Prve raziskave, razvoj in uporaba vakuumskih tankih plasti so se začele na Inštitutu za elektroniko in vakuumsko tehniko v Ljubljani takoj po ustanovitvi, okrog leta 1950. Z razvojem miniaturnega tankoplastnega potenciometra MP in stabilnih tankoplastnih miniaturnih uporov se je pričela na IEVT tudi nova proizvodnja tankoplastnih elektronskih komponent v takratni Jugoslaviji. Tehnologija izdelave MP je bila uspešno prenesena v novo ustanovljeno slovensko zamejsko tovarno v Krminu v Italiji. Obenem pa so se vršile raziskave in razvoj specialnih fotoelektronk, Sb fotokatod druge in tretje generacije za slikovne ojačevalnike z bližinskim prenosom slike, ki je predstavljal "high-tech" v svetovnem merilu. Vakuumisti IEVT so s svojim znanjem sodelovali v svetovno znanih institucijah kot npr.: SAES Geters, Heimann, Leybold Heraeus. Skupne rezultate so že takrat objavili v tuji znanstveni periodiki. Z raziskavami vakuumskih tankih plasti se je na IEVT intenzivno ukvarjal tudi prof. dr. Jože Gasperič, ki je problematiko kermetnih napršenih plasti obdelal v svojem magistrskem in nato še v doktorskem delu. Njegova temeljna spoznanja so pomembno prispevala k razumevanju mehanizma rasti tankih napršenih plasti. Z izgradnjo eksperimentalnega ultravisoko vakuumskega sistema, opremljenega s spektrometrom Augerjevih elektronov na IEVT v sredini osemdesetih let pa je bila dana možnost raziskav fizikalno kemijskih procesov pri nastanku ultra tankih oksidnih plasti na površini tekočih kovin in zlitin "in situ". Tovrstne raziskave so bile izvedene prvič. Načrtovana in osvojena je bila nova eksperimentalna metoda, ki je omogočila študij začetnih stopenj rasti oksidnih plasti na tekočem indiju, ki smo ga tudi napaarili in situ v spektrometru Augerjevih elektronov. Metoda je bila uporabljena tudi za študij ultra tankih segregiranih plasti Sb, Sn in Se na površini zlitin Fe-Si-C, mikrolegiranih z Sb, Sn ali Se. Študij ultra tankih plasti Sb, Sn, Se na dobro definiranih površinah Fe in V pa je preadmet naših sedanjih raziskav, kiso vezane na nabavo novega AES/XPS instrumenta z visoko lateralno ločljivostjo. Prikazani so rezultati raziskav ultra tankih oksidnih plasti na tekočem indiju na zlitini InSn ter ultra tankih segregiranih Sb in Sn plasti na zlitini FeSiC.

Pravice