Karakterizacija keramičnih tankih plasti z vrstično elektronsko mikroskopijo
Characterization of ceramic thin films by scanning electron microscopy

slovenski

2000

letnik 34, številka 5

keramika    elektronska mikroskopija   tanke plasti

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

V prispevku smo opisali postopek analize površin in prelomov keramičnih tankih plasti z vrstično elektronsko mikroskopijo (SEM). Pogoji dela z elektronskim mikroskopom so bili optimizirani za visoko ločljivost in povečave reda velikosti do 100000-krat. Tanke plasti Pb(Zr,Ti)?$O_3$? in PbZr?$O_3$? so bile sintetizirane po postopku sol-gel in nanesene na različne platinizirane Si-podlage z metodo vrtenja. V odvisnosti od podlage, števila nanosov in procesnih parametrov se je spreminjala debelina (0,3 do 2 mm), velikost zrn in morfologija površine nanesene plasti. Fotografije površin in prelomov vzorcev so bile posnete s sekundarnimi elektroni. Z ustreznim načinom fotografiranja smo zmanjšali vpliv kontaminacije površine vzorcev, ki je nastala zaradi lokalnega segrevanja majhnega področja opazovanja pri visokih povečavah in močno vplivala na kontrast in razmerje signal/šum na sliki. Pri visokih povečavah smo lahko opazovali na površini tankih plasti zrna velikosti nekaj deset nanometrov. Slike prelomov vzorcev so jasno pokazale večplastno strukturo in morfologijo zrn v posameznih plasteh.

16.09.2009