Optični emisijski spektri RF-kisikove plazme

slovenski

2004

letnik 38, številka 1/2

kisikova plazma   optična emisijska spektroskopija

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije
(Obvezni izvod spletne publikacije)

Opazovali smo sevanje kisikove plazme v optičnem območju. Plazmo smo vzbujali z induktivno vezanim RF-generatorjem (RIZ SW-amp.) s frekvenco 13,56 MHz in izstopno močjo 120 W v stekleni cevi z notranjim premerom 36 mm. Cev smo črpali z dvostopenjsko rotacijsko/Rootsovo črpalko. Delovni tlak kisika je bil 20 Pa. Spekter, ki ga seva plazma pri tem, smo merili s 60 cm optičnim emisijskim spektrometrom MDR23-Lomo. V optičnem delu spektra (med 400 nm in 800 nm) smo opazili visoko vzbujena molekulska in atomska stanja z vzbuditveno energijo okrog 15 eV. Najizrazitejša črta je bila pri valovni dolžini 777,4 nm, ki ustreza prehodu atomov iz stanja 3pna5P v 3sna5S, torej znotraj 2. vzbujenega stanja atomov. V spektru so bili opazni tudi molekularni prehodi v prvem negativnem sistemu ioniziranih kisikovih molekul. Ker je energijska porazdelitev elektronov v plazmi približno maxwellska s povprečno energijo komaj okoli 5 eV, je direktna vzbuditev pri trku elektrona z molekulo v osnovnem stanju malo verjetna. Opažene spektre smo zato razložili z večstopenjskim vzbujanjem.

16.09.2009