Na osnovi rezultatov energijske in masne spektroskopije smo ugotovili, da je možno v triodnem depozicijskem sistemu BAI 730 M z nizkonapetostnim lokom s kombinacijo elektrod in tuljav na način, ki formira šibko zrcalno magnetno posodo, zelo efektivno ionizirati plin in izparevati kovine. Rezultati kažejo,da 95% ionskega toka predstavljajo dvakrat nabiti ioni ?$Ti^{++}$? , ki bombardirajo površino podlag z energijo 90-120 eV. Ostanek (=5%) so enkrat nabiti ioni ?$Ti^+$? z energijo od 45-60 eV, medtem ko je delež trikrat trikrat nabitih ionov ?$Ti^{3+}$? energijo preko 135 eV okrog 0,1%.
Nadaljuje se kot: Materiali in tehnologije

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-1J3M7R31

COBISSID

95146

Objavljeno

13.05.2010

Metapodatki

Citiranje

APA:

Maček, Marijan, Navinšek, Boris, Panjan, Peter, Kadlec, Stanislav (1998). Energy and mass distributions of ions during depostition! of TiN by triode ion plating in BAI 730 M. Kovine zlitine tehnologije, letnik 32, številka 6, str. 561-565. URN:NBN:SI:DOC-1J3M7R31 from http://www.dlib.si

MLA:

Maček, Marijan, Navinšek, Boris, Panjan, Peter, Kadlec, Stanislav. "Energy and mass distributions of ions during depostition! of TiN by triode ion plating in BAI 730 M." Kovine zlitine tehnologije letnik 32. številka 6 (1998) str. 561-565.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-1J3M7R31>

Kovine zlitine tehnologije
1992-1999
(Zbirni zapis)

Energy and mass distributions of ions during depostition! of TiN by triode ion plating in BAI 730 MEnergijske in masne porazdelitve ionov med depozicijo TiN v triodnem sistemu BAI 730 M

Energy and mass distributions of ions during depostition! of TiN by triode ion plating in BAI 730 M
Energijske in masne porazdelitve ionov med depozicijo TiN v triodnem sistemu BAI 730 M