Pri kapacitivnem senzorju vlage sta nekaj sto nanometrov debeli plasti No-Cr elektrodi kondenzatorja. Elektrodi morata biti električno prevodni, imeti morata majhne notranje napetosti in zadostno elastičnost, da pri nasičenju dielektrika z vodno paro ne pride do porušitve spoja Ni-Cr plasti in dielektrika. Zgornja elektroda mora biti prepustna za vodno paro. Prepustnost elektrode dosežemo z naparevanjem pod kotom. Kot naparjevanja je definiran kot kot med normalama podlage in uporove ladjice. V delu je podan študij plasti Ni-Cr z analizo TEM, AFM in AES. Tanka plast Ni-Cr je zaradi različnih parnih tlakov Ni in Cr med nanašanjem zelo nehomogena. Spreminja se sestava, prevodnost in morfologija. Plast, ki je naparjena pri kotu 0°, je razpokana, pri kotu 75° pa ima usmerjeno stebričasto strukturo, ki kompenzira napetosti.

Pravice

URN

URN:NBN:SI:DOC-XZRLMU0Q

COBISS ID

12643111

Objavljeno

22.07.2011

Metapodatki

Citiranje

APA:

Irmančnik-Belič, Lidija, Remškar, Maja, Požun, Karol (1997). Študij Ni-Cr tankih plasti z elektronsko mikroskopijo, letnik 31, številka 1/2. URN:NBN:SI:DOC-XZRLMU0Q from http://www.dlib.si

MLA:

Irmančnik-Belič, Lidija, Remškar, Maja, Požun, Karol. Študij Ni-Cr tankih plasti z elektronsko mikroskopijo. Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
Železarna Jesenice
Železarna Ravne
Železarna Štore, 1997.
<http://www.dlib.si/?URN=URN:NBN:SI:DOC-XZRLMU0Q>

Kovine zlitine tehnologije
1992-1999
(Zbirni zapis)

Študij Ni-Cr tankih plasti z elektronsko mikroskopijoStudy of Ni-Cr thin films by electron microscopy

Študij Ni-Cr tankih plasti z elektronsko mikroskopijo
Study of Ni-Cr thin films by electron microscopy