli 1 podajamo pregled tečajev v 10 letnem obdobju in število udeležencev na njih. Če skupno število tečajnikov (541) razdelimo na 10 let vidimo, da se jih je letno izobraževalo povprečno 54, kar ni ravno malo. Za vakuumiste in delovne organizacije pa je vsekakor tudi zanimivo od kod so bili slušatelji in iz katerih podjetij. Tabela 1: Število udeležencev na lečaii 1 v posameznih letili Zaporedna lievilka dat J m Število udeležencev 1 mai, |uni| 1980 40 2 12-14 januar 1981 38 3 19-21 oWober 1981 28 4 18 - 20 oktober 1982 34 5 2 - 4 november 1982 16 6 15 -17 november 1983 33 7 8-10 maj 1984 34 8 9-10 lanuar 1965 27 9 5 • 7 november 1985 31 10 28 - 30 ianuar 1986 29 11 27-29mai 1986 26 12 13-15 ianuar 1987 22 13 10- 12lebruar 1987 28 14 19-21 mai 1987 23 15 20 - 23 oWober 1987 22 16 12-I4|anuaf 1988 21 17 7 - 9 mai 1988 21 18 18-20oklober 1988 26 19 i4-lStebruar 1989 22 20 6 - 8 lunii 1989 11 21 14 • IBrovember 1989 11 Preglednico, ki nam na svoj način daje sliko sedanjega stanja vakuumske tehnike v Sloveniji podajamo v nadaljevanju prispevka. Pri vsaki delovni organizaciji v oklepaju navajamo skupno število njenih udeležencev na tečajih, potem pa na kratko naštejemo njene dejavnosti, ki so kakorkoli vezane na vakuumsko tehniko. 1. Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko lEVT (91) - Izdelovanje vakuumske opreme: črpalke (rotacijske, difuzijske), ventili, merilniki vakuuma (Pirani, Penning, B. A. trioda), vakuumske spojke, vakuumski sistemi za srednji, visoki in ultra visoki vakuum, vakuumski aparati za medicino, avtomatizacija vakuumskih sistemov, spoji steklo - kovina, keramika -kovina in kovina - kovina - Uporaba in opravljanje storitev na področju vakuumskih tehnologij: naparevanje, naprševanje, žarjenje in spajkanje v zaščitni atmosteri ali vakuumu, gene-riranje in uporaba plazme, leak detekcija, varjenje kovin (TIG, mikroplazemsko, lasersko varjenje) - Analizne tehnike: elektronski mikroskop z EDX in WDX analizatorjem, spektroskopija Augerjevih elektronov (AES), atomska adsorbcija (AA) in plinska kromotogratija (GC) - Raziskave, razvoj in meritve optoelektronskih komponent (slikovni ojačevalniki, miniaturne katodne cevi) - Razvoj tankoplastnih senzorjev (vlage, temperature, pritiska) - Razvoj materialov in tehnologij za elektroniko in mi-kroelektroniko - Razvoj in proizvodnja hermetičnih miniaturnih profesionalnih relejev, kontaktnikov ter specialnih plinskih svetil - Zastopstvo inozemskih ivrdk Leybold in Jeol 2. Iskra Žarnice - Ljubljana (39) - črpanje balonov za različne žarnice (grobi in srednji vakuum) - polnenje in preplakovanje s plini - priprava mešanic plinov - razvojno delo, nove tehinologije tudi s področja vakuumske tehnike: naparevanje, naprševanje, meritve tlakov, leak detekcija, hermetični spoji (steklo-kovina .keramika-kovina) 3. Iskra Kondenzatorji-Semič (27) - naparevanje Al na lolije (10"® mbar) - impregnacija kondenzatorskih svitkov za specialne energetske izvedbe 4. Lek - Ljubljana (26) - grobi vakuum za poliranje, transport, destilacijo, eks-trakcijsko sušenje - vakuum v tehnologijah za izdelavo injekcij, sterilizacijske peči, molekularna destilacija - liofilizacija - uporabljajo črpalke z vodnim obročem in tudi ejektor-ske 5. Železarna - Jesenice (17) - vakuumiranje jeklenk za polnjenje s čistimi plini - pridobivanje tehničnih plinov - vakuum za toplotno izolacijo - vzdrževanje vakuumskih peči - priprava mešanic plinov s točnimi deleži sestavin - vakuumska metalurgija (grobi vakuum za ralinacijo jekel) 6. Saturnus Žarometi - Ljubljana (12) - naparevanje parabol za avtomobilske žaromete in druga svetila z Al ^ - nanašanje tekočega monomera (plašil) v plazmi - naparevanje končnega zaščitnega sloja SiO 7. Iskra Tela . Ljubljana (12) - prijemala za transport drobnih delov v avtomatiziranih napravah - razvoj proizvodnje hermetičnih relejev (testiranje tes-nosti) - potrebujejo analize površin v zvezi z razvojem različnih električnih kontaktov - zalivanje z masami (tuljave, transformatorji) 8- Iskra Mikroelektronika,- Ljubljana (11) - LPCVD, ionsko jedkanje, plazemski reaktorji, delo s silanom, naprševanje, ionska implantacija 9- Iskra Upori - Šentjernej (11) - naparevanje uporov (NiCr) - razvoji novih elementov in tehnologij (skupaj z IJS) - analize materialov 10. Metalna, Maribor (11) - vakuumska toplotna izolacija rezervoarjev za utekočinjene pline - izdelava elementov za vakuumske sisteme kot so spojke, prirobnice, ventili - razvoj kriostatov in velikih vakuumskih ventilov - varjeni vakuumskotesni spoji, leak detekcija, dewar posode - sodelovanje pri razvoju vakuumske ponovčne metalurgije 11. Iskra CEO, Center za elektrooptiko, Ljubljana (10) - naparevanje tankih optičnih plasti - specialne dewar posode za hlajenje detektorskega sistema pri termoviziji - tesnost posod pri izdelavi plinskih laserjev - vzdrževanje vakuumskih naprav za naparevanje 12. Iskra Telematika, Kranj (10) - proizvodnja hermetičnih kontaktnikov (polnenje s plinom, leak detekcija) - vakuum za prijemanje drobnih delov 13- Vozila Gorica, Nova Gorica (9) - vakuum za toplotno izolacijo prevoznih cistern za utekočinjene pline (superizolacija) - varjeni vakuumsko tesni spoji 14. Univerzitetni klinični center, Ljubljana (8) - naprave za vakuumsko sterilizacijo tkanin - centralni vakuum v stavbah - vakuumski aspiratorji za različne namene - vzdrževanje rentgenskih naprav 15. Iskra AET, Tolmin (8) - sušenje keramične mase v grobem vakuumu pri vlivanju v kalupe - razvoj metalizacije keramike (skupno z lEVT) za vakuumsko tesno spajkanje kovine s keramiko - meritve tesnosti metaliziranih spojev in keramike (poroznost) 16. Tovarna dušika, Ruše (8) - vzdrževanje industrijske vakuumske peči - vakuum za toplotno izolacijo (10 mbar) 17. Institut Jožef Stefan, Ljubljana (8) - uporaba vakuumskih sistemov pri pospeševalnikih, masnih spektrometrih - razvoji specialnih materialov (keramike, katode...) - vzdrževanje in uporaba vakumskih peči - analize površin in elektronski mikroskopi s pripadajočimi VV sistemi (Jeol, Philips) - generiranje plazme in poizkusi z njo - naprševanje in naparevanje trdih prevlek TiN - razvoj superprevodnih tankih plasti in tankih plasti za mikroelektroniko - magnetronsko naprševanje optičnih letev - epitaksija z molekularnim snopom 18. Iskra Kibernetika , Kranj (7) - zalivanje sestavnih delov za elektroniko z zalivno maso 19. Sava , Kranj (7) - grobi vakuum za transport, pakiranje, snemanje av-toplaščev (črpalke z vodnim obročem) - merjenje propustnosti avtoplaščev - brizganje gume v evakuirano orodje 20. Gorenje razvojni center, Titovo Velenje (7) 21. Rade Končar, Zagreb (6) 22. Fakulteta za strojništvo , Ljubljana (6) - razvoj sušenja granulatov plastičnih mas - merilniki tlakov in vakuuma - vakuum kot toplotni izolator - spoji steklo-kovina za sončne kolektorje - vakuumske črpalke kot del učne snovi - difuzijsko varjenje v vakuumu s tlačno silo - moderne tehnologije vezane na vakuum 23. Krka, Novo Mesto, (6) - grobi vakuum za razne destilacije,sušenje - liofilizacija - avtoklavi za sterilizacijo - transport granulatov in pakiranje tablet - laboratoriji, meritve, analize 24. Iskra SEM, Ljubljana (5) 25. Iskra polprevodniki, Trbovlje (5) - vlečenje Si monokristalov (grobi vakuum) - naprave za ionsko jedkanje - spajkanje v vakuumu 26. LEK, Mengeš (5) 27. TOK-tovarna kislin, Ilirska Bistrica (4) 28. Iskra kibernetika VEGA, Lj (4) - naparevanje Al (ogledala..,) - naparevanje tankih optičnih plasti - naparevanje antirelleksnih površin 29. LTH, Škof ja Loka (4) - vakuumiranje in polnjenje hladilnih agregatov z delovnim medijem - impregnacija, sušenje plastike, leak detekcija 30. Iskra magneti, Ljubljana (4) - vakuumske peči za sintranje - litje magnetov v vakuumu 31. ETA, Cerkno (4) - evakuiranje cevk za polnjenje kapilarnih termostatov z dilatacijsko tekočino - vakuumski sušilni sistemi 32. TEOL, Ljubljana (4) - destilacija, refluks 33- Iskra industrija za avtomatizacijo, Novo Mesto - grobi vakuum za impregnacijo 34. Gorenje GA, Titovo Velenje, (4) - evakuiranje hladilnih sistemov hladilnikov in zamrzovalnikov (grobi in sr.vakuum) pred polnjenjem z delovno tekočino - kontrola tesnosti s halogenskim leak-detektorjem 35- Gorenje Fecro, SI. Gradec, (3) - vakuumske črpalke (suhe z gralitnimi lopaticami) za molzne stroje) - stroji za vakuumsko pakiranje - vakuumske naprave za predelavo živil 36- Color, Medvode, (3) 37. Gorenje sen/is (TV ekrani), Titovo Velenje, (3) - evakuiranje hladilnih sistemov za polnjenje z delovno tekočino pri sen/isiranju hladilnikov in zmrzovalnikov - obnavljanje črnobelih in ban/nih TV cevi (licenčna tehnologija, tlaki v območju 10 vanje zato potrebnih naprav 38. Ei, Niš. (3) -7 mbar) in vzdrže- 39. Tovarna kemičnih izdelkov. Hrastnik, (3) 40. Cinkarna, Celje, (3) - vakuumska filtracija (grobi vakuum) 41- Iskra-Hipot, Šentjernej, (3) - vakuum za polnjenje ampul s tekočimi kristali - prijemala za "roke" avtomatov 42- Gorenje TGO, Titovo Velenje. (2) 43. Gorenje TGO-komp reso rji, Črnomelj, (2) 44. Iskra elektromotorji, Železniki, (2) 45. Riz-komel, Zagreb, (2) 46. Bayer-Pharma, Mengeš, (2) 47. Metalfiex, Tolmin. (2) 48. Univ. klinični center, Golnik, (2) 49. Iskra feriti, Ljubljana (3) - grobi vakuum (črpalke z vodnim obročem) za sušenje - mase pred sintranjem 50- Železarna Ravne, Ravne, (2) 51. Elektro medicina, Ljubljana, (2) 52- Iskra baterije Zmaj, Ljubljana, (2) 53. VTOZD Fiz. Kem., Ljubljana, (2) 54. Varnost Energoinvest, Zagorje, (2) 55. Samostojni poslušalci. (2) 56. IMP- črpalke, Ljubljana, (2) - razvoj vodnih črpalk - zastopstvo Alfa Laval 57. Iskra avtomatika TOZD R.I., Ljubljana, (2) 58. Energoinvest, Sarajevo, (2) 59. Iskra keramika, Ljubljana, (2) 60. Droga, Portorož, (3) - hladna sterilizacija živil - vakuumsko pakiranje 61. SŽ-Metalurški inštitut, Ljubljana, (2) - industrijska tehnologija izdelave različnih vrst jekel in nikljevih zlitin z dodelavo v vakuumu - laboratorijska izdelava zlitin s taljenjem v vakuumu - vakuuma toplotna obdelava jekel in različnih zlitin - razvoj pilotne proizvodnje zlitin za vakuumsko tesne spoje s steklom - vzdrževanje vakuumske opreme pri obstoječih vakuumskih pečeh 62. Mariborska livarna, Maribor, (2) - imajo veliko vakuumsko peč za vlivanje brona in bakra za pridobivanje kvalitetnih neporoznih ulitkov 63. Tomos. Koper, (2) - kontrola poroznosti Al ulitkov (posode ohišja..) z metodo vakuumiranja 64. Grahek-obrlnik, dekorativno naparevanje (2) 65. Karlovšek, Kranje-obrtnik, dekor, naparevanje (2) 66. Zlatorog, Maribor, (2) 67. Aero (kemija), Celje, (2) - grobi vakuum za transport papirja 68. Elektromotorji, Sp. Idrija, (1) 69. Julon, Ljubljana (1) 70- Hidromontaža, Maribor, (1) 71. Pinus, Rače, (1) 72- IMV - razvojni inštitut, Ljubljana, (1) 73. IMV, Novo Mesto, (1) 74. FNT Fizika, Ljubljana. (1) 75. Fructal Alko, Ljubljana, (1) 76. Tobačna tov. transport in pakiranje, Ljubljana, (1) 77. Atelje za zlatarstvo, Ljubljana, {1) 78. Iskra Avloelektrika, Šempeter, (1) 79. Vrabec Milivoj-obrtnik. (1) 80. Iskra RTC, Kranj, (1) 81. ČGP Delo, Ljubljana, (i) 82. Kern.institut B. Kidrič, Ljubljana, (1) 83. Sanolabor, Ljubljana, (i) 84. Belinka, Ljubljana, (1) 85. Litostroj, Ljubljana, (1) 86.TSN. Maribor, (1) 87. Iskra elektro mehanika, Kranj, (1) 88. Iskra tovarna stikal, Kranj, (1) 89. HP Talis, Maribor, (1) 90. Slovenijales razv. inštitut., Ljubljana, {1) 91.S0K0, Mostar, (1) 92. FNT Farmacija, Ljubljana, {1) 93. Biotehnična fakulteta, Ljubljana, (i) 94. Iskra tovarna vžigalnih naprav, Bovec, (i) - vakuumsko zalivanje tuljav (grobi vakuum) 95. Tovarna papirja in celuloze. Krško, (1) 96. Tovarna dokument, papir., Radeče, (1) 97. LIV, Postojna, (1) 98. Mihajlo Pupin, Beograd, (1) 99. INA, Reka. (1) - grobi vakuum za destilacijo olj 100- IMP Klima naprave, Ljubljana, (1) 101. Steklarna, Hrastnik, (1) 102. Center za trde prevleke, Domžale, (1) - oplemenitenje orodij s TiN trdimi prevlekami 103. Iskra elektro zveze, Ljubljana, (2) 104. SMELT, Ljubljana, (1) - vakuum in vakumske tehnologije za razne projekte 105. Alples, Železniki, (1) - vakuum za transport - vakuum za fiksiranje obdelovancev na strojih 106. HP Kolinska, Ljubljana, (1) - sušenje, liofilizacija, transport, vzdrževanje vak. naprav 107. ETOL, Celje, (1) - planirajo postaviti vakuumsko destilacijo 108. Veriga TlO, Lesce, (1) - razvoj (pnevmatskih) elementov za delovanje na podtlak oz. vakuum 109. IMPTOZDTAK. Ljubljana, (1) 110. IJS - Reaktor, (1) 111. Vadnjal Ivan, obrtnik, (1) 112. Mehanotehnika, Izola, (1) - vakuumsko pakiranje in vakuumsko oblikovanje plastičnih folij 113. Helios, Domžale, (i) - vakuum pri proizvodnji jedilnega olja 114. Elma - Energoinvest, Lj - Črnuče, (i) - impregniranje in sušenje visokonapetostnih transformatorjev (imajo LH napravo) 115. Institut črne metalurgije, Nikšič, (2) 116. Iplas, Koper. (1) 117. ABC Pomurka, Murska Sobota, (2) - pakiranje mesa v vrečke (črpalke z vodnim obročem) 118. Gorenje elektronika, Titovo Velenje, (1) 119. Energoinvest RO Merenje, regulacija i opravke, Sarajevo, (2) 120. Jugotanin, Sevnica, (1) - grobi vakuum (cca lOOmbar) izparilniki za sušenje taninske juhe - destilacija pri proizvodnji furfurola (membranske črpalke) 121. VITAL fabrika ulja, Titov Vrbas, (1) Zbral in pripravil A. Pregelj Priprave na XI. jugoslovanski vakuumski kongres -Hotel Špik - Gozd Martuljek 17. - 20. april 1990 Na 10- skupščini JUVAK-a, ki je bila 2.7,1986 v Beogradu je Dmštvo za vakuumsko tehniko Slovenije prevzelo organizacijo XI. jugoslovanskega vakuumskega kongre- sa. .Že v letu 1988 smo v DVT Slovenije oblikovali organizacijski odbor in pričeli s pn/imi pripravami na kongres. Za soorganizatorja kongresa smo si pridobili poleg Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko še SŽ -Metalurški inštitut iz Ljubljane, Raziskovalno skupnost Slovenije pa smo zaprosili za sofinanciranje. Kongres bo potekal v Hotelu Špik, ki se nahaja v lepem gorenjskem okolju v Gozdu Martuljku. Hotel ima profesionalno opremljeno dvorano namenjeno simpozijem in manjšim kongresom z največ 200 udeleženci ter primeren prostor za poster sekcijo in manjšo razstavo. Prvo obvestilo, ki je vsebovalo osnovne informacije v treh jezikih: slovenščini, srbohrvaščini in angleščini, smo razposlali koncem junija. Odziv je bil izreden. V mesecu dni se je preliminarno prijavilo okrog 100 vakuumistov iz Jugoslavije in okrog 35 iz tujine in sicer iz Avstrije, Madžarske, Češkoslovaške, Švice, Italije, Nemčije, Nizozemske, Sovjetske zveze in Indije. V drugem obvestilu, prav tako v treh jezikih, smo objavili povabilo k aktivnemu sodelovanju na kongresu - call for papers. Vsebovalo je še navodilo za izdelavo povzetkov, postrov in predavanj, registracijo, rezervacijo hotela, definitivno prijavo itd. Objavili smo pogoje za pridobitev Kansky-jeve nagrade. Podeljena bo prvič za najbolje ocenjen prispevek mladega jugoslovanskega avtorja. Do sredine decembra je prispelo 70 povzetkov iz Jugoslavije in tujine. Iz Srbije smo dobili le nekaj prispevkov. vendar upamo, da bo udeležba številnejša, saj imajo v tej republiki močan vakuumski center. Ponovno vabimo vse proizvajalce vakuumske opreme, da predstavijo manjše eksponate oziroma prospektni material na razstavi, ki bo v času kongresa. Cena razstavnega prostora je 500 DEM v dinarski protivrednosti. Vljudno vabimo tudi vse uporabnike vakuumskih tehnologij, da predstavijo svojo dejavnost v obliki reklamnega oglasa v Zborniku. Cena enostranskega oglasa je 600 DEM, polstranskega pa 450 DEM v dinarski protivrednosti. Podrobnejše informacije posreduje organizacijski odbor, ki ga čaka še naporno delo pri pripravi Zbornika kongresa, pri zagotavljanju finančnih sredstev in ne nazadnje pri končni organizaciji in izvedbi kongresa. M. Jenko Mednarodni simpozij o napravah za vakuumsko znanost in tehniko v Debrecenu na Madžarskem sem se v dneh od 9. do 11. oktobra 89 udeležil simpozija z zgornjim naslovom. Sodeloval sem s posterjem "Hermetic vessels for making vacuum tight joints in inert atmosphere or in vacuum". Udeležencev je bilo nekaj nad 100 iz naslednjih dežel: Avstrija, Danska, Francija, ZRN, DDR, Poljska, Bolgarija, Madžarska. ČSSR, ZDA, Nizozemska, Kitajska in Japonska. Sam sem bil edini predstavnik iz Jugoslavije. Istočasno s simpozijem je v isti stavbi potekal delovni sestanek strokovne komisije lUVSTA za tanke plasti in nekateri udeleženci te seje iz zahodnih držav so bili hkrati vabljeni predavatelji na simpoziju. Predavanja so potekala dopoldne in popoldne, vmes pa smo si lahko ogledali postre in manjše vakuumske naprave ter elemente v okviru vzporedne 3-dnevne razstave (Alcatel ,LH, Balzers, Tungsram, itd.). Simpozij je organizirala Madžarska akademija znanosti v sodelovanju z Institutom za jedrske raziskave "Atomki" v Debrecenu pod pokroviteljstvom lUVSTA in na željo akademij znanosti socialističnih držav. Namen simpozija je bil vzpostavitev stikov med znanstveniki, ki delajo na vakuumskem področju in strokovnjaki iz proizvodnje in razvoja vakuumskih naprav. Gostoljubni organizatorji so poleg strokovnega dela zelo lepo poskrbeli za udeležence. Imeli smo spoznavni večer, skupna kosila vse tri dni in drugi dan popoldne izlet v vinorodni Tokaj. Pogovarjal in spoznal sem se z več vakuumisti - predvsem iz vzhodnih držav in izvede! marsikaj zanimivega: - ČSSR je prva od vzhodnih držav, kjer razvijajo tur-bomolekularno črpalko. Narejene imajo že štiri prototipe z zračnim vležajenjem. Težave so še z gener- atorjem vrtljajev in pri tem sodelujejo z Leyboldom. Izdelujejo tudi difuzijske črpalke do velikosti sesalne odprtine cca 250 mm. Skoraj vsa njihova proizvodnja vakuumske opreme je v sklopu tovarn TESLA. Bolgari so v Debrecenu prikazali, kakšne vakuumske elemente in naprave znajo narediti v njihovi državi. Bili so to mlajši ljudje vezani na njihovo akademijo znanosti, ki se veliko ukvarjajo z visokim in ultravi-sokim vakuumom. Kot so pripovedovali, v njihovih tovarnah izdelujejo brezoljne rotacijske vakuumske črpalke z grafitnimi lopatkami (do 25m /h - prodaja v SSSR), merilnike pirani, sorpcijske in sublimacijske črpalke, razne ventile, brezoljne UVV sisteme, man-ipulatorje itd. Po licenci z Leyboldom proizvajajo tudi dvostopenjsko Gaedejevo črpalko. V Vzhodni Nemčiji sta dva večja vakuumska centra Berlin in Dresden. V prvem so akademija in inštituti, kjer se ukvarjajo z bazičnimi raziskavami (trdna snov, pospeševalniki, itd) in so v marsičem odvisni od vakuumske tehnike. Zelo dobro jo poznajo in marsikaj si tudi sami izdelajo. V Dresdenu pa je največ vakuumistov združenih v tovarni vakuumskih elementov in naprav "VEB - Hochvakuum Dresden". Eni in drugi so povezani v društvu Physikalische Gesel-Schaft, kije član lUVSTA. Poljake organizacijsko združuje vakuumski komite, strokovno pa morajo - sodeč po prospektih svojih izdelkov - imeti zelo močne ekipe vakuumistov. V razvojno raziskovalnem centru za vakuumsko elektroniko v Varšavi namreč izdelujejo: masne spektro- metre (kvadrupolne), SIMS - spektrometre, naprave za varjenje z elektronskim curkom (dva tipa), vakuumska stikala (6 tipov), fluorescentne digitalne displaye, matrične plazemske displaye, VV - visokonapetostne skoznike (keramika- -kovina), ionske puške, VV - manipulatorje, precizne dozirne ventile, različne črpalke itd. Sovjeti • bili so iz Leningrada - so se predstavili z največjimi eksponati na razstavi (nove konstrukcije kriosorpcijskih črpalk) in s prospekti vakuumskih elementov in naprav, ki jih izdelujejo v SZ. Škoda, da pravzaprav nihče od njih ni znal angleško in so zato ostajali v druščini vakuumistov precej osamljeni. Madžari imajo glavne vakuumske skupine v Budimpešti, Institut za tehnično fiziko in tovarna Tungsram ter v Debrecenu jedrski raziskovalni center ATOMKI. Del Tungsrama je tudi tovarna vakuumskih elementov in naprav ki ima precej povezav s francoskim Alcatelom. Center Atomki, ki si ga ogledali zadnji dan popoldne precej spominja na naš Inštitut Jožef Stefan, le da je še večji od njega. Pokazali so nam izdelavo kvadrupolnih masnih spektrometrov in analizatorja ESCA, mehansko delavnico in specialno varilnico, kjer izdelujejo vakuumske naprave, laboratorij za razvoj potrebne visoke elektronike itd. V centru imajo svoj ciklotron in VDG - pospeševalnike za študij jedrskih reakcij, trkov atomov oz. ionov in tehnik za kemično mikroanalizo. Specializirajo se za vakuumsko fiziko, analize plinov, razvijajo detektorje delcev ter analizne sisteme in tehnike. Imajo veliko knjižnico z veliko tuje literature, ter gradijo svoje plane na odprtosti in stikih z domačimi in mednarodnimi znanstvenimi institucijami, pri tem pa ne zapostavljajo sodelovanja z industrijo na ekonomski osno- vi. A. Pregelj lUVSTA - aktivnosti Mednarodna zveza za vakuumsko znanost, tehniko in aplikacije (lUVSTA) je imela ob priliki 11. mednarodne vakuumske konference v Kolnu 60. in 61. sejo Izvršilnega odbora in 10. sejo Generalne skupščine. V nadaljevanju so navedeni najpomenejši sklepi in informacije s posameznih sej. 60. Seja Izvršilnega odbora lUVSTA - lUVSTA je odobrila sponzorstvo za 10. Mednarodno konferenco o vakuumski metalurgiji, ki bo od 11. -15. junija 1990 v Beijingu na Kitajskem. - Avstralijo bo v lUVSTA zastopala Avstralska vakuumska zveza, ki jo je do sedaj zastopalo Avstralsko društvo za fiziko. - Vlogo za članstvo v lUVSTA je oddala Sovjetska zveza vendar prepozno, da bi jo lahko obravnavali in sprejeli že na 10. Generalni skupščini, ki je bila 27.09.1989 tudi v Kolnu. Zato bo Sovjetska zveza v naslednjem obdobju član lUVSTA, ki pa ne bo imela pravice glasovanja. Želijo imeti 15 volilnih glasov. - Prof. Hangevoss je podal blagajniško poročilo iz katerega je razvidno, da bo v triletnem obdobju 86-89, do konca leta 1989, znašal prihodek lUVSTA 281.198 SFR. - Članarina Jugoslavije (240 SFR) do te seje še ni bila poravnana. Zamuda se pojavlja že drugo leto zapored. Na sami seji mi je vedno zelo neprijetno razlagati, da t» članarina poravnana, zato ponovno prosim RSS, da to obveznost v prihodnje pravočasno poravna. - V letu 1990 bodo sekcije lUVSTA organizirala dva seminarja (workshop): za področje polprevodniških materialov, od 4, -10. februarja v Avstriji. Sekcija za uporabno površinsko analizo pa bo v novembru 1990 organizirala seminar o analizi površin in faznih mej z visoko ločljivostnimi metodami. - Naslednja, 62. seja lO lUVSTA bo predvidoma od 16. -18. marca 1990 v Dresdenu. DDR. 10. Generalna skupščina lUVSTA - Jugoslavijo je na tej seji zastopala tričlanska delegacija, vodja dr. A. Zalar, ter člana dr. M. Jenko in A. Banovec (namesto mag. H. Zorca). - V lUVSTA sta bila kot polnopravna člana sprejeta Poljska in Portugalska. Sedaj je v lUVSTA 26 držav - Ratificirana je bila Sekcija za uporabno analizo površin. - Predlagana je bila ustanovitev novega komiteja za koordinacijo med lUVSTA in drugimi organizacijami, s katerimi bomo sodelovali, v prvem obdobju predvsem z ICTP, Trst, kasneje pa tudi z drugimi. - Na seji generalne skupščine so podali poročila za obdobje od 1.1986 do 1989 vsi predsedniki komitejev in sekcij ter blagajnik. - 0 11. Mednarodni vakuumski konferenci v Kolnu je poročal W. Bächler. Sprejetih je bilo 987 prispevkov, od tega je bilo 100 vabljenih predavateljev, vseh udeležencev skupaj pa do predzadnjega dne 1460. Okrog 60 razstavljalcev je razstavljalo na površini 1600 m^. - 12- Mednarodna vakuumska konferenca bo od 12. -16- oktobra, 1.1992 v Haagu na Nizozemskem. Naslednja 13. tovrstna konferenca pa 1.1995 na Japonskem. - V naslednjem triletnem obdobju od 1989 do 1992 so novi funkcionarji; predsednik J. L. de Segovia (Španija), naslednji predsednik, T. E. Madey (ZDA), bivši predsednik H. Jahrreiss (ZRN), generalni sekretar J. Collingon (Velika Britanija), blagajnik J. Hengevoss (Švica), direktor znanstveno-tehničnega direktorija T. van Oostrom (Nizozemska), sekretar znanstveno- tehničnega direklorija P. S. Woodruff {Velika Britanija) in zapisnikar H. Leck (Velika Britanija). - Prof. E. Thomas, eden od ustanovileIjev lUVSTA je postal njen častni predsednik. - Člani izvršnega odbora lUVSTA, ki jim je potekla mandatna doba , so dobili pisna priznanja. 61. Seja Izvršnega odbora lUVSTA - Na seji so prisostvovali novo imenovani člani 10 lUVSTA za obdobje 1989 -1992. - Nizozemski organizatorji so predstavili kongresni centerv Haagu, kjer bo 12. mednarodna vakuumska konferenca. - Potrjen je bil program dela znanstveno - tehničnega direktorja za otxlobje 1989 - 1992 in finančni načrt lUVSTA. - Dogovorjeno je bilo da bo 63. seja 10 lUVSTA v Salamanci. Špani;:;, v : V naslednjem Vakuumistu bomo objavili države-članice lUVSTA in člane Izvršnega odbotd iUVSTA. Članstvo DVTS v letu 1989 Za člane DVTS v letu 1989 smo šteli vse vakuumisle, ki so do 15.12.1989 plačali članarino, ki je za leto 1989 znašala 10.000 din. V nadaljevanju podajamo abecedni spisek iz članske knjige: 1. Prof- dr. Amon Slavko, dipl. inž. 2. Arsenijevič Branko 3. Babnik Nada, dipl. inž. 4. Banovec Andrej, dipl. inž. 5. Mag. Belič Lidija, dipl. inž. 6. Dr. Bezič Niko, dip inž. 7. Boban Anton 8. Prof. Bošan Dorde, dipl. inž. 9. Brecelj France, dipl. inž. 10. Breskvar Bojan, dipl. inž. 11. Bricelj Erika, dipl. inž. 12- Cvitovac Damir 13. Čok Nevenka 14. Prof. Čajkovski Dimitrije, dipl. inž. 15. Dr. Dobršek Mirko, dipl. inž. 16. Drab Marjan, dipl. inž. 17. Eberlino Slavko 18. Erjavec Bojan, dipl. inž. 19. Erjavec Boris, dipl. inž 20. Elektromedicina Ljubljana 21- Reko Marjan 22- Prof. dr. Furlan Jože, dipl. inž. 23. Grahek Borut, dipl. inž- 24- Grum Andrej, dipl. inž. 25. Dr. Gspan Primož, dipl. inž. 26. Prof. dr. Hlebanja Jože, dipl. in 27. Hočevar Stanko, dipl. inž. 28. Hozjan Jože, dipl. inž. 29. Hrastar Zvone, dipl. inž. 30. Hribernik Ivan. dipl. inž. 31. Ilnikar Matjaž 32. Institut Boris Kidrič Vinča 33. Iskra Elementi SEM Ljubljana 34. Jančar Rudi 35. Mag. Jenko Bojan, dipl. inž. 36. Dr. Jenko Monika, dipl. inž. 38. Dr. Jurca Stane, dipl. inž. 39- Juren Jure. dipl. inž. 40. Mag. Kaker Henrik, dipl. inž. 41. Kambič Anton 42. Keber Alojzij, dipl. inž. 43. Kern Marija, dipl. inž. 44. Knoll Milena, dipl. inž. 45. Kočevar Miroslav, inž. 46. Kokole Janko, dipl. inž. 47. Kolar Marina 48. Koller Lidija, dipl. inž. 49. dr. Kosec Marija, dipl. inž. 50. Koseij Sonja 51. Kovač Štefan, dipl. inž. 52. Kralj Marko, dipl. inž. 53. Kranjc Breda 54. Prof. dr. Križman Alojz, dipl. inž. 55. Prof. dr. Kurepa Milan, dipl. inž. 56. Lor Edi 57. Malenšek Zlatan, dipl. inž. 58. Prof. dr. Marinkovič Velibor, dipl. inž. 59. Miklavž Branko 60. Mozetič Miran, dipl. inž. 61. Mag. Murko - Jezovšek Melita, dipl. inž. 62. Nemanič Vinko, dipl. inž. 63. Nimac Branko 64. Paradiž Boštjan, dipl. inž. 65. Pavli Peter, dipl. inž. 66. Prof. dr. Paulin Alojzij, dipl. inž. 67. Perdih Nada, dipl. inž. 68. Dr. Perman Eva, dipl. inž. 69. Prof. dr. Perovič Brana, dipl. inž. 70. Pesjak Marjan 71. Pelerca Franc 72. Pezdirc Pavle 73. Pipan Ludvik 74. Pire Slavko, dipl. inž. 75. Planine Jože 76. Podgornik Bogdan 77. mag. Povh Bojan, dipl. inž. 78. Požun Karol, dipl. inž. 79. Praček Borut, dipl. inž. 80. Preglej Andrej, dipl. inž. 81. Dr, Prešeren Vasilij, dipl. inž. 82. Pribošek Marko, inž. 83. Prijatelj Marko 84. Prof, dr, Prosene Viktor, dipl. inž. 85. Railič Drago, dipl, inž, 86. Mag, Razinger Jošt, dipl, inž, 87. Rebec Vinko 88. Dr, Ročak Rudi, dipl, inž. 89. Rovšnik Damijana 90. Rozman Daniel 91. Salam Sejjad, dipl, inž, 92. Spruk Sonja, dipl, inž, 93. Stariha Borut, dipl, inž, 94. Stariha Frane 95. Stepan Janez 96, Stopar Stanislav, dipl. inž. 97, Šetina Janez, dipl. inž. 98, Šifrer Janko 99, Škofie Vida 100- Štamcar Helena 101 - Štemberger Franc 102. Šurk Slane 103. Švajger Ana, dipl. inž. 104.Taniegel Branko, dipl. inž. 105. Tašner Stojan 106. Terpin Robert, dipl. inž. 107. Trček Matija, dipl. inž. 108. prof. dr. Trontelj Lojze, dipl. inž. 109. Vardjan Vito, dipl. inž. 110. Virant Alojz 111. Dr. Vretenar Peter, dipl. inž. 112. Wagner Bernarda, dipl. inž. 113. Dr. Zalar Anton, dipl. inž. 114. Zavašnik Rastislav, dipl. inž. 115. Zupan Klementina, dipl. inž. 116- Zupančič Beno 117. Žižek Slavko, dipl. inž. 118. Žumer Marko, dipl. inž, 119. Župane Lea, dipl. inž. KOLEDAR 4, - 10. FEBRUAR 1990; Konferenca lUVSTA o mikroskopskih procesih nukleacije in rasti na površini polprevodnikov; Ober-traun, Avstrija; informacije: J. E. Greene, CSL, University of Klinots, 1101 W, Springfield Avenue, Urbana, II 61801, USA, fax (217) 244-1764 ali M. Henzier, Institute für Festkörperphysik, Appelstr. 2. 300 Hannover 1. West Germany, tax 0-511 •762-3456 1.-7. APRIL 1990:1. mednarodna konferenca o epilaksijski rasti kristalov, Budimpešta, Madžarska. Informacije: E. Lendvay, Res. Inst. for Technical Phys. Hungarian Acad of Sei, Ujpesi 1. Pf. 76 Budapest, Hungary_ 2. - 6. APRIL 1990: 6, mednarodna konferenca o lanklh plasteh ICTF - 6 in 17. mednarodna Konferenca o metalurških prevlekah ICMC -17, San Dlego, Kalifornija, ZDA. Informacije: J. E. Greene, Material Sciences, C.S.L. Univ. of Illinois, 1101 W. Springfield Ave. Urbana IL 61801 USA_ 10. - 12. APRIL 1990: 2. konferenca o novih materialih In njih uporabi, Warwick, Anglija_ 17.-20. APRIL 1990:11. jugoslovanski vakuumski kongres. Gozd Marluljek, Holel Špik, Informacije: OVT Slovenije_ 20. - 25. MAJ 1990: 9, Konferenca o inierakciji plazme s površinami, Bournemouth, Velika Brilanlja. Informacije: J.H.C. Ma-ple, JET Joint Undertaking, Abingdon, U.K. - Oxon OX 14 3EA 21. • 26. MAJ 1990: 2. evropska vakuumska konferenca (EVC-2), Trst, Italija, lokalni organizatorje Italijansko vakuumsko društvo, uradni jezik bo angleški. Informacije: DVTSlovenije_ 11.-16. JUNIJ 1990: 2, evropska konferenca o pospeševalnikih za delce; Nlca, Francija; informacije: P. Madrillon, Centre Antoine, Lacassagne, 36. Vole Romaine, F-050S4 Nice, Cedex, France 11.-13. JUNIJ 1990:5. mednarodna konferenca o elekiroluminis- cenci, Helsinki. Finska; informacije: prof. Markku Leskela, Depl. of Chemical Engineering, Helsinki Univ. of Techn., Kemislintie 1,, SF-021SO Espoo, Finland_ 13. • 15. JUNIJ 1990: 1. mednarodni simpozij o "Atomic Layer Epitaxy"; Helsinki, Finska; informacije: prof. Markku Leskela, Helsinki Univ. of Tech., Depl, of Chemical Engineering Kemistln-lie 1, SF-02150 Espoo, Finland_ 19. • 23, JUNIJ 1990: CEI • Europe tečaj o sodobnih VLSI • tehnologijah, Davos, Švica; informacije: dr. Birgit Jacobson, PO Box 910, S-61201 Finspong. Sweden_ 25, • 29. JUNIJ 1990:17, evropska konferenca o kontrolirani fuzljl In segrevanju s plazmo, Amsterdam, Nizozemska_ 27, - 28, JUNIJ 1990: Kanadska konferenca o inženirskem izo-braževanju; Toronto, Kanada_ 26,-30, JUNIJ 1990 - 9. mednarodna konferenca o analizah z Ionskimi curki (IBA-9), Kingslon, Kanada_ 9. • 12. JULIJ 1990:3, mednarodna konferenca o struklurl površin (ICSOS], Shangahai, Kitajska. Informacije: M,A. Van Howe, MCSD 66-428, Lawrence Barkeley Lab., USA • Berkeley, CA 94720 16. - 19. JULIJ 1990: Mednarodna konferenca o mikroprocesih EMPD: Makuhari, Chiba, Japonska_ 23. • 27, JULIJ 1990: Mednarodna Konferenca o STM (Scanning Tunneling Microscopy) ter o "nano" - znanosti in o "nano" -tehnologijah; Ballimore, Maryland, ZDA_ 24,-26, JULIJ 1990: 2, mednarodna konferenca o vakumski mikroelektroniki, Bath, Anglija: Informacije: Meetings Officer, The Institule of Physics, 47 Beigrave Square, London SWIXeOX, UK UK 29. JULIJ • 3. AVGUST 1990: 37. mednarodni simpozij o poljski emisiji; Albuquerque, ZDA_ 30. JULIJ-2.AVGUST 1990: 8. mednarodna i(onferenca o teiino-logijl Ionske implantacije (IIT-90); Guilford Anglija_ 13. - 17. AVGUST 1990: 5, mednarodna konferenca o trdnih plasteh In površinah; Rhode Island, ZDA_ 7. • 11. AVGUST 1990: 13, mednarodna konferenca o atomskih trkih v trdni snovi, Aarhus, Danska. Informacije: Susann ToldI, Institute of Physics, Aarhus University, DK-8000 Aarhus C, Denmark_ 16.-23. AVGUST 1990:19.mednarodna konferenca o fiziki nizkih temperatur. Brighton. Anglija_ 27.- 31. AVGUST 1990: 6. mednarodna konferenca o M BE (Mole-cular beam Epitaxy); San Diego, California, ZDA_ 3. • 7. SEPTEMBER 1990: H.simpozij o kinetikl plinov Assisi, Kalija. Informacije: VIncenzo Aquiianti, Dipto. di Chimica deli Universita, I • 06100 Perugia, llalia_ 10.-13. SEPTEMBER 1990: Evropska konferenca o raziskavah za elemente in naprave na osnovi trdne snovi (ESSDERC-90); Not-tlngham, Anglija_ 10, -14. SEPTEMBER 1990:6.mednarodna konferenca o nihanjih na površinah. Long Island, New York, ZDA_ 17.-19. SEPTEMBER 1990: Mednarodna Konferenca o materialih za elektroniko; New Yersey, ZDA_ 24. - 27. SEPTEMBER 1990: Evropska konferenca o galljevem arzenidu, St. Heller, Jersey. Channel Islands, Anglija_ 25.-30. SEPTEMBER 1990:1. mednarodna konferenca o epltak-sljski rasti kristalov, Budimpešta, Madžarska. Informacije: E. Lendavy, Research Institute for Technical Physics. Hungarian Academy of Sciences, Ujpest 1, p,f. 76, H-132S Budapest, Hun- ä2ü!_ 1. - 5. OKTOBER 1990: 11.evropska konferenca o znanosti površin (ECOSS • 11), Salamanca, Španija. Informacije: Jose L. de Segovia, Lab. de Fisica de Superficies, Inst, de Clenica de Materiales, Serrano 144, E - 28006 Madrid (Spain)_ 1. - S. OKTOBER 1990: 5.simpozij o fiziki površin, Libilice, Češkoslovaška. Informacije: Jan Koukal, Inst. of Physics, ČSSR Acad. Sei., Na Slovance, CS - IBO 40 Praha 8, ČSSR_ 8, -12. OKTOBER 1990: 37. nacionalni simpozij AVS (American vacuum Society; Toronto, Kanada_ 13. • 16. NOVEMBER 1990: 6. mednarodna konferenca o kvantitativnih analizah površin (ASSD); London, Anglija; informacije: M. P. Seah, Chairman, Div, of Material Applicalions, National Physical Laboratory, Teddinton, Middlesex, TW 11, OLW, UK 1991_ 14-16, MAJ 1991:5. mednarodna razstava in kongres o senzorjih in sistemski tehnologiji: SENSOR 91, Nuremberg, ZRN. Informacije: ACS Organisation GmbH - von Münchhausen Strasse 29, D-3050 Wunstorf 2, BRD_ 3. - 7. JUNIJ 1991:18.evropska konferenca o kontrolirani fuziji In segrevanju s plazmo, Berlin, ZRN_ 24, -30. JULIJ 1991:17.mednarodna konferenca o fiziki elektronskih In atomskih trkov (ICPEAC), Brisbane, Avstralija. Informacije: W.R. Newell, Dept. of Physics, Univ. College of London, Gower Street, U.K.. London WC 1E 6BT_ 26. • 30, AVGUST 1991: 12.mednarodna konferenca o masni spektroskopiji, Amsterdam, Nizozemska. Informacije: RAI Or-ganlsatle Bureau Amsterdam, Europaplein 12, NL - 1078 GZ Amsterdam_ 1.-7. SEPTEMBER 1991: Mednarodna konferenca o magnetizmu, Edlnburg, Anglija_ 17. - 19. SEPTEMBER 1991: Fizika za industrijo in Industrija za fiziko. Krakow, Poljska_ 24. • 27. SEPTEMBER 1991: Evropska konferenca o galljevem arzenidu, St. Heller, Jersey, Anglija_ 14,-18, OKTOBER 1991: 4. evropska konferenca o uporabi melod za analizo površin in faznih mej (ECASIA-91); Budimpešta, Madžarska. Informacije: L. Kover, MTA ATOMKI, H-4001 De-brecen, p.f. 51, Hungary_ JESENI 1991: 5. združena konferenca vakuumislov Avstrije, Madžarske In Jugoslavije, v Avstriji, združena z EVC-3_ 12, -16. OKTOBER 1992: 12.mednarodni vakuumski kongres in 8. mednarodno konferenco o površinah trdnih snovi (lUVSTA), The Hague, Nizozemska - Informacije: Dr. Anthony J. Van Oostrom, Philips Research Laboratories, P.O.B. 80000. 5600 J.E. Eindhoven. The Netherlands_ POLET11993: l2.jugoslovanski vakuumski kongres, v BiH ali na Hrvatskem DROBNE NOVICE * DROBNE NOVICE * DROBNE NOVICE' DROBNE NOVICE* VAKUUM V TRŽAŠKEM SINHROTRONU V Padričah pri Trstu bodo gradili sinhrotron. Te naprave so bile prvotno namenjene fiziki osnovnih delcev. Slučajno pa so odkrili, da električno nabit delec, kjer je magnetno polje, spremeni smer svoje poti in pri tem sprošča energijo v obliki elektromagnetnega valovanja. ELETTRA, kot se imenuje bodoči tržaški sinhrotron. bo naprava tretje generacije, lorej bo služila za sevanje, ki bo imelo zelo veliko svetlost in jakost in bo segalo od ultravijolične do rentgenske svetlobe. Zaradi tega bo imel tudi večje število (24) uklonskih magnetov, od koder bodo speljani žarki do eksperimentalnih postaj. Tudi sam shranjevalni obroč za elektrone bo velikih dimen-zij,dolg bo 259 m, presek cevi pa bo približno 30 - 40 cm . Ker se pričakuje (zaradi predvidenih eksperimentov), da bo življenjska doba žarka 10 ur, bo potrebno vzdrževati v cevi vakuum 10'® mbar, V ta namen bo vakuumski sistem zgrajen iz nerjavečega jekla (manjša desorbcija in možnost pregrevanja). To prilično veliko prostornino bodo črpale zelo zmogljive ionske črpalke (24 kos po 400 l/s, 24 kos po 230 l/s in 84 kos po 120 l/s) s celotno črpalno hitrostjo 25000 l/s. Vakuumski sistem bo vseboval tudi 24 getrov NEG (nonevaporable getter) v obliki trakov dolžine 1,5 m, kateri bodo postavljeni v področju največje desorbcije plinov, to je v področju magnetov. Radiacijska moč bo tu tolikšna, da bo potrebno stene v bližini odcepa (v razdalji cca 1 m) hladiti z vodo. M. Tasevski MAGNETNO VLEZAJENJE TURBOMOLEKULARNIH ČRPALK Vsako mehansko viežajenje, ki mora biti mazano, ima v visokovakuumskem sistemu za posledico pojav ogljikovodikov v residualni atmosferi. Zato je razumljiva težnja po uvedbi lebdečega vležajenja, ki je boljše tudi glede na vibracije in obrabo, hkrati pa odpadejo stroški z mazivi. Največja^ ovira za širšo uvedbo magnetnih ležajev je cena. Črpalke s temi ležaji so namreč 2 do 2,5-krat dražje od takih s klasičnimi krogličnimi ležaji. Da zagotovimo stabilno nošenje rotorja turbočrpalke, ki se vrti s hitrostjo tudi do cca 80 000 min {odvisno od velikosti premera), je potrebno obvladovati nastopajoče sile (sl.l) v petih prostorskih smereh (pet prostostnih stopenj). V vseh teh smereh je nujna kontinuirna električna kontrola, sicer se nošeni del prej alt slej premakne iz središčne lege. Praktično imamo na razpolago stopnje prostosti \ Av \ v '-. / _\J i ^ Stika 1 aktivno viežajenje elektrcoHK-netni jarem senzor za diatanco pasivno viežajenje [.'IfiWi to-— gn:-- a: Slika 3: Obroči iz permanentnih magnetov so lahko na več načinov kombinirani v ležajne pare. Puščice kažejo, kako so obroči magnetizirani permanentne - in elektro - magnete. Z njimi lahko konstruiramo pasivno in aktivno viežajenje neke gredi (si.2). Pasivna izvedba - samo s permanentnimi magneti -omogoča samodejno centriranje osi v radialni smeri, ne pa tudi v aksialni, V primeru motenjskih sil se torej os z magnetnim obročem nasloni aksialno na enega od magnetnih obročev statorja. Aktivno magnetno viežajenje pa se sestoji iz sistema tuljav in distančnih senzorjev, Z njimi je možno izvesti popolno samoregulacijo centriranja v vseh smereh. Taki sistemi so dandanes že dobavljivi, vendar so dragi in odpovedo, če zmanjka elektrike. Zato poizkušajo (v razvojnih laboratorijih) najti rešitve samo s permanentnimi magneti. Različno oblikovane in različno namagnetene ležajne obroče (sl-3) se lahko kombinira tudi z vložki iz feromagnetnih materialov. Po R&D reviji, sept. 89 pripravil A.P. NOV SISTEM ZA METALIZACIJO "COMPACT DISC (CD) - PLOŠČ" Firma Balzers, ki je prva pričela proizvajati sisteme za visokoproduktivno nanašanje plasti aluminija na CD-plošče, je razvila dva nova koncepta proizvodne linije: CD/800 in GD/830. Naprava CD/800 omogoča izdelavo "spominskih" diskov do